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【自動】Z軸 リニアボール

【自動】Z軸 リニアボール

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  • 規格変更
通常価格(税別)
86,680円 ~ 249,760円
税込価格
95,348円 ~ 274,736円

高剛性・幅コンパクトで全長も省スペースのZ軸タイプ ◆自動ステージ技術...

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(i)ご注意

  • 【規格変更のご案内1】2019年4月1日のご注文より、現行仕様のサーボモータの生産終了に伴うモータ型式の変更がございます。
    変更後のサーボモータオプション記号は「UA」となり現行仕様のサーボモータのオプション記号「U」は2019年7月末のご注文をもって廃止となります。
    ミスミ製自動ステージ サーボモータ変更について
  • 【規格変更のご案内2】2017年4月1日のご注文より一部ステッピングモータ、センサの仕様を変更しております。
    仕様変更詳細は下記リンクを参照ください。
    【重要なお知らせ】ミスミ製自動ステージ フォトセンサ・モータ変更について
  • 当ページの価格表は23年4月時点の情報になります。最新の価格は型番確定後に「価格を確認」ボタンを押下しご確認ください。

型番

未確定288件の候補があります。

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外形図・規格表

ZMSG413 ZMSG513 ZMSG615 ZMSG715 【自動】Z軸 リニアボール:関連画像
[ ! ]図面はカバーLです。
材  質 SUS440C相当
表面処理 無電解ニッケルメッキ
付属品 ZMSG413/513:SCB3−10 4本

ZMSG615 :SCB4−12 4本
ZMSG715 :SCB3−12 4本

規格表

型式センサ選択モータケーブル
ZMSG413LA5CN

 

型式センサ選択モータケーブル機械規格精度規格*4
TypeNo.カバー
位置
論理電圧
(V)
ステージ面
(mm)
移動量
(mm)
自重*3
(kg)
一方向位置決め
精度
ピッチングヨーイング
ZMSG413(正勝手)
R(勝手違い)
A
(すべてN.C.)
B
(すべてN.O.)
C
(リミットスイッチはN.C.
原点センサはN.O.)
5*1
24
*1
C(標準)
D(高トルク)
E(高分解能)
MA*2(ブレーキ付)
PA*2(αステップ)
UA*2(サーボモータ)
N(ケーブルなし、別売)
M*2(ブレーキ付用)
P*2(αステップ用)
U*2(サーボモータ用)
モータ・ケーブルの組合せは概要・仕様をご参照ください。
40×40130.66μm以内15''以内10''以内
51350×500.8
61560×60150.9
71570×701.2

*1:センサ電圧が24Vの場合、MSCTL102/112(コントローラ)で動作させることはできません。また、センサ電圧5V選択時に5Vを超える電圧をかけると破損します。
*2:モータ選択MA、PAはドライバ、UAはアンプがセットになっております。ケーブルはそれぞれM、P、Uのみ選択可能で、N(ケーブルなし)は選択できません。
*3:モータ選択C使用時の値です。
*4:単軸(水平置き)での精度仕様となります。

型番リスト

型番
モータ・モータ特性
分解能(μm)
テーブル長さ(mm)
テーブル幅(mm)
ストローク(Z距離)(mm)
最高速度(mm/sec)
モーメント剛性(ピッチング)("/N・cm)
モーメント剛性(ヨーイング)("/N・cm)
モーメント剛性(ローリング)("/N・cm)
センサ
センサ選択
ケーブル
モータ仕様の新旧
RoHS
最小発注数量
通常単価(税別)(税込単価)
  • 価格の安い順
  • 価格の高い順
  • 解除
通常
出荷日
  • 早い順
  • 遅い順
  • 解除
5相ステッピングモータ
2μm
40
40
13
10
0.22
0.17
0.12
リミット+原点+近接原点
LA5
ケーブルなし(別売)
-
10

1個

86,680( 95,348円 )

5日目

5相ステッピングモータ高トルク
2μm
40
40
13
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0.22
0.17
0.12
リミット+原点+近接原点
LA5
ケーブルなし(別売)
-
10

1個

89,870( 98,857円 )

5日目

5相ステッピングモータ高分解能
1μm
40
40
13
12.5
0.22
0.17
0.12
リミット+原点+近接原点
LA5
ケーブルなし(別売)
-
10

1個

87,780( 96,558円 )

5日目

5相ステッピングモータブレーキ付き
2μm
40
40
13
10
0.22
0.17
0.12
リミット+原点+近接原点
LA5
ブレーキ付用(付属)
-
10

