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ベローズ式コンパクト直進導入機

ベローズ式コンパクト直進導入機

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通常単価(税別)
151,800円
税込単価
166,980円

非常にコンパクト(小型)な直進導入機。【特長】・CF34の接続口がある。・金属...

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  • 導入機種類:
    直線導入機
  • フランジ種類:
    CF/ICF
  • フランジサイズ(呼び):
    34
  • 直線導入機 ストローク(mm):
    10
  • 使用圧力(参考値)(Pa ~):
    1.0×10-8
  • ベーキング温度(℃):
    150
  • ヘリウムリーク量:
    1x10-10Pa・m3/s

指定中 の仕様・寸法情報

商品情報

外形図

ベローズ式コンパクト直進導入機の寸法図

ベローズ式コンパクト直進導入機の寸法図

側面図

側面図

上面図

上面図

製品仕様

金属溶接ベローズを内蔵し、省スペース化を実現

金属溶接ベローズを内蔵し、省スペース化を実現

型式ILC-34-10
ストローク10mm
接続フランジCF34
駆動方法手動
リーク量1×10-10Pa・m3/s以下
ベーキング温度250℃
使用主材料SUS304
ベローズ材質SUS316L
主要寸法A96
B146

開発秘話

 

当社溶接ベローズを内蔵しコンパクト化を実現しました。

型番リスト

型番
最小発注数量
通常単価(税別)(税込単価)
  • 価格の安い順
  • 価格の高い順
  • 解除
通常
出荷日
  • 早い順
  • 遅い順
  • 解除

ILC-34-10

1個

151,800( 166,980円 )

19日目

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詳細情報

基本情報

非常にコンパクト(小型)な直進導入機。
【特長】
・CF34の接続口がある。
・金属溶接ベローズを内蔵し、省スペースを可能とする手動の真空直線(直進)タイプ。
・ストロークを10~200mmまで規格化。
・溶接ベローズを駆動部シールに採用し、超高真空の領域で使用できる。
・機能中心のシンプルな構成で、小型・軽量化し、ベーキング温度が250℃に耐える設計。
・真空内に設置したステージを大気側より調整する為の機構。
【用途】
・コンパクトな真空容器に利用可能。

カタログ

 

ILC-34-10で型番確定

  • 一部型番の仕様・寸法を掲載しきれていない場合がございますので、詳細は メーカーカタログをご覧ください。

ベローズ式コンパクト直進導入機の型番ILC-34-10のページです。
型番ILC-34-10に関する仕様情報を記載しております。

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            メーカー 入江工研 アリオス インフィコン インフィコン インフィコン
            通常価格 151,800円 116,034円 96,708円 38,137円 81,883円
            通常出荷日 19日目   3日目   8日目   8日目   8日目~  
            導入機種類 直線導入機 回転導入機 回転導入機 液体導入用 -
            フランジ種類 CF/ICF CF/ICF NW/KF - -
            フランジサイズ(呼び) 34 34 - 40 -
            直線導入機 ストローク(mm) 10 - - - -
            使用圧力(参考値)(Pa ~) 1.0×10-8 1.0×10-9 1.0×10-7 1.0×10-6 1.0×10-6

            ベローズ式コンパクト直進導入機のレビュー

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            よくあるご質問(FAQ)

            Q 精度はそれくらいですか?
            A
            1mm単位です。
            Q ストロークのカスタマイズは可能ですか?
            A
            個別設計により対応可能です。

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