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ウェハホルダ
- 通常価格(税別)
- 37,000円 ～ 64,750円
- 税込価格
- 40,700円 ～ 71,225円
【特長】・3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。・3点の調整ね...
-
- 種類：
- 自動ステージ関連部品
型番
未確定7件の候補があります。
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商品情報
外形図
単位：mm
MSS-100A-4WH
MSS-150A-4WH
MSS-150A-6WH
MSS-200A-4WH
MSS-200A-6WH
MSS-200A-8WH
MSS-300A-30WH
製品仕様
規格表
MSS-100A-4WH／MSS-150A-4WH／MSS-200A-4WH／MSS-200A-8WH／MSS-300A-30WH
| 型番 | A（mm） | B（mm） | C（mm） | D（mm） | E（mm） | F（mm） | G（mm） | H（mm） | J（mm） | K（mm） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| MSS-100A-4WH | 140 | 140 | 70 | 13.5 | 8.5 | 110 | 101 | 77.2 | 0.5 | 0.5 |
| MSS-150A-4WH | 190 | 210 | 82 | 13.5 | 8.5 | 110 | 101 | 77.2 | 0.5 | 0.5 |
| MSS-200A-4WH | 250 | 270 | 115 | 13.5 | 8.5 | 110 | 101 | 77.2 | 0.5 | 0.5 |
| MSS-200A-8WH | 250 | 270 | 115 | 13.5 | 8.5 | 220 | 201 | 151 | 0.5 | 0.5 |
| MSS-300A-30WH | 345 | 370 | 158 | 13.5 | 8.5 | 310 | 301 | 201 | 0.5 | 0.5 |
MSS-150A-6WH／MSS-200A-6WH
| 型番 | A（mm） | B（mm） | C（mm） | D（mm） | E（mm） | F（mm） | G（mm） | H（mm） | I（mm） | J（mm） | K（mm） | L（mm） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| MSS-150A-6WH | 190 | 210 | 82 | 13.5 | 8.5 | 160 | 151 | 126 | 101 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| MSS-200A-6WH | 250 | 270 | 115 | 13.5 | 8.5 | 160 | 151 | 126 | 101 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
型番リスト
- 表示件数:
| 型番 |
対応 |
サイズ(mm) | RoHS | 最小発注数量 | 通常単価(税別)(税込単価)
|
通常 出荷日
|
|---|
3,4インチ用
|
140X140
| - | 1個 | 37,000円(
40,700円
) | 19日目 | |
3,4インチ用
|
190X210
| 10 | 1個 | 37,124円(
40,836円
) | 19日目 | |
4,5,6インチ用
|
190X210
| 10 | 1個 | 38,850円(
42,735円
) | 19日目 | |
3,4インチ用
|
250X270
| 10 | 1個 | 41,440円(
45,584円
) | 19日目 | |
4,5,6インチ用
|
250X270
| 10 | 1個 | 43,167円(
47,484円
) | 19日目 | |
6,8インチ用
|
250X270
| 10 | 1個 | 49,899円(
54,889円
) | 18日目 | |
8インチ,300mm用
|
345X370
| 10 | 1個 | 64,750円(
71,225円
) | 19日目 |
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詳細情報
基本情報
【特長】
・3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。
・3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能。
・MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。
カタログ
- 一部型番の仕様・寸法を掲載しきれていない場合がございますので、詳細は メーカーカタログをご覧ください。
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