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  • 接続可能なセンサ

    • HD-T1C
    • HD-T1030

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Panasonic

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LED式ウェーハアライメントセンサ (HD-T1)

LED式ウェーハアライメントセンサ (HD-T1)

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通常価格(税別)
46,519円 ～ 123,761円
税込価格
51,171円 ～ 136,137円

安全なLED光でもレーザセンサ並みの高性能を実現。 高分解能30μm。【特長】...

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(i)ご注意

  • 掲載商品の内、一部商品はセール価格で販売しています。対象商品は型番リストよりご確認ください。
  • 材料や部材入手難などの影響により納期が不安定になっています。受注停止中の商品は、次回入荷の目途が立っていません。

型番

未確定2件の候補があります。

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商品情報

商品特長詳細

安全なLED光で高精度検出30μmを実現

LED式ウェーハアライメントセンサ (HD-T1) 商品特長詳細01
LED式ウェーハアライメントセンサ (HD-T1) 商品特長詳細02
CE を取得しています。
CE : EMC指令

安全方策一切不要

ウェーハアライメントセンサHD-T1シリーズの光源には安全な赤色LEDを採用していますので、煩わしい安全方策が一切不要。レーザ光使用の際に必要な保護カバーや米国で使用する際に必要なFDA規則の取得も必要ありません。

省施工

センサヘッドとコントローラとの接続はワンタッチコネクタ式。配線の工数が最小限で済み、メンテナンスもラクです。
LED式ウェーハアライメントセンサ (HD-T1) 商品特長詳細03

低消費電流70mA以下

消費電流は、センサヘッドとコントローラ合わせて70mA以下。光電センサ並みの低消費電力を実現しています。

高分解能30μm

ウェーハアライメントセンサHD-T1シリーズは、赤色LED光源でありながらレーザセンサ並みの高性能を実現しましたので、高精度な検出が可能です。

光軸調整不要

投・受光部一体型ですから、面倒な光軸調整は不要です。また、検出距離および検出幅が30mmと広いエリアをカバーできますのでさまざまなサイズのウェーハに対応できます。

スパンおよびシフト調整機能を装備

アナログ出力（1～5V）には、スパン調整機能に加えてアナログ電圧を±0.5Vの範囲でシフトできる便利なシフト調整機能を装備しました。
LED式ウェーハアライメントセンサ (HD-T1) 商品特長詳細04

使用例

ウェーハの偏心・ノッチ検出

 
LED式ウェーハアライメントセンサ (HD-T1) 使用例01
 

外形図

HD-T1030

HD-T1C

LED式ウェーハアライメントセンサ (HD-T1) HD-T1030外形寸法図
LED式ウェーハアライメントセンサ (HD-T1) HD-T1C外形寸法図

製品仕様

センサヘッド

項目型番
HD-T1030
組み合わせコントローラHD-T1C
検出幅30mm（直線性は、28mm幅にて規定）
検出距離30mm（固定）（注2）
耐環境性保護構造IP40（IEC）（規格の内容についてはP.1576を参照）
使用周囲温度0～+40℃（但し、結露しないこと）、保存時：-20～+55℃
使用周囲湿度35～85%RH、保存時：35～85%RH
使用周囲照度白熱ランプ：受光面照度3,000Lx以下、蛍光灯光：受光面照度3,000Lx以下
耐電圧AC1,000V 1分間 充電部一括・ケース間
絶縁抵抗DC250Vメガにて20MΩ以上 充電部一括・ケース間
耐振動耐久10～150Hz 複振幅0.75mm XYZ各方向2時間
耐衝撃耐久490m/s2（約50G） XYZ各方向3回
投光素子赤色LED（発光ピーク波長：650nm）
受光素子フォトダイオード
材質本体ケース：PEI、前面カバー部：ガラス、取付ベース：アルミ
ケーブル耐熱PVCケーブル0.5m末端コネクタ付
質量本体質量：約150g

