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    • K

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    • 40
    • 50
    • 63
    • 80

    解除

  • 音速コンダクタンス

    • 14L/S
    • 45L/S
    • 80L/S
    • 160L/S
    • 200L/S

    解除

  • 操作ポート方向

    • フランジ側
    • フランジ面 右
    • フランジ面 左
    • フランジ面 裏

    解除

  • 温度範囲(℃)

    • 5～60
    • 5～150

    解除

  • スイッチ型式

    • M9B
    • M9N
    • M9P
    • A90
    • A93
    • オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
    • オートスイッチなし（内蔵磁石付）

    解除

  • スイッチ数

    • 1ヶ付（検出位置：弁閉）
    • 1ヶ付（検出位置：弁開）
    • 2ヶ付（検出位置：弁開閉）
    • オートスイッチなし

    解除

  • シール材質

    • Chemraz（配合No.：SSE38）
    • Barrel Perfluoro（配合No.：70W）
    • Chemraz（配合No.：SS592）
    • Chemraz（配合No.：SS630）
    • VMQ（配合No.：1232-70）
    • FKM（配合No.：1349-80）
    • EPDM（配合No.：2101-80）
    • FKM for Plasma（配合No.：3310-75）
    • Kalrez（配合No.：4079）
    • ULTIC ARMOR（配合No.：UA4640）

    解除

  • リーク量(Pa・m3/s)

    • 内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
    • 内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-9乗
    • 内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-11乗
    • 内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-9乗

    解除

  • ボディ表面処理

    • 外部：硬質アルマイト、内部：素地
    • 外部：硬質アルマイト、内部：蓚酸アルマイト

    解除

  • シ−ル変更箇所

    • なし
    • バルブシール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
    • バルブシール/外部シール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
    • 外部シール

    解除

  • スイッチリード線長さ(m)

    • 0.5
    • 1
    • 3
    • 5

    解除

  • ヒータの有無

    • 100℃用ヒータ付
    • 120℃用ヒータ付
    • なし

    解除

  • タイプ

    • XLD-25
    • XLD-40
    • XLD-50
    • XLD-63
    • XLD-80

    解除

  • CAD

    • 2D
    • 3D

    解除

  • 出荷日

    • すべて
    • 6日以内
    • 19日以内
    解除
仕様・寸法を表示する

追加工・オプション

SMC

SMC

アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ

アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ

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通常価格(税別)
66,431円 ～ 260,597円
税込価格
73,074円 ～ 286,657円

ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気...

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    特集ページは　こちら　から、ご確認下さい。

    ■SMC製品取扱いについて
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    型番が決まっている方は　こちら　から、お見積/ご注文下さい。
  • スペック、材質の詳細はカタログをご参照ください。
  • 商品画像は代表画像の場合がございます。詳細形状はカタログをご参照ください。
  • CADデータは、一部の型番には対応しておりません。

取り扱い説明書はこちら

型番

未確定296件の候補があります。

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商品情報

外形図

単位：mm

ワンタッチ接続

ワンタッチ接続の寸法図

ワンタッチ接続＋ねじ込み接続

ワンタッチ接続＋ねじ込み接続の寸法図

製品仕様

ボックス形／Bタイプの外観

ボックス形／Bタイプ

ボックス形（サイレンサ内蔵）ZH□□Bのエジェクタ表示記号

ZH□□Bのエジェクタ表示記号

型番ノズル径
mm		ボディ形式※最高真空圧力
kPa		最大吸込流量
L/min（ANR）		空気消費量
L/min（ANR）		接続
（ワンタッチ／ねじ込み）		質量
（g）
SタイプLタイプSタイプLタイプSタイプ・LタイプSUPVACEXH
ZH05B□0.5ボックス形
（サイレンサ内蔵）		-88-485813φ6（直径6mm）,Rc 1/8
G 1/8		φ6（直径6mm）,Rc 1/8
G 1/8		-28
ZH07B□0.712202328
ZH10B□1.024344633
ZH13B□1.3407078φ8（直径8mm）,Rc 1/8
G 1/8		φ10（直径10mm）,Rc 1/8
G 1/8		66

