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【特長】高剛性・幅コンパクトで全長も省スペースな自動Z軸ステージです。
ZCV620-C
ZCV630-C
ZCV620-F
ZCV630-F
ZCV620-G
ZCV630-G
型式 | − | モータ | − | ケーブル |
ZCV620 ZCV630 | − − | C PA | − − | N P |
型式 | モータ | ケーブル | 機械規格 | 精度規格 | |||||
Type | No. | ステージ面 (mm) | 移動量 (mm) | 自重*2 (kg) | 一方向位置決め 精度(単軸水平設置時) | ピッチング | ヨーイング | ||
ZCV | 620 | C(標準) F(高トルク) G(高分解能) MA*1(ブレーキ付) PA*1(αステップ) | N(ケーブルなし、別売) M(ブレーキ付) P(αステップ用) [ ! ]モータ・ケーブルの組合せは下表をご参照ください。 | 60×60 | 20 | 1.08 | 5μm以内 | 20''以内 | 15''以内 |
630 | 60×70 | 30 | 1.18 |
モータ選択 | (mm/sec) |
C | 20 |
F | 30 |
G | 20 |
MA | 25 |
PA | 40 |
送りねじ | ボールねじφ8、リード1 | |
ガイド | リニアボールガイド | |
分解能*4 | Full | 2μm/パルス (1μm/パルス)*5 |
Half | 1μm/パルス (0.5μm/パルス)*5 | |
マイクロステップ(1/20分割時) | 0.1μm(0.05μm) | |
繰り返し位置決め精度 | ±0.5μm以内 | |
耐荷重*6 | 29.4N | |
ロストモーション | 1μm以内 | |
バックラッシ | 1μm以内 | |
真直度 | 3μm以内 | |
平行度 | 15μm以内 | |
運動の平行度 | 10μm以内 |
モータ | C | F | G | MA | PA | ||
標準 | 高トルク | 高分解能 | ブレーキ付 | 説調レス | |||
分解能 | リード 1㎜ | Full/Half | 2μm/1μm | 1μm/0.5μm | 2μm/1μm | 1μm(1000P/R設定時) | |
1~1/250 (16段階) | 0.1μm | 0.05μm | 0.1μm | ‐ | |||
リード 2㎜ | Full/Half | 4μm/2μm | 2μm/1μm | 4μm/2μm | 2μm(1000P/R設定時) | ||
1~1/250 (16段階) | 0.2μm | 0.1μm | 0.2μm | ‐ |
[ ! ]単軸平置きでの仕様です。
*4 一つのパルス信号に対するステージの移動量を指します。
※5()内はモータオプションG(高分解能)選択時の数値です。その他の数値は上部「■モータ仕様別分解能表」を参照ください。
※6 耐荷重は水平面に設置頂いた際のZ方向の値です。
モ−タ | C | F | G | MA | PA | |
標準 | 高トルク | 高分解能 | ブレーキ付 | 脱調レス | ||
モ−タ | タイプ | 5相ステッピングモータ 0.75A/相(オリエンタルモーター(株)) | αステップモータ | |||
ステップ角度 | 0.72° | 0.72° | 0.36° | 0.72° | 0.36˚(1000P/R設定時) | |
取付角寸法 | 28㎜ | 42㎜ | 28㎜ | |||
L寸法 | 42㎜ | 61.5㎜ | 42㎜ | 69㎜ | 45㎜ | |
コネクタ | 受信側適用コネクタ | HR10A-10P-12S(73)(ヒロセ電機(株)) | モータ側:5557-06P-210 電磁ブレーキ側:5557-02P-210 (MOLEX) | 43020-1000(MOLEX) | ||
センサ | リミットセンサ | 有 | ||||
原点センサ | フォトマイクロセンサ EE-SX4320(オムロン(株)) | |||||
近接原点センサ | - | |||||
電源電圧 | DC5~24V ±5% | |||||
消費電流 | 合計60mA以下 | |||||
制御出力 | NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下 10mA以下 残留電圧0.3V以下(負荷電流2mAの場合) | |||||
出力ロジック | 検出(遮光)時: 出力トランジスタOFF(導通無し) |
座標基準 | メカリミット | CWリミット | 原点端面 ストローク中心 | 反端面 | CCWリミット | メカリミット | |
ZCV620 | 原点復帰 | 11.5 | 10.5 | 0 | 5 | 10.5 | 11.5 |
ZCV630 | 原点復帰 | 16.5 | 15.5 | 0 | 5 | 15.5 | 16.5 |
■推奨の原点復帰方法(MSCTL102を使用した場合)
Type3 | CCW方向へ検出し、ORG信号のCCWサイドの検出工程を行います。 |
Type4 | CW方向へ検出し、ORG信号のCWサイドの検出工程を行います。 |
Type9 | Type3の実行後、TIMING信号のCCWサイドの検出工程を行います。 |
Type10 | Type4の実行後、TIMING信号のCWサイドの検出工程を行います。 |
5相ステッピングモータ
|
2μm
|
60
|
20
|
20
|
ケーブルなし
| 10 | 1個 | 87,000円(
95,700円
) | 8日目 | |
5相ステッピングモータ高トルク
|
2μm
|
60
|
20
|
30
|
ケーブルなし
| 10 | 1個 | 90,000円(
99,000円
) | 8日目 | |
5相ステッピングモータ高分解能
|
1μm
|
60
|
20
|
20
|
ケーブルなし
| 10 | 1個 | 88,000円(
96,800円
) | 8日目 | |
5相ステッピングモータブレーキ付き
|
2μm
|
60
|
20
|
20
|
5相ステッピングモータブレーキ付き
| 10 | 1個 | 177,000円(
194,700円
) | 8日目 | |
αステップモータ
|
1μm
|
60
|
20
|
20
|
αステップ用ケーブル
| 10 | 1個 | 155,000円(
170,500円
) | 8日目 | |
5相ステッピングモータ
|
2μm
|
70
|
30
|
20
|
ケーブルなし
| 10 | 1個 | 93,000円(
102,300円
) | 8日目 | |
5相ステッピングモータ高トルク
|
2μm
|
70
|
30
|
30
|
ケーブルなし
| 10 | 1個 | 96,000円(
105,600円
) | 8日目 | |
5相ステッピングモータ高分解能
|
1μm
|
70
|
30
|
20
|
ケーブルなし
| 10 | 1個 | 94,000円(
103,400円
) | 8日目 | |
5相ステッピングモータブレーキ付き
|
2μm
|
70
|
30
|
20
|
5相ステッピングモータブレーキ付き
| 10 | 1個 | 183,000円(
201,300円
) | 8日目 | |
αステップモータ
|
1μm
|
70
|
30
|
20
|
αステップ用ケーブル
| 10 | 1個 | 161,000円(
177,100円
) | 8日目 |
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【特長】高剛性・幅コンパクトで全長も省スペースな自動Z軸ステージです。
型式 | ¥基準単価 | |||||
Type | No. | モータ | ||||
C | F | G | MA | PA | ||
ZCV | 620 | 87,000 | 90,000 | 88,000 | 177,000 | 155,000 |
630 | 93,000 | 96,000 | 94,000 | 183,000 | 161,000 |
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