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粗微動回転ステージ TKSP・TAKS
- 通常価格(税別)
- 65,070円 ～ 83,612円
- 税込価格
- 71,577円 ～ 91,973円
粗微動回転ステージ。【特長】・粗動・微動ができる回転ステージ。・粗微動切り換え...
-
- テーブル形状：
- 円形
-
- 送り方式：
- マイクロメータヘッド
-
- 移動ガイド：
- すり合わせ
-
- 移動量(deg)：
- 360°
-
- 耐荷重（範囲）(N)：
- 50.1～100.0
-
- 耐荷重(N)：
- 68.6
-
- 透過穴(テーブルセンタ穴)：
- あり
-
- テーブル平行度(μm)：
- 50
-
- 送りツマミ位置：
- 全軸サイド
-
- クランプ：
- 標準
-
- 勝手違い：
- 標準
-
- 移動量(微動)(deg)：
- ±5°
-
- 送り方式（ラック＆ピニオン種類）：
- 粗微動
型番
未確定2件の候補があります。
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商品情報
粗微動回転ステージ TKSP／TAKSの仕様について
TKSPの形状図
TAKSの形状図
寸法
（単位：mm）
| 品番 | ステージ面 | 移動ガイド | 回転範囲 | 質量 （g） |
同心度 | 面振れ | 平行度 | 表示分解能 | 位置分解能 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 粗動範囲 | 微動範囲 | |||||||||
| TKSP-60 | φ60 | すり合わせ方式 | 360° | ±5° | 600 | 0.02 | 0.02 | 0.05 | 1° | 1' |
| TAKS-100 | φ98 | すり合わせ方式 | 360° | ±5° | 700 | 0.02 | 0.02 | 0.05 | 5' | 1' |
- ※ 取りつけ用の十字穴付き小ねじ（M4×10）が付属。
材質・仕上げ
| - | TKSP | TAKS |
|---|---|---|
| ステージ | 真鍮 黒色クロムメッキ |
アルミニウム合金 アルマイト処理（黒） |
| 本体 | 真鍮 黒色クロムメッキ |
アルミニウム合金 アルマイト処理（黒） |
型番リスト
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詳細情報
基本情報
粗微動回転ステージ。
【特長】
・粗動・微動ができる回転ステージ。
・粗微動切り換えクランプをゆるめれば粗動回転、クランプを締めればマイクロメータにより微動回転となる。
【用途】
・半導体製造装置、電子顕微鏡。
カタログ
- 一部型番の仕様・寸法を掲載しきれていない場合がございますので、詳細は メーカーカタログをご覧ください。
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