1個

186,010( 204,611円 )

5日目

αステップモータ
1μm
40
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13
17.5
0.22
0.17
0.12
リミットセンサー、原点センサー
LA5
αステップ用(付属)
-
10

1個

163,020( 179,322円 )

5日目

ACサーボモータ
1μm
40
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0.22
0.17
0.12
リミットセンサー、原点センサー
LA5
サーボモータ用(付属)
-
10

1個

236,170( 259,787円 )

5日目

5相ステッピングモータ
2μm
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0.22
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リミット+原点+近接原点
LA24
ケーブルなし(別売)
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1個

86,680( 95,348円 )

5日目

5相ステッピングモータ高トルク
2μm
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リミット+原点+近接原点
LA24
ケーブルなし(別売)
-
10

1個

89,870( 98,857円 )

5日目

5相ステッピングモータ高分解能
1μm
40
40
13
12.5
0.22
0.17
0.12
リミット+原点+近接原点
LA24
ケーブルなし(別売)
-
10

1個

87,780( 96,558円 )

5日目

5相ステッピングモータブレーキ付き
2μm
40
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0.22
0.17
0.12
リミット+原点+近接原点
LA24
ブレーキ付用(付属)
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1個

186,010( 204,611円 )

5日目

αステップモータ
1μm
40
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13
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0.22
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リミットセンサー、原点センサー
LA24
αステップ用(付属)
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1個

163,020( 179,322円 )

5日目

ACサーボモータ
1μm
40
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0.22
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リミットセンサー、原点センサー
LA24
サーボモータ用(付属)
-
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1個

236,170( 259,787円 )

5日目

5相ステッピングモータ
2μm
40
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0.22
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リミット+原点+近接原点
LB5
ケーブルなし(別売)
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1個

86,680( 95,348円 )

5日目

5相ステッピングモータ高トルク
2μm
40
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リミット+原点+近接原点
LB5
ケーブルなし(別売)
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1個

89,870( 98,857円 )

5日目

5相ステッピングモータ高分解能
1μm
40
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13
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リミット+原点+近接原点
LB5
ケーブルなし(別売)
-
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1個

87,780( 96,558円 )

5日目

5相ステッピングモータブレーキ付き
2μm
40
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0.22
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リミット+原点+近接原点
LB5
ブレーキ付用(付属)
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1個

186,010( 204,611円 )

5日目

αステップモータ
1μm
40
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13
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0.22
0.17
0.12
リミットセンサー、原点センサー
LB5
αステップ用(付属)
-
10

1個

163,020( 179,322円 )

5日目

ACサーボモータ
1μm
40
40
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0.22
0.17
0.12
リミットセンサー、原点センサー
LB5
サーボモータ用(付属)
-
10

1個

236,170( 259,787円 )

5日目

5相ステッピングモータ
2μm
40
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0.22
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0.12
リミット+原点+近接原点
LB24
ケーブルなし(別売)
-
10

1個

86,680( 95,348円 )

5日目

5相ステッピングモータ高トルク
2μm
40
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13
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0.22
0.17
0.12
リミット+原点+近接原点
LB24
ケーブルなし(別売)
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1個

89,870( 98,857円 )

5日目

5相ステッピングモータ高分解能
1μm
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0.22
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リミット+原点+近接原点
LB24
ケーブルなし(別売)
-
10

1個

87,780( 96,558円 )

5日目

5相ステッピングモータブレーキ付き
2μm
40
40
13
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0.22
0.17
0.12
リミット+原点+近接原点
LB24
ブレーキ付用(付属)
-
10

1個

186,010( 204,611円 )

5日目

αステップモータ
1μm
40
40
13
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0.22
0.17
0.12
リミットセンサー、原点センサー
LB24
αステップ用(付属)
-
10

1個

163,020( 179,322円 )

5日目

ACサーボモータ
1μm
40
40
13
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0.22
0.17
0.12
リミットセンサー、原点センサー
LB24
サーボモータ用(付属)
-
10

1個

236,170( 259,787円 )

5日目

5相ステッピングモータ
2μm
40
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0.22
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リミット+原点+近接原点
LC5
ケーブルなし(別売)
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1個

86,680( 95,348円 )

5日目

5相ステッピングモータ高トルク
2μm
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リミット+原点+近接原点
LC5
ケーブルなし(別売)
-
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1個

89,870( 98,857円 )