※供給圧力：0.45MPaの時。
使用流体：空気、使用温度範囲：5～50℃、最高使用圧力：0.6MPa、標準供給圧力：0.45MPa

構造

ボックス形 （サイレンサ内蔵）の構造図

排気特性／流量特性

ZH05□Sの排気特性（左）／流量特性（右）

ZH05□S

ZH05□Lの排気特性（左）／流量特性（右）

ZH05□L

ZH07□Sの排気特性（左）／流量特性（右）

ZH07□S

ZH07□Lの排気特性（左）／流量特性（右）

ZH07□L

※流量特性は供給圧力が0.45MPaの時のものです。

流量特性の図の見方

流量特性の図の例

例

流量特性は、エジェクタの真空圧力と吸込流量の関係を表わし、吸込流量が変化すると真空圧力も変化することを示している。一般には、エジェクタの標準使用圧力での関係を示している。
図で、Pmaxは最高真空圧力、Qmaxは最大吸込流量を示している。カタログ等で仕様として掲載されている値はこの値となる。
真空圧力の変化の仕方について、順を追って下記にて説明する。

  1. 1.エジェクタの吸込口を塞ぎ、密閉すると吸込流量は0となり、真空圧力は最高（Pmax）となる。
  2. 2.吸込口を序々に開き、空気が流れる（空気が漏れる）ようにすると、吸込流量は増加するが、真空圧力は低くなる。（P1とQ1の状態）
  3. 3.さらに吸込口を開け、全開とすると、吸込流量は最大（Qmax）となるが、この時の真空圧力はほとんど0（大気圧）となる。このように、吸込流量が変化すると、真空圧力も変化する。言い換えると、真空ポート（真空配管）に漏れがない場合は真空圧力は最高となるが、漏れ量が増えるに従って真空圧力が低下し漏れ量と最大吸込流量が等しくなると真空圧力はほとんど0となる。
    通気性のあるワークや漏れのあるワークを吸着させる場合は、真空圧力があまり高くならないので注意が必要。

規格表

ワンタッチ接続

型番AφBCDEFGH
ZH05BS-06-06606221616.828547
ZH05BL-06-06
ZH07BS-06-06
ZH07BL-06-06
ZH10BS-06-06636231816.829550
ZH10BS-06-06
ZH13BS-08-1078827.52318.735761
ZH13BS-08-10
型番IJφKLφMφNOP
ZH05BS-06-065716.83.22465.8231
ZH05BL-06-06
ZH07BS-06-06
ZH07BL-06-06
ZH10BS-06-066016.83.22665.8232
ZH10BL-06-06
ZH13BS-08-1075214.228107.5338.5
ZH13BL-08-10

ワンタッチ接続+ねじ込み接続

型番AφBCDEFGH
ZH05BS-06-0160629.51616.828547
ZH05BL-06-01
ZH07BS-06-01
ZH07BL-06-01
ZH10BS-06-0163630.51816.829550
ZH10BL-06-01
ZH13BS-08-0278838.52318.735761
ZH13BL-08-02
ZH05BS-06-F0160629.51616.828547
ZH05BL-06-F01
ZH07BS-06-F01
ZH07BL-06-F01
ZH10BS-06-F0163630.51816.829550
ZH10BL-06-F01
ZH13BS-08-F02788392318.735761
ZH13BL-08-F02
型番IJφKLMφNOP
ZH05BS-06-0157123.224Rc 1/85.8238.5
ZH05BL-06-01
ZH07BS-06-01
ZH07BL-06-01
ZH10BS-06-0160123.226Rc 1/85.8239.5
ZH10BL-06-01
ZH13BS-08-0275174.228Rc 1/47.5349.5
ZH13BL-08-02
ZH05BS-06-F0157123.224G 1/85.8238.5
ZH05BL-06-F01
ZH07BS-06-F01
ZH07BL-06-F01
ZH10BS-06-F0160123.226G 1/85.8239.5
ZH10BL-06-F01
ZH13BS-08-F0275174.228G 1/47.5350
ZH13BL-08-F02

※上記型番以外の組合せにつきましては、別途メーカーサポートセンターへお問い合わせください。

注意・禁止事項

  • ※ 取付けについて：エジェクタ本体に接続配管や取付によって過度の荷重やモーメントが加わらないようにご注意ください。
  • ※ 排気側配管について：型番ZH□□B□の排気口のうち少なくとも片側は開放してください。
  • ※ 選定およびサイジングについて：カタログの真空用機器機種選定方法をご参照ください。
  • ※ 上記以外の製品情報につきましては、カタログを参照ください。

