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絞り込み条件

フランジ種類
- NW
- その他
  
  DN
解除

フランジ呼び
16

25

40

50

63

80
解除

インジケータ
インジケータなし

インジケータ付
解除

操作ポート方向
フランジ側

フランジ面右

フランジ面左

フランジ面裏
解除

温度範囲(℃)
5～60

5～150
解除

スイッチ型式
F7NJ

M9B

M9N

M9NJ

M9P

M9PJ

A90

A93

オートスイッチなし（マグネットなし）

オートスイッチなし（マグネット付）
解除

スイッチ数
1ヶ付（検出位置：弁閉）

1ヶ付（検出位置：弁開）

2ヶ付（検出位置：弁開閉）

オートスイッチなし
解除

シール材質
Chemraz（配合No.：SSE38）

Barrel Perfluoro（配合No.：70W）

Chemraz（配合No.：SS592）

Chemraz（配合No.：SS630）

VMQ（配合No.：1232-70）

FKM（配合No.：1349-80）

EPDM（配合No.：2101-80）

FKM for Plasma（配合No.：3310-75）

Kalrez（配合No.：4079）
解除

ボディ表面処理
外部：硬質アルマイト、内部：素地

外部：硬質アルマイト、内部：蓚酸アルマイト
解除

シ−ル変更箇所
バルブシール1

バルブシール1/外部シール

バルブシール1/バルブシール2

バルブシール1/バルブシール2/外部シール

なし

外部シール
解除

スイッチリード線長さ(m)
0.5

1

3

5
解除

ヒータの有無
100℃用ヒータ付

120℃用ヒータ付

なし
解除

タイプ
XLA-16

XLA-25

XLA-40

XLA-50

XLA-63

XLA-80
解除

CAD
2D

3D
解除
出荷日
- すべて
- 当日出荷可能
- 6日以内
- 19日以内
解除

仕様・寸法を表示する

追加工・オプション

SMC

アルミニウム製高真空L型バルブ常時閉/ベローズシール XLAシリーズ

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カタログ

一部当日出荷可能

評価 4.0平均満足度4.0 この商品のレビューをみる（1件）この商品のFAQをみる(2件)

通常価格(税別): 31,449円～ 245,323円

税込価格: 34,594円～ 269,855円

アウトガスが少ない真空レギュレータ。【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキン...

詳細情報を確認する

種類：

空操真空弁
用途：

単体使用
設置方法：

ダイレクト
ポート数：

3ポート弁
切換の種類：

2位置ノーマルクローズ
配管口の種類：

フランジ
シールの種類：

ベローズシール

(i)ご注意

掲載商品の内、一部商品はセール価格で販売しています。対象商品は型番リストよりご確認ください。
■SMC エアシリンダ製品の選定・技術情報
特集ページは　こちら　から、ご確認下さい。

■SMC製品取扱いについて
Webページが無い製品については順次公開を予定しています。
型番が決まっている方は　こちら　から、お見積/ご注文下さい。
材料や部材入手難などの影響により納期が不安定になっています。受注停止中の商品は、次回入荷の目途が立っていません。
スペック、材質の詳細はカタログをご参照ください。
CADデータは、一部の型番には対応しておりません。
商品画像は代表画像の場合がございます。詳細形状はカタログをご参照ください。

型番

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商品情報

外形図

XLA／エアオペレートタイプ

注）上図イ、ロ、ハはヒータの取付位置を示します。またヒータの取付位置は、ヒータの種類により異なります。詳細はカタログをご参照ください。

製品仕様

外観（側面）

型番		XLA-16	XLA（V）-25	XLA-40	XLA-50	XLA-63	XLA-80
弁の形式		常時閉（加圧開・スプリングシール）
使用流体		不活性ガス系の真空
使用温度℃	XLA	5～60（高温タイプの場合：5～150）
使用圧力Pa（abs）		1×10^-6～大気圧
コンダクタンスL/s^注1）		5	14	45	80	160	200
リーク量Pa・m³/s	内部	標準材質（FKM）の場合1.3×10^-10常温時・ガス透過を除く
リーク量Pa・m³/s	外部	標準材質（FKM）の場合1.3×10^-11常温時・ガス透過を除く
フランジの種類		KF（NW）				KF（NW）・K（DN）
主な材質		本体：アルミ合金ベローズ：SUS316L 要部：ステンレス、FKM（標準シール材）
表面処理		外部：硬質アルマイト内部：素地
パイロット圧力MPa（G）		0.4～0.7
パイロットポート接続口径	XLA	M5		Rc1/8
質量kg	XLA	0.25	0.45	1.1	1.6	2.9	5.0