5日目

5相ステッピングモータ高分解能
1μm
40
40
13
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0.22
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0.12
リミット+原点+近接原点
LC5
ケーブルなし(別売)
-
10

1個

87,780( 96,558円 )

5日目

5相ステッピングモータブレーキ付き
2μm
40
40
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10
0.22
0.17
0.12
リミット+原点+近接原点
LC5
ブレーキ付用(付属)
-
10

1個

186,010( 204,611円 )

5日目

αステップモータ
1μm
40
40
13
17.5
0.22
0.17
0.12
リミットセンサー、原点センサー
LC5
αステップ用(付属)
-
10

1個

163,020( 179,322円 )

5日目

ACサーボモータ
1μm
40
40
13
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0.17
0.12
リミットセンサー、原点センサー
LC5
サーボモータ用(付属)
-
10

1個

236,170( 259,787円 )

5日目

5相ステッピングモータ
2μm
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リミット+原点+近接原点
LC24
ケーブルなし(別売)
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1個

86,680( 95,348円 )

5日目

5相ステッピングモータ高トルク
2μm
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リミット+原点+近接原点
LC24
ケーブルなし(別売)
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1個

89,870( 98,857円 )

5日目

5相ステッピングモータ高分解能
1μm
40
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13
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0.12
リミット+原点+近接原点
LC24
ケーブルなし(別売)
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10

1個

87,780( 96,558円 )

5日目

5相ステッピングモータブレーキ付き
2μm
40
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リミット+原点+近接原点
LC24
ブレーキ付用(付属)
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1個

186,010( 204,611円 )

5日目

αステップモータ
1μm
40
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0.22
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リミットセンサー、原点センサー
LC24
αステップ用(付属)
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10

1個

163,020( 179,322円 )

5日目

ACサーボモータ
1μm
40
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0.17
0.12
リミットセンサー、原点センサー
LC24
サーボモータ用(付属)
-
10

1個

236,170( 259,787円 )

5日目

5相ステッピングモータ
2μm
40
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0.22
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リミット+原点+近接原点
RA5
ケーブルなし(別売)
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10

1個

86,680( 95,348円 )

5日目

5相ステッピングモータ高トルク
2μm
40
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リミット+原点+近接原点
RA5
ケーブルなし(別売)
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1個

89,870( 98,857円 )

5日目

5相ステッピングモータ高分解能
1μm
40
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0.22
0.17
0.12
リミット+原点+近接原点
RA5
ケーブルなし(別売)
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10

1個

87,780( 96,558円 )

5日目

5相ステッピングモータブレーキ付き
2μm
40
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0.22
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リミット+原点+近接原点
RA5
ブレーキ付用(付属)
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1個

186,010( 204,611円 )

5日目

αステップモータ
1μm
40
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13
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0.22
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リミットセンサー、原点センサー
RA5
αステップ用(付属)
-
10

1個

163,020( 179,322円 )

5日目

ACサーボモータ
1μm
40
40
13
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0.22
0.17
0.12
リミットセンサー、原点センサー
RA5
サーボモータ用(付属)
-
10

1個

236,170( 259,787円 )

5日目

5相ステッピングモータ
2μm
40
40
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0.22
0.17
0.12
リミット+原点+近接原点
RA24
ケーブルなし(別売)
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1個

86,680( 95,348円 )

5日目

5相ステッピングモータ高トルク
2μm
40
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0.12
リミット+原点+近接原点
RA24
ケーブルなし(別売)
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10

1個

89,870( 98,857円 )

5日目

5相ステッピングモータ高分解能
1μm
40
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13
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0.22
0.17
0.12
リミット+原点+近接原点
RA24
ケーブルなし(別売)
-
10

1個

87,780( 96,558円 )

5日目

5相ステッピングモータブレーキ付き
2μm
40
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0.22
0.17
0.12
リミット+原点+近接原点
RA24
ブレーキ付用(付属)
-
10

1個

186,010( 204,611円 )

5日目

αステップモータ
1μm
40
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13
17.5
0.22
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0.12
リミットセンサー、原点センサー
RA24
αステップ用(付属)
-
10

1個

163,020( 179,322円 )

5日目

ACサーボモータ
1μm
40
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0.22
0.17
0.12
リミットセンサー、原点センサー
RA24
サーボモータ用(付属)
-
10

1個

236,170( 259,787円 )

5日目

5相ステッピングモータ
2μm
40
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リミット+原点+近接原点
RB5
ケーブルなし(別売)
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1個

