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ピンセット
ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気...
型番
未確定214件の候補があります。
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単位:mm
XLDV-25/電磁弁付き
XLDV-40、XLDV-50、XLDV-63、XLDV-80/電磁弁付き
操作ポート方向
型番 | XLD(V)-25 | XLD(V)-40 | XLD(V)-50 | XLD(V)-63 | XLD(V)-80 | |
---|---|---|---|---|---|---|
弁の形式 | 常時閉(スプリング復帰とシール)[主排気・初期排気弁共] | |||||
使用流体 | 不活性ガス系の真空 | |||||
使用温度 ℃ | XLDV | 5~60(高温タイプの場合:5~150) | ||||
5~50 | ||||||
使用圧力 Pa(abs) | 1×10-6~大気圧 | |||||
コンダクタンス L/s注1) | 主排気弁 | 14 | 45 | 80 | 160 | 200 |
初期排気弁 | 0.5~3 | 2~8 | 2.5~11 | 4~18 | 4~18 | |
リーク量 Pa・m3/s | 内部 | 標準材質(FKM)の場合1.3×10-10常温時・ガス透過を除く | ||||
外部 | 標準材質(FKM)の場合1.3×10-11常温時・ガス透過を除く | |||||
フランジの種類 | KF(NW) | KF(NW)・K(DN) | ||||
主な材質注3) | 本体:アルミ合金 ベローズ:SUS316L 要部:ステンレス、FKM(標準シール材) | |||||
表面処理 | 外部:硬質アルマイト 内部:素地 | |||||
パイロット圧力 MPa(G) | 0.4~0.7[主排気・初期排気弁共] | |||||
パイロットポート接続口径 | XLDV | M5:1(P), 3(R)ポート | ||||
質量 kg | XLDV | 0.57 | 1.3 | 1.9 | 3.5 | 5.7 |
注1)主排気弁のコンダクタンスは同一寸法のエルボの"分子流"での値です。初期排気弁のコンダクタンスは"粘性流"での値です。
注2)バルブ加熱用ヒータの仕様はカタログ共通オプション仕様(1)加熱用ヒータを参照願います。
注3)真空部のシール材摺動部(初期排気弁摺動部)には真空グリース[Y-VAC2]を塗布しております。
アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール
XLDV-25/電磁弁付き
XLDV-40、XLDV-50、XLDV-63、XLDV-80/電磁弁付き
※保守部品につきましてはカタログを参照してください。
初期排気弁のコンダクタンス設定グラフ
注)アジャストナットはバルブ作動中に回転してしまうことはありませんが、誤操作防止のためアジャストナットの回転を固定することができます。アジャストナット設定後固定する場合には下記「"A"部ねじ締め付けトルク」のトルクで締め付けてください。(過大なトルクを加えますと、部品破損や異音発生原因となります。)
"A"部ねじ締付トルク
型番 | A | B | C | Fn | Fd | G | M | N | K |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
XLDV-40 | 65 | 170 | 66 | 55 | - | 41 | 48.5 | 53.5 | 15 |
XLDV-50 | 70 | 183 | 79 | 75 | - | 52 | 55 | 57.5 | 17.5 |
XLDV-63 | 88 | 217 | 100 | 87 | 95 | 70 | 66.5 | 72.2 | 20 |
XLDV-80 | 90 | 256 | 117 | 114 | 110 | 83 | 75 | 82.6 | 26.5 |
型番 |
フランジ種類 |
フランジ呼び |
電圧 |
音速コンダクタンス |
操作ポート方向 |
スイッチ型式 |
スイッチ数 |
シール材質 |
リーク量(Pa・m3/s) |
リード線取出し方法 |
ランプ・サージ電圧保護回路 |
ボディ表面処理 |
シ−ル変更箇所 |
CE対応 |
スイッチリード線長さ(m) | 最小発注数量 | 通常単価(税別)(税込単価)
|
通常 出荷日
|
---|
KF
|
25
|
AC100V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
なし
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 92,993円(
102,292円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
AC100V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
L型プラグコネクタ
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,329円(
102,662円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
AC200V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
なし
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,329円(
102,662円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
AC200V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
L型プラグコネクタ
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,665円(
103,032円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
なし
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 92,993円(
102,292円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,078円(
102,386円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
L型プラグコネクタ
|
サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,245円(
102,570円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
L型プラグコネクタ
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,329円(
102,662円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
M型プラグコネクタ
|
サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 80,611円(
88,672円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
なし
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
CE対応品
|
-
| 1個 | 72,929円(
80,222円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,498円(
102,848円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ600mm)
|
ランプ・サージ電圧保護回路付(無極性タイプ)
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,916円(
103,308円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
L型プラグコネクタ
|
ランプ・サージ電圧保護回路付(無極性タイプ)
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,833円(
103,216円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
L型プラグコネクタ
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,665円(
103,032円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
M型プラグコネクタ
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,665円(
103,032円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC12V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
L型プラグコネクタ
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,665円(
103,032円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
AC100V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
M9B
|
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
0.5
| 1個 | 98,700円(
108,570円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
AC100V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
M9B
|
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ600mm)
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
0.5
| 1個 | 98,952円(
108,847円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
AC110V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
M9B
|
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ600mm)
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
0.5
| 1個 | 98,952円(
108,847円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
M9B
|
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
0.5
| 1個 | 98,700円(
108,570円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
M9B
|
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
L型プラグコネクタ
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
0.5
| 1個 | 98,869円(
108,756円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
M9B
|
1ヶ付(検出位置:弁開)
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
ランプ・サージ電圧保護回路付(無極性タイプ)
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
0.5
| 1個 | 96,099円(
105,709円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
AC100V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
M9B
|
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
3
| 1個 | 99,372円(
109,309円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
M9B
|
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
なし
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
CE対応品
|
3
| 1個 | 77,519円(
85,271円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
M9B
|
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
L型プラグコネクタ
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
3
| 1個 | 81,721円(
89,893円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
AC200V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
M9N
|
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
L型プラグコネクタ
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
