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ソフトスタートフラップ 31シリーズ
- 通常価格(税別)
- 22,183円
- 税込価格
- 24,401円
真空継手部品ISO-KF。粗引き真空排気中での乱流を減少させる。【特長】・配管...
商品情報
外形図
製品仕様
| 動作 | 急速閉止 開 | 粗引きポンプ始動時 差圧が約15hPa1）になった時 |
|---|---|---|
| 許容温度2） | - | ≦150℃ |
| 取付け方向 | - | 自由 |
| サイクルライフ | - | 100000 |
| 材質 | センターリング インナーパーツ | EN AW-6082（3.2315） AISI 304（1.4301）,AISI 303（1.4305） |
| シール | - | FKM（Viton®） |
1）システム構成による。
2）最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。
規格表
型番リスト
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詳細情報
基本情報
真空継手部品ISO-KF。
粗引き真空排気中での乱流を減少させる。
【特長】
・配管、チャンバー内での乱流
・真空システムのパーティクル汚染
・乱流による基板の遥動
カタログ
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