86,680( 95,348円 )

5日目

5相ステッピングモータ高トルク
2μm
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リミット+原点+近接原点
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ケーブルなし(別売)
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89,870( 98,857円 )

5日目

5相ステッピングモータ高分解能
1μm
40
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0.22
0.17
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リミット+原点+近接原点
RB5
ケーブルなし(別売)
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1個

87,780( 96,558円 )

5日目

5相ステッピングモータブレーキ付き
2μm
40
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リミット+原点+近接原点
RB5
ブレーキ付用(付属)
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186,010( 204,611円 )

5日目

αステップモータ
1μm
40
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リミットセンサー、原点センサー
RB5
αステップ用(付属)
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163,020( 179,322円 )

5日目

ACサーボモータ
1μm
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リミットセンサー、原点センサー
RB5
サーボモータ用(付属)
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236,170( 259,787円 )

5日目

5相ステッピングモータ
2μm
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リミット+原点+近接原点
RB24
ケーブルなし(別売)
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86,680( 95,348円 )

5日目

5相ステッピングモータ高トルク
2μm
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リミット+原点+近接原点
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ケーブルなし(別売)
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89,870( 98,857円 )

5日目

5相ステッピングモータ高分解能
1μm
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リミット+原点+近接原点
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ケーブルなし(別売)
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5日目

5相ステッピングモータブレーキ付き
2μm
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リミット+原点+近接原点
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-
10

1個

186,010( 204,611円 )

5日目

αステップモータ
1μm
40
40
13
17.5
0.22
0.17
0.12
リミットセンサー、原点センサー
RB24
αステップ用(付属)
-
10

1個

163,020( 179,322円 )

5日目

ACサーボモータ
1μm
40
40
13
25
0.22
0.17
0.12
リミットセンサー、原点センサー
RB24
サーボモータ用(付属)
-
10

1個

236,170( 259,787円 )

5日目

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詳細情報

基本情報

高剛性・幅コンパクトで全長も省スペースのZ軸タイプ

◆自動ステージ技術ページ はこちら↓
https://jp.misumi-ec.com/maker/misumi/mech/special/actuator_portal/msg/


※ご不明点のある方はこちらまでご連絡ください。

(i)ご注意

  • 【規格変更のご案内1】2019年4月1日のご注文より、現行仕様のサーボモータの生産終了に伴うモータ型式の変更がございます。
    変更後のサーボモータオプション記号は「UA」となり現行仕様のサーボモータのオプション記号「U」は2019年7月末のご注文をもって廃止となります。
    ミスミ製自動ステージ サーボモータ変更について
  • 【規格変更のご案内2】2017年4月1日のご注文より一部ステッピングモータ、センサの仕様を変更しております。
    仕様変更詳細は下記リンクを参照ください。
    【重要なお知らせ】ミスミ製自動ステージ フォトセンサ・モータ変更について
  • 当ページの価格表は23年4月時点の情報になります。最新の価格は型番確定後に「価格を確認」ボタンを押下しご確認ください。

技術情報

技術情報

納期・価格

価格表

・下表の価格表は23年4月時点の情報になります。
・最新の価格は型番確定後に「価格を確認」ボタンを押下しご確認ください。
型式¥基準単価
TypeNo.モータ
CDEMAPAUA
ZMSG41386,68089,87087,780186,010163,020236,170
51391,96095,10093,010191,240168,250241,400
61592,95096,14094,050192,280169,290242,440
715100,320103,460101,370199,600176,610249,760

納期

【自動】Z軸 リニアボール:関連画像
出荷日については、こちらをご覧ください。

■数量別出荷日
数量区分標準対応個別対応
小口大口
数 量1~45~
出荷日通常お見積り

表示数量超えはWOSにてご確認ください。

概要・仕様

仕様・概要

■共通スペック
送りねじボールねじφ6、リード1
ガイドリニアボールガイド
分解能*12μm/パルス(Full)
1μm/パルス(Half)
繰返位置決め精度±0.5μm以内
耐荷重49N
ロストモーション1μm以内
バックラッシ0.5μm以内
平行度15μm以内
*1 1パルスの信号に対してのステージの移動量です。
単軸(水平置き)での精度仕様となります。

