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大気圧から5×10-2Paまでの広領域の測定が可能なピラニ真空計です。さらにこ...
型式 | SW1-1 |
---|---|
接続可能測定子数 | 1本 |
測定圧力範囲 | 5.0×10-2~1.0×10+5㎩(表示範囲 1.0×10-2~1.2×10+5㎩) |
測定精度※ | 1×10-1㎩~1×10+4㎩:±10% |
5.0×10-2㎩~1.0×10-1㎩. 1×10+4㎩~1×10+5㎩:±20% | |
繰り返し性 | 1×10-1㎩~1×10+4㎩:±2% |
サンプリング時間 | 50㎳ 5回の移動平均処理 |
測定値出力 | 出力電圧 DC 0~10V |
圧力指示(Log出力)1.7V~8.0V 1V/桁(出力範囲:1.0V~8.1V) | |
更新時間:50㎳ | |
制御入力信号 | オープンコレクタ入力、負論理 |
ADJ調整(ゼロ点調整、大気圧調整) | |
制御出力信号 | オープンコレクタ出力、負論理[定格:30VMAX、50㎃MAX、70㎽] |
エラー信号 | |
セットポイント 1、2 | |
セットポイント用モニタ | セットポイント1、2:0~10V Log出力 |
LED表示 | POWER/ERROR:パワー、エラーLED |
SET-1:セットポイント1LED | |
SET-2:セットポイント2LED | |
フィラメント材質 | 白金 |
使用温度範囲 | 10~40℃ |
使用湿度範囲 | 15~80%(ただし結露無きこと) |
IP保護等級 | IP30(センサユニット) |
取付姿勢 | 制限なし |
電源電圧 | DC18V~30V、2W(電源投入時4.8W) |
入出力コネクタ | D-Sub15-ピン(M2.6mmネジ)-センサユニット側 |
質量 | 150g(SWP-16付き) |
外形寸法 W×D×H | 70mm×46mm×28mm |
付属品 | 取扱説明書、測定子:SWP-16 |
適合規格 | CE |
※ 大気圧調整ならびにゼロ点調整後の精度になります。
本器には圧力の表示部はありません。
本器は測定している圧力を0~10Vの信号にて出力しますので、信号を読み取る機器が必要です。
ディスプレイユニットとセットになった商品はこちら。
お悩み 1 | 測定子が衝撃や振動ですぐに断熱してしまう |
---|---|
お悩み 2 | フィラメントの劣化が早く、測定子の寿命が短い |
お悩み 3 | 真空計が正常に動作しているかわからない |
真空ポンプの直上に測定子が設置されている為、真空ポンプの振動で断線しやすかったが、SW1-1は固有の振動にも強く、測定子の寿命が延びた。
不安定な環境下での使用の為、1サイクル毎に測定子に衝撃が伝わり断線しやすかったが、1サイクル毎の衝撃がフィラメントに直接伝わらないので断熱しにくくなった。
水分の多い雰囲気での使用の為、測定子のフィラメントがすぐに劣化してしまっていた。こちらのフィラメント材(白金)は水分の多い雰囲気はもちろん、酸素などとも反応しないため寿命が延びた。
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大気圧から5×10-2Paまでの広領域の測定が可能なピラニ真空計です。
さらにこの真空計は従来のコントローラから操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込み、「コストの低減」や「省スペース化」を可能としました。
【特長】
・広領域測定:大気圧から5×10-2Paまでの広領域の測定が可能。
・省配線:センサとコントローラ一体化により省配線、省スペース、省電力を実現。
・視認性の向上:異常を確認できるLEDを搭載。
・ワンタッチ調整が可能:大気圧調整ならびにゼロ点調整がワンタッチで可能。
・メンテナンス性:測定子の交換が容易。
・フィラメント材には耐食性に富んだ白金を採用。
・測定値出力信号:圧力はDC0〜10VのLog出力の標準装備。
・耐衝撃性の向上:耐衝撃性に富んだ設計構造。
・制御出力信号:セットポイント2点の出力可能。
・適合規格:CE標準対応。
【用途】
・太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種製装置の低真空領域のプロセス制御用に。
・炉をはじめとする各種産業機器の低真空領域のプロセス制御用に。
・インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の低真空領域のプロセス制御用に。
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