注1）コンダクタンスは同一寸法のエルボの値で代表しています。

構造･作動

電磁弁付の場合

バルブ側排気

パイロットポートからパイロット圧力を加えることにより、ピストンと連結したバルブはスプリング力や圧力による作用力を振切り、開く。
XLAVは、1（P）ポートにパイロット圧力を常時加えておき、電磁弁のONでバルブが開き、OFFで閉じる。

■オートスイッチ D-F7NJ の詳細は下記をご参照下さい。

アルミニウム製高真空L型バルブ常時閉/ベローズシール XLAシリーズ注意事項01

■オートスイッチ D-M9NJ の詳細は下記をご参照下さい。

アルミニウム製高真空L型バルブ常時閉/ベローズシール XLAシリーズ注意事項02

規格表

単位：mm

型番	A	B	C	D	E^注1）	Fn	Fd	G	H
XLA-16	40	103	38	1	-	30	-	17	40
XLA-25	50	113	48	1	12	40	-	26	39
XLA-40	65	158	66	2	11	55	-	41	63
XLA-50	70	170	79	2	11	75	-	52	68
XLA-63	88	196	100	3	11	87	95	70	69
XLA-80	90	235	117	3	11	114	110	83	96

注1）E寸法はヒータ付の場合です。（リード線長さ≒1m）

注意・禁止事項

※ 上記以外の製品情報につきましては、カタログを参照下さい。
※ 商品画像は代表画像となっております。

型番リスト

表示件数:

型番	フランジ種類	フランジ呼び	インジケータ	操作ポート方向	温度範囲(℃)	スイッチ型式	スイッチ数	シール材質	ボディ表面処理	シ−ル変更箇所	スイッチリード線長さ(m)	ヒータの有無	最小発注数量	通常単価(税別)(税込単価) 価格の安い順価格の高い順解除	通常出荷日早い順遅い順解除

XLA-16-2

1個

31,449円( 34,594円 )

6日目

XLA-16-2-XA

1個

37,744円( 41,518円 )

19日目

XLA-16-2-XAN1A

1個

35,997円( 39,597円 )

19日目

XLA-16-2-XN1A

1個

32,001円( 35,201円 )

19日目

XLA-16-2-XP1A

1個

62,528円( 68,781円 )

19日目

XLA-16-2-XQ1A

1個

49,534円( 54,487円 )

19日目

XLA-16-2-XQ1B

1個

44,093円( 48,502円 )

19日目

XLA-16-2-XQ1C

1個

37,744円( 41,518円 )

19日目

XLA-16-2-XQ1D

1個

39,837円( 43,821円 )

19日目

XLA-16-2-XQ1E

1個

44,093円( 48,502円 )

19日目

XLA-16-2-XS1A

1個

41,293円( 45,422円 )

19日目

XLA-16-2-XT1A

1個

49,266円( 54,193円 )

19日目

XLA-16-2M9//

1個

33,194円( 36,513円 )

在庫品1日目

当日出荷可能

XLA-16-2M9//-XAN1A

1個

39,449円( 43,394円 )

19日目

XLA-16-2M9//-XQ1A

1個

49,743円( 54,717円 )

19日目

XLA-16-2M9BA

1個

35,784円( 39,362円 )

6日目

XLA-16-2M9BA-XN1A

1個

39,591円( 43,550円 )

19日目

XLA-16-2M9BB

1個

43,056円( 47,362円 )

19日目

XLA-16-2M9BC

1個

37,222円( 40,944円 )

19日目

XLA-16-2M9BLA

1個

46,498円( 51,148円 )

19日目

XLA-16-2M9BLA-XN1A

1個

40,163円( 44,179円 )

19日目

XLA-16-2M9BMA

1個

36,039円( 39,643円 )

19日目

XLA-16-2M9BZA

1個

40,163円( 44,179円 )

19日目

注文停止中

XLA-16-2M9NA

1個

35,954円( 39,549円 )