型番リスト

表示件数:
  1. 1
  2. 2
  3. 3
  4. 4
  5. 5
  6. 次へ
型番
フランジ種類
フランジ呼び
音速コンダクタンス
操作ポート方向
温度範囲(℃)
スイッチ型式
スイッチ数
シール材質
リーク量(Pa・m3/s)
ボディ表面処理
シ−ル変更箇所
スイッチリード線長さ(m)
ヒータの有無
最小発注数量
通常単価(税別)(税込単価)
  • 価格の安い順
  • 価格の高い順
  • 解除
通常
出荷日
  • 早い順
  • 遅い順
  • 解除
KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
-
なし

1個

80,572円( 88,629円 )

6日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
A90
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
3
なし

1個

68,354円( 75,189円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
A93
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
0.5
なし

1個

83,929円( 92,322円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
A93
1ヶ付（検出位置：弁閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
0.5
なし

1個

82,250円( 90,475円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
A93
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
3
なし

1個

84,600円( 93,060円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
A93
1ヶ付（検出位置：弁閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
3
なし

1個

82,586円( 90,845円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石付）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
-
なし

1個

80,908円( 88,999円 )

6日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石付）
オートスイッチなし
Kalrez（配合No.：4079）
内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール/外部シール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
-
なし

1個

85,097円( 93,607円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石付）
オートスイッチなし
VMQ（配合No.：1232-70）
内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール/外部シール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
-
なし

1個

67,871円( 74,658円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
0.5
なし

1個

86,112円( 94,723円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
M9B
1ヶ付（検出位置：弁閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
0.5
なし

1個

83,342円( 91,676円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
3
なし

1個

86,783円( 95,461円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
M9B
1ヶ付（検出位置：弁閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
3
なし

1個

83,678円( 92,046円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
1
なし

1個

86,448円( 95,093円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
5
なし

1個

87,455円( 96,201円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
0.5
なし

1個

86,279円( 94,907円 )

6日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
M9N
1ヶ付（検出位置：弁開）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
0.5
なし

1個

83,426円( 91,769円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
M9N
1ヶ付（検出位置：弁閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
0.5
なし

1個

83,426円( 91,769円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
3
なし

1個

86,950円( 95,645円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
M9N
1ヶ付（検出位置：弁開）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
3
なし

1個

83,762円( 92,138円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
M9N
1ヶ付（検出位置：弁閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
3
なし

1個

83,762円( 92,138円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
M9P
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
0.5
なし

1個

86,279円( 94,907円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
M9P
1ヶ付（検出位置：弁閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
0.5
なし

1個

83,426円( 91,769円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
M9P
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
3
なし

1個

86,950円( 95,645円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
Kalrez（配合No.：4079）
内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
-
なし

1個

77,380円( 85,118円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～150
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
-
なし

1個

81,830円( 90,013円 )

6日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～150
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
Kalrez（配合No.：4079）
内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール/外部シール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
-
なし

1個

84,808円( 93,289円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～150
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
Chemraz（配合No.：SSE38）
内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール/外部シール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
-
なし

1個

102,530円( 112,783円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ側
5～150
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
-
120℃用ヒータ付

1個

89,385円( 98,324円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 左
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
-
なし

1個

80,572円( 88,629円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 左
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石付）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
-
なし

1個

80,908円( 88,999円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 左
5～60
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
0.5
なし

1個

86,112円( 94,723円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 左
5～60
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
0.5
なし

1個

86,279円( 94,907円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 左
5～60
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
3
なし

1個

86,950円( 95,645円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 左
5～60
M9P
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
0.5
なし

1個

70,834円( 77,917円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 左
5～150
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
-
なし

1個

81,830円( 90,013円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 裏
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
-
なし

1個

80,572円( 88,629円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 裏
5～60
A93
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
0.5
なし

1個

83,929円( 92,322円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 裏
5～60
A93
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
3
なし

1個

84,600円( 93,060円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 裏
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石付）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
-
なし

1個

80,908円( 88,999円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 裏
5～60
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
0.5
なし

1個

86,112円( 94,723円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 裏
5～60
M9B
1ヶ付（検出位置：弁閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
0.5
なし

1個

83,342円( 91,676円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 裏
5～60
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
3
なし

1個

86,783円( 95,461円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 裏
5～60
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
0.5
なし

