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  • フランジ種類

    • KF
    • K

    解除

  • フランジ呼び

    • 25
    • 40
    • 50
    • 63
    • 80

    解除

  • 電圧

    • DC12V
    • DC24V
    • AC100V
    • AC200V
    • AC110V
    • AC220V

    解除

  • 音速コンダクタンス

    • 14L/S
    • 45L/S
    • 80L/S
    • 160L/S
    • 200L/S

    解除

  • 操作ポート方向

    • フランジ面 右
    • フランジ面 左
    • フランジ面 裏

    解除

  • スイッチ型式

    • M9B
    • M9N
    • M9P
    • A90
    • A93
    • オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
    • オートスイッチなし（内蔵磁石付）

    解除

  • スイッチ数

    • 1ヶ付（検出位置：弁閉）
    • 1ヶ付（検出位置：弁開）
    • 2ヶ付（検出位置：弁開閉）
    • オートスイッチなし

    解除

  • シール材質

    • Chemraz（配合No.：SSE38）
    • Barrel Perfluoro（配合No.：70W）
    • FKM（配合No.：1349-80）
    • EPDM（配合No.：2101-80）

    解除

  • リーク量(Pa・m3/s)

    • 内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
    • 内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗

    解除

  • リード線取出し方法

    • グロメット（リード線長さ300mm）
    • グロメット（リード線長さ600mm）
    • L型プラグコネクタ
    • M型プラグコネクタ

    解除

  • ランプ･サージ電圧保護回路

    • なし
    • サージ電圧保護回路付
    • ランプ･サージ電圧保護回路付
    • ランプ･サージ電圧保護回路付（無極性タイプ）

    解除

  • ボディ表面処理

    • 外部：硬質アルマイト、内部：素地
    • 外部：硬質アルマイト、内部：蓚酸アルマイト

    解除

  • シ−ル変更箇所

    • なし
    • バルブシール/外部シール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング

    解除

  • CE対応

    • CE対応品
    • 非対応

    解除

  • スイッチリード線長さ(m)

    • 0.5
    • 1
    • 3
    • 5

    解除

  • タイプ

    • XLDV-25
    • XLDV-40
    • XLDV-50
    • XLDV-63
    • XLDV-80

    解除

  • CAD

    • 2D
    • 3D

    解除

  • 出荷日

    • すべて
    • 19日以内
    解除
仕様・寸法を表示する

追加工・オプション

SMC

SMC

アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ

アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ

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通常価格(税別)
72,929円 ～ 270,244円
税込価格
80,222円 ～ 297,268円

ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気...

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    型番が決まっている方は　こちら　から、お見積/ご注文下さい。
  • スペック、材質の詳細はカタログをご参照ください。
  • 商品画像は代表画像の場合がございます。詳細形状はカタログをご参照ください。
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取り扱い説明書はこちら

型番

未確定214件の候補があります。

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商品情報

外形図

単位：mm

XLDV-25／電磁弁付きの寸法図

XLDV-25／電磁弁付き

XLDV-40、XLDV-50、XLDV-63、XLDV-80／電磁弁付きの寸法図

XLDV-40、XLDV-50、XLDV-63、XLDV-80／電磁弁付き

製品仕様

XLDVシリーズの外観
XLDVシリーズの操作ポート方向

操作ポート方向

型番XLD（V）-25XLD（V）-40XLD（V）-50XLD（V）-63XLD（V）-80
弁の形式常時閉（スプリング復帰とシール）［主排気・初期排気弁共］
使用流体不活性ガス系の真空
使用温度 ℃XLDV5～60（高温タイプの場合：5～150）
5～50
使用圧力 Pa（abs）1×10-6～大気圧
コンダクタンス L/s注1）主排気弁144580160200
初期排気弁0.5～32～82.5～114～184～18
リーク量 Pa・m3/s内部標準材質（FKM）の場合1.3×10-10常温時・ガス透過を除く
外部標準材質（FKM）の場合1.3×10-11常温時・ガス透過を除く
フランジの種類KF（NW）KF（NW）・K（DN）
主な材質注3）本体：アルミ合金 ベローズ：SUS316L 要部：ステンレス、FKM（標準シール材）
表面処理外部：硬質アルマイト 内部：素地
パイロット圧力 MPa（G）0.4～0.7［主排気・初期排気弁共］
パイロットポート接続口径XLDVM5：1（P）, 3（R）ポート
質量 kgXLDV0.571.31.93.55.7

注1）主排気弁のコンダクタンスは同一寸法のエルボの"分子流"での値です。初期排気弁のコンダクタンスは"粘性流"での値です。
注2）バルブ加熱用ヒータの仕様はカタログ共通オプション仕様（1）加熱用ヒータを参照願います。
注3）真空部のシール材摺動部（初期排気弁摺動部）には真空グリース［Y-VAC2］を塗布しております。