0.5
| 1個 | 99,372円(
109,309円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
M9N
|
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
なし
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
0.5
| 1個 | 98,700円(
108,570円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
M9N
|
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
ランプ・サージ電圧保護回路付(無極性タイプ)
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
0.5
| 1個 | 81,308円(
89,439円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
M9N
|
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
0.5
| 1個 | 98,869円(
108,756円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
M9N
|
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
L型プラグコネクタ
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
0.5
| 1個 | 99,036円(
108,940円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
M9N
|
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
M型プラグコネクタ
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
0.5
| 1個 | 99,036円(
108,940円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC12V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
M9N
|
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
L型プラグコネクタ
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
0.5
| 1個 | 99,036円(
108,940円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
M9N
|
1ヶ付(検出位置:弁閉)
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
M型プラグコネクタ
|
ランプ・サージ電圧保護回路付(無極性タイプ)
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
0.5
| 1個 | 96,350円(
105,985円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
M9P
|
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ600mm)
|
ランプ・サージ電圧保護回路付(無極性タイプ)
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
3
| 1個 | 99,959円(
109,955円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 左
|
M9P
|
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
L型プラグコネクタ
|
ランプ・サージ電圧保護回路付(無極性タイプ)
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
5
| 1個 | 100,548円(
110,603円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
AC100V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
なし
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 92,993円(
102,292円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
AC100V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,162円(
102,478円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
AC110V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,162円(
102,478円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
なし
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 92,993円(
102,292円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
ランプ・サージ電圧保護回路付(無極性タイプ)
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,329円(
102,662円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
ランプ・サージ電圧保護回路付(無極性タイプ)
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
CE対応品
|
-
| 1個 | 93,665円(
103,032円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,162円(
102,478円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
CE対応品
|
-
| 1個 | 93,498円(
102,848円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ600mm)
|
なし
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,245円(
102,570円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ600mm)
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,413円(
102,754円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
L型プラグコネクタ
|
なし
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,162円(
102,478円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
L型プラグコネクタ
|
サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,245円(
102,570円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
L型プラグコネクタ
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,329円(
102,662円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
M型プラグコネクタ
|
サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 80,611円(
88,672円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
M型プラグコネクタ
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,329円(
102,662円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
M型プラグコネクタ
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
CE対応品
|
-
| 1個 | 76,898円(
84,588円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
A93
|
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
0.5
| 1個 | 96,435円(
106,079円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
A93
|
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
0.5
| 1個 | 78,274円(
86,101円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
なし
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,329円(
102,662円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
なし
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
CE対応品
|
-
| 1個 | 72,929円(
80,222円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,413円(
102,754円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ300mm)
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 80,828円(
88,911円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ600mm)
|
サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
CE対応品
|
-
| 1個 | 77,173円(
84,890円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
グロメット(リード線長さ600mm)
|
ランプ・サージ電圧保護回路付(無極性タイプ)
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,916円(
103,308円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
DC24V
|
14L/S
|
フランジ面 裏
|
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
|
オートスイッチなし
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
L型プラグコネクタ
|
ランプ・サージ電圧保護回路付
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
非対応
|
-
| 1個 | 93,665円(
103,032円
) | 19日目 |
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ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。
【特長】
・初期排気バルブと主排気バルブを一体化(流量二段制御バルブ)
・システムのコンパクト化および省配管化を実現
・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止
・初期排気弁の流量調整可能
・エアオペレートタイプ/電磁弁付き
・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる
・Ni(ニッケル)、Cr(クロム)等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む
・フッ素に強い
・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減
・軽量・コンパクト
SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ
アルミニウム製真空バルブとなります。初期排気バルブと主排気バルブを一体化し、初期排気弁の流量調整が可能です。ポンプの過負荷運転や、排気時チェンバー内のダスト巻上げを防止します。
SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ
真空バルブとなります。アルミボディ採用でフッ素ガスの腐食に強い製品です。ベローズ交換が可能になり、メンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れます。
SMC
【在庫品多数】薄形シリンダ 標準形 複動・片ロッド CQ2シリーズ
薄形シリンダ/標準形:複動・片ロッド CQ2シリーズとなります。全長が薄形に設計された省スペースシリンダです。各種冶具や装置のコンパクト化を実現しているため最小限のスペースでワーク可能です。
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