■モータ・ケーブル対応表
モータケーブル
C,D,EN(なし)
MAM
PAP
UAU
C、D、E用のケーブルはこちらのMSCB□参照

■最大速度
モータ選択(mm/sec)モータ選択(mm/sec)
C10MA20
D30PA30
E25UA50
お客様の使用条件により、速度・位置決め時間は異なりますのでご注意ください。弊社規定の参考値ですので、動作を保証するものではありません。
■電気仕様

[ ! ]モータ選択C、D、E使用時の仕様です。モータ選択MA、PA、UA使用時の
仕様は自動リニアボールステージ概要(こちら)をご参照ください。

モータタイプ5相ステッピングモータ 0.75A/相(オリエンタルモーター(株))
ステップ角0.72°(Eのみ0.36°)
受側適合コネクタHR10A−10P−12S(73)(ヒロセ電機㈱)
センサ消費電流100mA以下(1センサあたり25mA)
制御出力NPNオープンコレクタ出力 DC5〜24V 16mA以下
残留電圧0.4V以下(負荷電流16mA時)
出力論理

N.C.…入光時ON
N.O.…遮光時ON

<内部回路>

【自動】Z軸 リニアボール:関連画像

K : 発光側カソード
A : 発光側アノード

V : 受光側電源+
O : 出力
G : 受光側電源-

■付属センサ タイミングチャート(センサ論理Aの場合)
【自動】Z軸 リニアボール:関連画像

CW方向【自動】Z軸 リニアボール:関連画像CCW方向

移動量座標基準メカリミットCWリミット反端面原点CCWリミットメカリミット
13原点復帰87.5206.57
15原点復帰98.5207.58
30原点復帰16.516201515.5
50原点復帰26.526202525.5
共通スリット原点(検出)間隔 S=1

(単位:mm)

[ ! ]原点復帰はMSCTL102/112シリーズコントローラを用いて原点復帰タイプ3を行った場合。
[ ! ]座標は設計上の値です。実際には±0.5mm程度の寸法誤差が生じることがあります。
■推奨の原点復帰方法(MSCTL102を使用した場合)
Type3CCW方向へ検出し、ORG信号のCCWサイドの検出工程を行います。
Type4CW方向へ検出し、ORG信号のCWサイドの検出工程を行います。
Type9Type3の実行後、TIMING信号のCCWサイドの検出工程を行います。
Type10Type4の実行後、TIMING信号のCWサイドの検出工程を行います。
[ ! ]原点復帰の詳細は(こちら)をご参照ください。

カタログ

 
  • 一部型番の仕様・寸法を掲載しきれていない場合がございますので、詳細は メーカーカタログをご覧ください。

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                            メーカー ミスミ ミスミ 駿河精機 ミスミ 中央精機 ミスミ 駿河精機 駿河精機 駿河精機 駿河精機 駿河精機 駿河精機 駿河精機
                            通常価格 86,680円 199,400円 242,771円 170,700円 168,290円 158,000円 162,860円 283,800円 253,700円 154,263円 107,500円 145,316円 115,960円
                            通常出荷日 5日目   5日目   7日目   8日目   40日目   8日目   4日目~   4日目   4日目~   13日目   4日目~   6日目   4日目~  
                            種類 自動Z軸ステージ 自動Z軸ステージ Z軸ステージ 自動Z軸ステージ Zステージ 自動Z軸ステージ Z軸ステージ Z軸ステージ Z軸ステージ Z軸ステージ Z軸ステージ Z軸ステージ Z軸ステージ
                            材質 SUS440C アルミ アルミニウム アルミ アルミ合金 アルミ アルミニウム アルミニウム アルミニウム アルミニウム アルミニウム ステンレス ステンレス
                            ガイド リニアボールガイド クロスローラ クロスローラガイド クロスローラ V溝とクロスローラ クロスローラ クロスローラガイド クロスローラガイド スライドガイド クロスローラガイド クロスローラガイド リニアボールガイド リニアボールガイド
                            テーブル送り方式 ボールねじ ボールねじ ボールねじ ボールねじ ボールねじ ボールねじ ボールねじ ボールねじ ボールねじ ボールねじ ボールねじ ボールねじ ボールねじ
                            Z軸ステージ面 垂直 水平 水平 垂直 水平 垂直 垂直 水平 垂直 垂直 垂直 垂直 垂直

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                            メカニカル部品技術窓口

                            商品の仕様・技術のお問い合わせ

                            営業時間:9:00~18:00(土曜日・日曜日・祝日は除く)

                            ※お問い合わせフォームは24時間受付しております。

                            ※お問い合わせにはお客様コードが必要です。

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