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NEW MEGA（R）-ONE LA 新タイプ 低圧エアオペレーションバルブ
- 通常単価(税別)
- 59,889円
- 税込単価
- 65,878円
【特長】・NEW MEGA（R）-ONE LAは、各種半導体製造装置・設備等の...
-
- 使用流体：
- 空気 / 水 / 真空 / 薬品 / ガス
-
- 種類：
- 空気圧シリンダー式
-
- 切換の種類：
- ノーマルクローズ
-
- 接続種類：
- 溶接（UJR継手）
-
- 使用環境：
- 標準
-
- ボディ材質：
- SUS316L
-
- 最高使用圧力(MPa)：
- 1
-
- 使用温度範囲(℃)：
- -10～80
-
- 作動圧力(MPa)：
- 0.4～0.6
-
- 操作圧接続ポート：
- M5×0.8
(i)ご注意
- 商品画像は代表画像となります。形状や色味を含め、型番毎に仕様が異なる場合がございます。
- 材料や部材入手難などの影響により納期が不安定になっています。受注停止中の商品は、次回入荷の目途が立っていません。
指定中 の仕様・寸法情報
商品情報
外形図
製品仕様
製品仕様
| 呼び径 | 最高使用圧力 | 使用流体温度範囲 | Cv値※ （20℃窒素ガス時） | 作動圧力 | 操作圧接続ポート | 接続継手 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 6.35 | 1MPa | -10～+80℃ | 0.3 | 0.4～0.6MPa | M5×0.8 | UJR, UPG®, F900 自動溶接継手 |
| 9.52・12.7 | 0.65 |
- 実績リーク量 外部リーク：5×10-12Pa・m3/sec以下 弁座リーク：5×10-12Pa・m3/sec以下
- 検査時リーク量 外部リーク：5×10-10Pa・m3/sec以下 弁座リーク：5×10-10Pa・m3/sec以下
- 全てHeリークチェック済みです。
- 優れた耐久性 400万回以上（φ6.35）、200万回以上（φ9.52）（実験値）
- ボディ形状によっては異なる物もあります。
材質
| 部品名 | 材質 |
|---|---|
| ボディ ※1 | SUS316L |
| ダイヤフラム（接ガス部）※1 | ニッケル-コバルト合金 |
| シート ※1 | PCTFE（標準） |
| アクチュエータキャップ | アルミ合金（アルマイト処理） |
※1：接ガス部品
温度・圧力線図
規格表
型番リスト
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詳細情報
基本情報
【特長】
・NEW MEGA（R）-ONE LAは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです
・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成したバルブです
・従来のMEGA（R）-ONE LAの性能はそのままに、コンパクト化をはかりました
(i)ご注意
- 商品画像は代表画像となります。形状や色味を含め、型番毎に仕様が異なる場合がございます。
- 材料や部材入手難などの影響により納期が不安定になっています。受注停止中の商品は、次回入荷の目途が立っていません。
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FPR-ND-71-9.52-2で型番確定
- 一部型番の仕様・寸法を掲載しきれていない場合がございますので、詳細は メーカーカタログをご覧ください。
NEW MEGA（R）-ONE LA 新タイプ 低圧エアオペレーションバルブの型番FPR-ND-71-9.52-2のページです。
型番FPR-ND-71-9.52-2に関する仕様情報を記載しております。
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