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    • RS485
    • セットポイント付

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    • NW16
    • NW25
    • φ34ICF
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    • M-311HG-RS
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イオンゲージ （熱陰極電離真空計）【M-311HG】

イオンゲージ （熱陰極電離真空計）【M-311HG】

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通常価格(税別)
175,750円
税込価格
193,325円

【概要】・トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。・イオンゲージ（熱...

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型番

M-311HG-SP/N25 解除

  • CADデータ未対応

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商品情報

外形図

イオンゲージ （熱陰極電離真空計）【M-311HG】 外形図

フランジタイプ NW25

製品仕様

特長

安全性と環境に配慮した製品：RoHSおよびCEマーキングに対応

製品仕様

項目イオンゲージ
M-311HG-SPM-311HG-RS
圧力測定範囲1×10-7～10Pa
精度±15%：1×10-6～1×100Pa
再現性±5%：1×10-6～1×100Pa
入力電圧DC20～28V
消費電力12W
アナログ出力0-10V-
セットポイント2点リレー出力
インターフェース-RS485
入出力コネクタDsub-9（Male）
最大ケーブル長200m（1mm2）
使用温度範囲+5～+50℃
保存温度範囲-20～+70℃
センサ型名ミニチュアB-Aゲージ（MG-2lシリーズ）
センサ材質（主要部）フィラメント：Y2O3／lr、ケース：SUS304
外形寸法（mm）110×70×50
フランジ形状NW16、NW25、ICF34、ICF70
適合規格CE、RoHS、IP40

オーダリングインフォメーション

商品名備考
型番品名
M-311HG-SP/N16イオンゲージNW16 フランジ付
M-311HG-SP/N25NW25 フランジ付
M-311HG-SP/C70φ70ICF フランジ付
M-311HG-SP/C34φ341CF フランジ付
M-311HG-RS/N16イオンゲージ（RS485仕様）NW16 フランジ付
M-311HG-RS/N25NW25 フランジ付

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M-311HG-SP/N25

セットポイント付
NW25

1個

175,750円( 193,325円 )

-

  1. 1

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詳細情報

基本情報

【概要】
・トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。
・イオンゲージ（熱陰極電離真空計）は再現性、リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。
・センサはミニチュアゲージ（MG-2Iタイプ）を使用しています。
【特長】
・ワイドな圧力測定範囲。
・10の-7乗Pa～10Paまで、超高真空側の特性を犠牲にすることになく、スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能。
・高応答アナログ出力。
・圧力値のアナログ信号出力は、100msec以内と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能。
・4つのエミッション電流設定モード。
・高圧力領域側での使用時のフィラメント寿命改善など、用途に合わせ選択が可能です。
・省スペース・低消費電力。
【用途】
・生産用真空装置の圧力測定。
・半導体スパッタリング装置の圧力測定。
・各種真空装置。

(i)ご注意

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                            メーカー キヤノンアネルバ アルバック キヤノンアネルバ インフィコン ミスミ CHELIC（チェリック） SMC 日本ピスコ コンバム（旧：妙徳） 日本ピスコ 日本ピスコ 日本ピスコ 日本ピスコ
                            通常価格 175,750円 355,200円 51,300円 24,858円 7,300円 4,665円～ 1,589円～ 14,156円 7,322円 14,156円～ 6,368円～ 14,156円 6,597円～
                            通常出荷日 9日目   2日目   14日目   8日目   在庫品1日目   当日出荷可能 在庫品1日目～   当日出荷可能 在庫品1日目～   当日出荷可能 6日目   7日目   在庫品1日目～   当日出荷可能 在庫品1日目～   当日出荷可能 6日目   在庫品1日目～   当日出荷可能
                            種類 圧力センサ 圧力センサ 圧力センサ 圧力センサ 圧力センサヘッド 圧力スイッチ 圧力モニタ 圧力センサ 圧力センサ 圧力センサ 圧力センサヘッド 圧力センサ 圧力センサヘッド
                            センサ・モニタ構造 分離形・コネクタ接続 分離形・コネクタ接続 分離形・コネクタ接続 分離形・コネクタ接続 分離形・端子台接続 一体形 一体型 一体型 一体形 一体型 分離型・端子台接続 一体型 分離型・端子台接続
                            配管接続方向 下 下 下 下 左右 上 背面 表 裏 表 下 裏 左右
                            配管口の種類 フランジ フランジ - フランジ ワンタッチ継手 ワンタッチ継手 おねじ めねじ おねじ ワンタッチ継手 ニップル 直付 ワンタッチ継手
                            取得規格 CE - CE - - - - - - - - - -

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