1個

86,279円( 94,907円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 裏
5～60
M9N
1ヶ付（検出位置：弁閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
0.5
なし

1個

83,426円( 91,769円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 裏
5～60
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
3
なし

1個

86,950円( 95,645円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 裏
5～60
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
5
なし

1個

87,622円( 96,384円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 裏
5～60
M9N
1ヶ付（検出位置：弁閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
5
なし

1個

84,098円( 92,508円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 裏
5～60
M9P
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
0.5
なし

1個

86,279円( 94,907円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 裏
5～60
M9P
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
3
なし

1個

86,950円( 95,645円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 裏
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
EPDM（配合No.：2101-80）
内部：1.3×10の-8乗外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール/外部シール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
-
なし

1個

66,431円( 73,074円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 裏
5～150
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
-
なし

1個

81,830円( 90,013円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 裏
5～150
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
-
120℃用ヒータ付

1個

89,385円( 98,324円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 右
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
-
なし

1個

80,572円( 88,629円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 右
5～60
A93
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
0.5
なし

1個

83,929円( 92,322円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 右
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石付）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
-
なし

1個

80,908円( 88,999円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 右
5～60
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
0.5
なし

1個

86,112円( 94,723円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 右
5～60
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
3
なし

1個

86,783円( 95,461円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 右
5～60
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
0.5
なし

1個

86,279円( 94,907円 )

19日目

KF
25
14L/S
フランジ面 右
5～60
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
3
なし

1個

86,950円( 95,645円 )

19日目

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詳細情報

基本情報

ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。
【特長】
・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）
・システムのコンパクト化および省配管化を実現
・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止
・初期排気弁の流量調整可能
・エアオペレートタイプ/電磁弁付き
・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる
・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む
・フッ素に強い
・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減
・軽量・コンパクト

(i)ご注意

  • ■SMC エアシリンダ製品の選定・技術情報
    特集ページは　こちら　から、ご確認下さい。

    ■SMC製品取扱いについて
    Webページが無い製品については順次公開を予定しています。
    型番が決まっている方は　こちら　から、お見積/ご注文下さい。
  • スペック、材質の詳細はカタログをご参照ください。
  • 商品画像は代表画像の場合がございます。詳細形状はカタログをご参照ください。
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                            メーカー SMC SMC SMC SMC SMC SMC SMC SMC SMC SMC SMC SMC SMC
                            通常価格 66,431円～ 72,929円～ 67,871円～ 33,659円～ 34,424円～ 31,959円～ 34,586円～ 31,449円～ 39,209円～ 43,164円～ 40,185円～ 42,767円～ 40,255円～
                            通常出荷日 6日目～   19日目   6日目～   6日目～   在庫品1日目～   当日出荷可能 3日目～   在庫品1日目～   当日出荷可能 在庫品1日目～   当日出荷可能 19日目   3日目～   19日目   在庫品1日目～   当日出荷可能 在庫品1日目～   当日出荷可能
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                            設置方法 ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト
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                            よくあるご質問（FAQ）

                            Q 高真空L型バルブ：XL□シリーズは正圧で使用する事はできますか？
                            A
                            標準品のXL□シリーズの使用圧力は、1Ｘ10-6～大気圧です（XLF/XLGは1Ｘ10-5～大気圧）。
                            正圧は大気圧までとなります。大気圧を超えた圧縮流体を使用することはできません。
                            注）XLGシリーズの特注品で対応可の製品があります。
                            Q 高真空L型バルブ：XL□シリーズに、オートスイッチを後から取付ける事はできますか？
                            A
                            高真空L型バルブXL□が、ボンネット内のピストン部にオプションの磁石を装着していれば、
                            オートスイッチの後付けは可能です。
                            オートスイッチは、磁石の磁力を感知して信号を出力します。
                            磁石がピストンに装着されていないXL□にオートスイッチを取付けても、スイッチは作動しません。

                            【後付け可能な製品品番】
                            1）製品型式銘版にオートスイッチの品番がある場合：例） XLA-40-2M9NA など
                            2）オートスイッチは無いが磁石が装着されている場合：例） XLA-40-2M9// など
                            注）耐熱型オートスイッチの後付けについては、別のFAQをご確認ください。

                            【後付け不可な製品品番】
                            １）磁石がピストンに装着されていない場合：例） XLA-40-2 及び　XLA-40H5-2 など

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