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高真空度クラス対応形スイッチ
- 数量スライド割引
- 一部当日出荷可能
- 通常価格(税別)
- 19,358円 ～ 19,688円
- 税込価格
- 21,294円 ～ 21,657円
10の-5乗Pa 高真空度クラス対応のコンタクトスイッチ。【特長】・低アウトガ...
商品情報
外形図
製品仕様
製品仕様
| 接点構造 | 接点形 |
|---|---|
| 動作形態 | A：NO/B：NC |
| 動作点の繰返し精度 | ON⇄OFFとも0.003mm（レンジ） |
| 対応真空度/ベーキング許容温度 | 10-5Pa/120℃ |
| 動作までの動き | 約0.3（A：NO）/なし（B：NO） |
| 応差 | 0 |
| 接点精度寿命 | 300万回 |
| ストローク | 1.5mm |
| 接触力 | 0.5N |
| 接点定格 | DC5V～DC24V 定常電流10mA以下(突入電流20mA以下) |
| 形式名 | 動作形態 | コード方向 |
|---|---|---|
| GN-PT5M3A | A：NO | ストレート |
| GN-PT5M3B | B：NC | |
| GN-PT5M3A-R | A：NO | 直角 |
| GN-PT5M3B-R | B：NC |
使用例
スマートフォン用ガラス基板のアライアメント
活用事例
真空チャンバー内での半導体ウェハーの有無検出
光電センサの場合はビューポートから検知をするが、蒸着時の曇りによって誤検知してしまう。
高真空度クラス対応形スイッチなら、真空環境でも検知可能に。
真空環境下での位置決めアプリケーション
半導体ウェハーの有無検出
ガラス基板の位置決め
ガラス基板の位置決め
ガラス基板のアライメント
マスクのトレイ着座検出
キャリアの原点出し
商品特長詳細
低アウトガス対応部品だけで製造した、高真空環境専用の位置決めコンタクトスイッチ
- 低アウトガス対応の材質・接着剤・コードを採用。
型番リスト
- 表示件数:
| 型番 |
接点の種類 |
動作点(mm) |
コード方向 | RoHS | 最小発注数量 | 通常単価(税別)(税込単価)
|
通常 出荷日
|
|---|
接点式 NO
|
0.3
|
ストレート
| 10 | 1個 | 19,358円(
21,294円
) | 在庫品1日目 当日出荷可能 | |
接点式 NO
|
0.3
|
直角
| 10 | 1個 | 19,688円(
21,657円
) | 9日目 | |
接点式 NC
|
0
|
ストレート
| 10 | 1個 | 19,358円(
21,294円
) | 19日目 | |
接点式 NC
|
0
|
直角
| 10 | 1個 | 19,688円(
21,657円
) | 9日目 |
Loading...
詳細情報
基本情報
10の-5乗Pa 高真空度クラス対応のコンタクトスイッチ。
【特長】
・低アウトガス対応部品のみで製造した、高真空環境専用の位置決めスイッチ
【用途】
・真空チャンバーの半導体ウェハーの有無検出に
・真空成膜装置、太陽光発電（PV）真空装置のガラス基板の位置決めに
・FPD向け真空成膜装置のガラス基板のアライメントやマスクのトレイ着座検出、キャリアの原点出しに
・大手半導体製造装置メーカーに続々採用
- 一部型番の仕様・寸法を掲載しきれていない場合がございますので、詳細は メーカーカタログをご覧ください。
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高真空度クラス対応形スイッチのレビュー
よくあるご質問（FAQ）
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