XLA-16-2M9NA-XA

1個

51,113円( 56,224円 )

19日目

XLA-16-2M9NA-XAN1A

1個

51,785円( 56,964円 )

19日目

XLA-16-2M9NA-XN1A

1個

38,790円( 42,669円 )

19日目

XLA-16-2M9NB

1個

33,701円( 37,071円 )

19日目

XLA-16-2M9NC

1個

33,701円( 37,071円 )

19日目

XLA-16-2M9NLA

1個

46,665円( 51,332円 )

19日目

XLA-16-2M9NMA

1個

46,329円( 50,962円 )

19日目

XLA-16-2M9NZA

1個

36,974円( 40,671円 )

19日目

XLA-16-2M9PA

1個

45,993円( 50,592円 )

19日目

XLA-16-2M9PA-XN1A

1個

46,665円( 51,332円 )

19日目

XLA-16-2M9PB

1個

43,140円( 47,454円 )

19日目

XLA-16-2M9PB-XN1A

1個

43,812円( 48,193円 )

19日目

XLA-16-2M9PLA

1個

46,665円( 51,332円 )

19日目

XLA-16-2M9PLB

1個

43,476円( 47,824円 )

19日目

XLA-16-2M9PZA

1個

40,922円( 45,014円 )

19日目

XLA-16A-2

1個

31,789円( 34,968円 )

19日目

XLA-16A-2M9//

1個

32,001円( 35,201円 )

6日目

XLA-16A-2M9//-XQ1A

1個

52,095円( 57,305円 )

19日目

XLA-16A-2M9BA

1個

46,245円( 50,870円 )

19日目

XLA-16A-2M9BC

1個

37,941円( 41,735円 )

19日目

XLA-16A-2M9BLA

1個

40,559円( 44,615円 )

19日目

XLA-16A-2M9BLB

1個

38,234円( 42,057円 )

19日目

XLA-16A-2M9NA

1個

46,413円( 51,054円 )

19日目

XLA-16A-2M9NC

1個

34,041円( 37,445円 )

19日目

XLA-16A-2M9NLA

1個

40,091円( 44,100円 )

19日目

XLA-16A-2M9NLA-XA

1個

43,394円( 47,733円 )

19日目

XLA-16A-2M9NLC

1個

43,895円( 48,285円 )

19日目

XLA-16A-2M9PA

1個

40,124円( 44,136円 )

19日目

XLA-16A-2M9PB

1個

34,041円( 37,445円 )

19日目

XLA-16A-2M9PLB

1個

38,308円( 42,139円 )

19日目

XLA-16AH0-2

1個

36,549円( 40,204円 )

19日目

XLA-16F-2

1個

40,706円( 44,777円 )

19日目

XLA-16F-2M9BLA

1個

40,559円( 44,615円 )

19日目

XLA-16F-2M9NA

1個

39,519円( 43,471円 )

19日目

XLA-16G-2

1個

40,706円( 44,777円 )

19日目

XLA-16G-2-XA

1個

39,617円( 43,579円 )

19日目

詳細情報

基本情報

基本情報

アウトガスが少ない真空レギュレータ。
【特長】
・アルミボディ採用
・均一なベーキング温度
・軽量・コンパクト
・重金属汚染が少ない
・フッ素ガスの腐食に強い
・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）
・メンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れる

(i)ご注意

掲載商品の内、一部商品はセール価格で販売しています。対象商品は型番リストよりご確認ください。
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材料や部材入手難などの影響により納期が不安定になっています。受注停止中の商品は、次回入荷の目途が立っていません。
スペック、材質の詳細はカタログをご参照ください。
CADデータは、一部の型番には対応しておりません。
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カタログ

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メーカー	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC
通常価格	31,449円～	40,185円～	40,255円～	34,586円～	34,424円～	31,959円～	39,209円～	42,767円～	72,929円～	66,431円～	33,659円～	43,164円～	32,899円～
通常出荷日	在庫品1日目～当日出荷可能	19日目	在庫品1日目～当日出荷可能	在庫品1日目～当日出荷可能	在庫品1日目～当日出荷可能	3日目～	19日目	在庫品1日目～当日出荷可能	19日目	6日目～	6日目～	3日目～	在庫品1日目～当日出荷可能
種類	空操真空弁	高真空用電磁弁	空操真空弁	手動真空弁	パイロット真空弁	パイロット真空弁	高真空用電磁弁	手動真空弁	高真空用電磁弁	空操真空弁	パイロット真空弁	パイロット真空弁	電磁真空弁
用途	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用
設置方法	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト
ポート数	3ポート弁	3ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁
切換の種類	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ

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アルミニウム製高真空L型バルブ常時閉/ベローズシール XLAシリーズのレビュー

評価 4.0 平均満足度：4.0 1件のレビュー

星５

0%
星４

100%
星３

0%
星２

0%
星１

0%

レビューを書く

真空装置に使用

評価 4.0満足度：4.02020/10/21

真空装置のL型バルブに、SMC XLAシリーズを使用しています。オートスイッチは通常取り付けないのですが、必要になった時に後から取り付けられるようにマグネット付きの製品を選定するようにしています。この真空バルブは以前から使用しており、実績のある製品です。気になる点もなく、問題なく使用できています。ほしい性能としては、もっと内部リークの少ない製品があるとうれしいです。要求が厳しいとは思いますが、当社の真空装置には必要な性能です。

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1件全て見る

よくあるご質問（FAQ）

Q 高真空L型バルブ：XL□シリーズは正圧で使用する事はできますか？: A

標準品のXL□シリーズの使用圧力は、1Ｘ10^-6～大気圧です（XLF/XLGは1Ｘ10^-5～大気圧）。
正圧は大気圧までとなります。大気圧を超えた圧縮流体を使用することはできません。
注）XLGシリーズの特注品で対応可の製品があります。

Q 高真空L型バルブ：XL□シリーズに、オートスイッチを後から取付ける事はできますか？: A

高真空L型バルブXL□が、ボンネット内のピストン部にオプションの磁石を装着していれば、
オートスイッチの後付けは可能です。
オートスイッチは、磁石の磁力を感知して信号を出力します。
磁石がピストンに装着されていないXL□にオートスイッチを取付けても、スイッチは作動しません。

【後付け可能な製品品番】
1）製品型式銘版にオートスイッチの品番がある場合：例） XLA-40-2M9NA など
2）オートスイッチは無いが磁石が装着されている場合：例） XLA-40-2M9// など
注）耐熱型オートスイッチの後付けについては、別のFAQをご確認ください。

【後付け不可な製品品番】
１）磁石がピストンに装着されていない場合：例） XLA-40-2 及び　XLA-40H5-2 など

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通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます

コガネイ

スタンダード電磁弁182シリーズ（真空対応）

評価 4.0

通常価格(税別)： 7,331円～

通常出荷日： 8日目
SMC

アルミ製高真空L型バルブ電磁式ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

評価 0.0

通常価格(税別)： 32,899円～

通常出荷日：在庫品1日目～

当日出荷可能
SMC

真空レギュレータ IRV10・20シリーズ

評価 5.0

通常価格(税別)： 218円～

通常出荷日：在庫品1日目～

当日出荷可能
ミスミ

真空配管用継手　クランプ

評価 3.7

通常価格(税別)： 950円～

通常出荷日：在庫品1日目

当日出荷可能
SMC

真空パッドコンパクトタイプ ZP3シリーズ

評価 4.1

通常価格(税別)： 368円～

通常出荷日：在庫品1日目～

当日出荷可能
ミスミ

真空配管用継手　センターリング　

評価 4.0

通常価格(税別)： 1,340円～

通常出荷日：在庫品1日目

当日出荷可能
アドバンテック（真空配管）

ICFフランジ用ガスケット

評価 5.0

通常価格(税別)： 321円～

通常出荷日：在庫品1日目～

当日出荷可能
アドバンテック（真空配管）

NWフランジシリーズ NWブランクフランジ

評価 4.5

通常価格(税別)： 906円～

通常出荷日：在庫品1日目～

当日出荷可能
ミスミ

真空配管部品　NW(KF)フレキシブルチューブ

評価 4.6

通常価格(税別)： 4,520円～

通常出荷日：在庫品1日目～

当日出荷可能
アドバンテック（真空配管）

NWセンターリング

評価 5.0

通常価格(税別)： 569円～

通常出荷日：在庫品1日目～

当日出荷可能