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精密ステンレスレギュレータ。【特長】・液晶、半導体関連プロセスでの各種溶剤、純...
型番
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液晶、半導体装置プロセスでの制御、ガスの圧力制御に最適
液晶、半導体関連プロセスでの各種溶剤、純水回路中のキャリアガス圧力制御、ブロー圧力制御、クリーンエア、ガスの圧力制御などを高精度(感度0.001MPa)に設定可能。
主弁部には独自のバランス構造を採用。
常時ブリードタイプながら低消費流量(2L / min(ANR)以下)
調圧ハンドルにプッシュ・ロック機構を採用。
接ガス部はSUS316およびフッ素ゴムを使用。
圧力計のオプション設定。
コンタミネーション管理された製造工程
圧力計はクリーンルーム外での1重包装となる。
パージガス圧制御
精密レギュレータに供給されるパージガスライン圧力の変動によるパージガス流量変動を小さく抑えられる。
作動原理・内部構造
名称 | 材質 |
---|---|
本体 | SUS316 |
調圧ノブ(ハンドル) | 樹脂(ABS) |
ボンネット | 樹脂(PBT) |
ダイヤフラムA,B | フッ素ゴム(FKM) |
調圧スプリング | ピアノ線(亜鉛めっき) |
Oリング | フッ素ゴム(FKM) |
調圧バルブアッセンブリ | SUS316+フッ索ゴム(FKM) |
密閉フタ | SUS316 |
軸受 | ふっ素樹脂(PTFE) |
バルブ戻りスブリグ | SUS316 |
ブリードコントロールワイヤ | SUS316 |
フィルタ | 樹脂(PVA) |
アジャスティングスクリュー | 黄銅(ニッケルめっき) |
スブリングシート | 黄銅(ニッケルめっき) |
リングナット | 軟鋼(ニッケルめっき) |
プラグ(添付) | SUS316 |
ブラケット(オブション) | SPCC(ニッケルめっき) |
お客様のニーズに応えるべく、創業以来培ってきた設計ノウハウや生産技術を組み合わせ、厳しい検査を経て商品開発した製品です。
型番 |
圧力計 |
供給側 接続種類 |
供給側 呼びサイズ |
制御側 接続種類 |
制御側 呼びサイズ |
圧力計仕様 |
取付仕様 | 最小発注数量 | 通常単価(税別)(税込単価)
|
通常 出荷日
|
---|
なし
|
Rc
|
1/8
|
Rc
|
1/8
|
なし
|
ブラケットなし
| 1個 | 28,361円(
31,197円
) | 10日目 | |
なし
|
Rc
|
1/8
|
Rc
|
1/8
|
なし
|
ブラケット付
| 1個 | 28,755円(
31,631円
) | 10日目 | |
圧力計付
|
Rc
|
1/8
|
Rc
|
1/8
|
低圧仕様(0.3MPa)
|
ブラケットなし
| 1個 | 37,012円(
40,713円
) | 10日目 | |
圧力計付
|
Rc
|
1/8
|
Rc
|
1/8
|
低圧仕様(0.3MPa)
|
ブラケット付
| 1個 | 37,399円 22,439円 ( 24,683円 ) | 在庫品1日目 当日出荷可能 | |
なし
|
Rc
|
1/4
|
Rc
|
1/4
|
なし
|
ブラケットなし
| 1個 | 27,695円(
30,465円
) | 10日目 | |
なし
|
Rc
|
1/4
|
Rc
|
1/4
|
なし
|
ブラケット付
| 1個 | 28,753円(
31,628円
) | 10日目 | |
圧力計付
|
Rc
|
1/4
|
Rc
|
1/4
|
低圧仕様(0.3MPa)
|
ブラケットなし
| 1個 | 37,014円(
40,715円
) | 10日目 | |
圧力計付
|
Rc
|
1/4
|
Rc
|
1/4
|
低圧仕様(0.3MPa)
|
ブラケット付
| 1個 | 38,899円(
42,789円
) | 在庫品1日目 当日出荷可能 | |
なし
|
その他
|
5
|
その他
|
5
|
なし
|
ブラケットなし
| 1個 | 29,709円(
32,680円
) | 10日目 | |
なし
|
その他
|
5
|
その他
|
5
|
なし
|
ブラケット付
| 1個 | 28,757円(
31,633円
) | 10日目 | |
圧力計付
|
その他
|
5
|
その他
|
5
|
低圧仕様(0.3MPa)
|
ブラケットなし
| 1個 | 39,276円(
43,204円
) | 10日目 | |
圧力計付
|
その他
|
5
|
その他
|
5
|
低圧仕様(0.3MPa)
|
ブラケット付
| 1個 | 37,398円(
41,138円
) | 10日目 |
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精密ステンレスレギュレータ。
【特長】
・液晶、半導体関連プロセスでの各種溶剤、純水回路中のキャリアガス圧力制御、ブロー圧力制御、クリーンエア、ガスの圧力制御などを高精度(感度0.001MPa)に設定可能
・コンタミネーション管理された製造工程
・主弁部には独自のバランス構造を採用
・常時ブリードタイプながら低消費流量{2L/min(ANR)以下}
・調圧ハンドルにプッシュ・ロック機構を採用
・接ガス部はSUS316およびフッ素ゴムを使用
・圧力計のオプション設定
【用途】
・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応
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