（注1）：指定のない測定条件は、使用周囲温度=+20℃です。
（注2）：出荷時、取付ベースに固定された状態での値です。

コントローラ

項目型番
HD-T1C
組み合わせコントローラHD-T1030
電源電圧24V DC±10%   リップルP-P10%以下
消費電流70mA以下（センサヘッドを含む）
アナログ出力-アナログ電圧
・出力電圧：1±0.5V（全遮光時）～5±0.5V（全入光時）
・出力インピーダンス：75Ω
応答時間0.5ms以下（8V/ms以上）
分解能30μm（注2）
直線性±1.0%F.S.（検出位置中心の検出幅28mmにて）（注3）
温度特性±1.0%F.S./℃（24±2℃にて）（注3）
スパン調整機能アナログ出力電圧のスパンを調整、15回転エンドレスボリウム装備
シフト調整機能アナログ出力電圧のオフセットを調整、15回転エンドレスボリウム装備
ウォーミングアップ時間30分以上
耐環境性保護構造IP40（IEC）（規格の内容についてはP.1576を参照）
使用周囲温度0～+40℃（但し、結露しないこと）、保存時：-20～+70℃
使用周囲湿度35～85%RH、保存時：35～85%RH
耐電圧AC1,000V 1分間 充電部一括・ケース間
絶縁抵抗DC250Vメガにて20MΩ以上 充電部一括・ケース間
耐振動耐久10～150Hz 複振幅0.75mm XYZ各方向2時間
耐衝撃耐久490m/s2（約50G） XYZ各方向3回
材質本体ケース：耐熱ABS、コネクタカバー部：耐熱ABS、ボリウムカバー部：ポリカーボネート
ケーブル0.22mm2 3芯耐熱PVCケーブル0.3m付
ケーブル延長0.3mm2以上のケーブルにて全長3mまで延長可能
質量本体質量：約85g

（注1）：指定のない測定条件は、使用周囲温度=+20℃です。
（注2）：分解能とは、アナログ出力のピークtoピーク距離換算値（20MHz以下帯域にて）です。
（注3）：センサヘッドとコントローラを組み合わせた状態で測定したときの代表例です。

型番リスト

表示件数:
  1. 1
型番
接続可能なセンサ
製品種類
RoHS

?

最小発注数量
通常単価(税別)(税込単価)
  • 価格の安い順
  • 価格の高い順
  • 解除
通常
出荷日
  • 早い順
  • 遅い順
  • 解除
HD-T1030
コントローラ
10

1個

46,519円( 51,171円 )

3日目

HD-T1C
センサヘッド
10

1個

123,761円( 136,137円 )

3日目

  1. 1

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詳細情報

基本情報

安全なLED光でもレーザセンサ並みの高性能を実現。 高分解能30μm。

【特長】
・光源には安全な赤色LEDを採用していますので、煩わしい安全対策が一切不要。
・レーザ光使用の際に必要な保護カバーや米国で使用する際に必要なFDA規格の取得も必要ありません。
・センサヘッドとコントローラとの接続はワンタッチコネクタ式。
・配線の工数が最小限で済み、メンテナンスもラクです。
・消費電流は、センサヘッドと二ントローラ合わせて70mA以下。
・光電センサ並みの低消費電力を実現しています。
・赤色LED光源でありながらレーザセンサ並みの高性能を実現しましたので、高精度な検出が可能です。
・投・受光部ー体型ですから、面倒な光軸調整は不要です。
・また、検出距離および検出幅が30mmと広い工リアを力バーできますのでさまざまなサイズのウェーハに対応できます。
・アナログ出力（1～5V）には、スパン調整機能に加えてアナログ電圧を±0.5Vの範囲でシフトできる便利なシフト調整機能を装備しました

(i)ご注意

  • 掲載商品の内、一部商品はセール価格で販売しています。対象商品は型番リストよりご確認ください。
  • 材料や部材入手難などの影響により納期が不安定になっています。受注停止中の商品は、次回入荷の目途が立っていません。

カタログ

 
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                            メーカー Panasonic Panasonic Panasonic Panasonic マシンエンジニアリング Panasonic ミネベアミツミ Panasonic オプテックス・エフエー RiKO（リコ） オムロン ミネベアミツミ イマオコーポレーション
                            通常価格 46,519円～ 30,900円～ 32,203円～ 33,032円 2,628円～ 11,804円～ 89,600円 7,390円～ 25,258円～ 11,983円 26,838円 82,880円 43,899円～
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