構造

アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動／ベローズシール・Oリングシールの構造図

アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動／ベローズシール・Oリングシール

XLDV-25／電磁弁付きの構造図

XLDV-25／電磁弁付き

XLDV-40、XLDV-50、XLDV-63、XLDV-80／電磁弁付きの構造図

XLDV-40、XLDV-50、XLDV-63、XLDV-80／電磁弁付き

※保守部品につきましてはカタログを参照してください。

作動説明

初期排気弁のコンダクタンス設定グラフ

初期排気弁のコンダクタンス設定グラフ

  1. 1.初期排気用バルブ開度調整
    使用前にパイロットポートSにパイロット圧力を加えない状態で初期排気量を調整する。アジャストナットを時計回転で回し続け、軽く回転が停止すると、初期排気量はゼロになる。（工具は使用しない）反時計回転で初期排気量を設定する。
  2. 2.初期排気用バルブ（Sバルブ）開
    1（P）ポートにパイロット圧力を常時加えておき、初期排気用電磁弁ONで、調整した開度まで開く。
  3. 3.主排気用バルブ（Mバルブ）開
    1（P）ポートにパイロット圧力を常時加えておき、主排気用電磁弁ONで、全開する。
  4. 4.初期排気用バルブ／主排気用バルブ閉
    初期排気用電磁弁および主排気用電磁弁をOFFすることにより、SバルブおよびMバルブは復帰し、シールする。

注）アジャストナットはバルブ作動中に回転してしまうことはありませんが、誤操作防止のためアジャストナットの回転を固定することができます。アジャストナット設定後固定する場合には下記「"A"部ねじ締め付けトルク」のトルクで締め付けてください。（過大なトルクを加えますと、部品破損や異音発生原因となります。）

"A"部ねじ締付トルク

  • XLD-25V／XLDV-40／XLDV-50：0.08N・m（0.8kgf・cm）以下
  • XLDV-63／XLDV-80：0.3N・m（3kgf・cm）以下

オプション説明

  • オートスイッチ（主排気弁用）
    磁石でオートスイッチを作動。オートスイッチ2ヶで''開閉''、オートスイッチ1ヶで''開''または''閉''の位置を検出。温度の適用は一般用（5～60℃）のみ。
  • ヒータ
    サーミスターを用い簡易的に加熱する。バルブのサイズにより異なるが、100℃・120℃にボディを加熱する。サイズと設定温度によりサーミスターの種類と使用数が異なる。高温仕様の場合、ボンネットAss'yは耐熱構成。電磁弁付きには対応しない。

規格表

単位：mm
型番ABCFnFdGMNK
XLDV-40651706655-4148.553.515
XLDV-50701837975-525557.517.5
XLDV-638821710087957066.572.220
XLDV-8090256117114110837582.626.5

注意・禁止事項

  • ※ ボディ材質はA6063、ベローズはSUS316L、その他真空部の金属材質はSUS304です。真空部のシール材質は標準でFKMとなっておりますが、その他材質（型番表示方法確認ください）の選択が可能です。使用材質を確認のうえ、支障のない流体をご使用ください。
  • ※ 操作気圧配管材料および継手の耐熱は、使用温度に適したものを選定してください。
  • ※ オートスイッチのスイッチ部の温度は60℃以下にしてください。
  • ※ ヒータ（サーミスター）付きをご使用の場合は、温度過昇防止機構を設置してください。
  • ※ 電磁弁付きの場合は、電磁弁部の温度を50℃以下にしてください。
  • ※ 上記以外の製品情報につきましては、カタログを参照下さい。

型番リスト

表示件数:
  1. 1
  2. 2
  3. 3
  4. 4
  5. 次へ
型番
フランジ種類
フランジ呼び
電圧
音速コンダクタンス
操作ポート方向
スイッチ型式
スイッチ数
シール材質
リーク量(Pa・m3/s)
リード線取出し方法
ランプ･サージ電圧保護回路
ボディ表面処理
シ−ル変更箇所
CE対応
スイッチリード線長さ(m)
最小発注数量
通常単価(税別)(税込単価)
  • 価格の安い順
  • 価格の高い順
  • 解除
通常
出荷日
  • 早い順
  • 遅い順
  • 解除
KF
25
AC100V
14L/S
フランジ面 左
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
なし
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

92,993円( 102,292円 )

19日目

KF
25
AC100V
14L/S
フランジ面 左
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
L型プラグコネクタ
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,329円( 102,662円 )

19日目

KF
25
AC200V
14L/S
フランジ面 左
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
なし
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,329円( 102,662円 )

19日目

KF
25
AC200V
14L/S
フランジ面 左
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
L型プラグコネクタ
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,665円( 103,032円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
なし
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

92,993円( 102,292円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,078円( 102,386円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
L型プラグコネクタ
サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,245円( 102,570円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
L型プラグコネクタ
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,329円( 102,662円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
M型プラグコネクタ
サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

80,611円( 88,672円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
オートスイッチなし（内蔵磁石付）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
なし
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
CE対応品
-

1個

72,929円( 80,222円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
オートスイッチなし（内蔵磁石付）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,498円( 102,848円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
オートスイッチなし（内蔵磁石付）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ600mm）
ランプ･サージ電圧保護回路付（無極性タイプ）
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,916円( 103,308円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
オートスイッチなし（内蔵磁石付）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
L型プラグコネクタ
ランプ･サージ電圧保護回路付（無極性タイプ）
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,833円( 103,216円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
オートスイッチなし（内蔵磁石付）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
L型プラグコネクタ
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,665円( 103,032円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
オートスイッチなし（内蔵磁石付）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
M型プラグコネクタ
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,665円( 103,032円 )

19日目

KF
25
DC12V
14L/S
フランジ面 左
オートスイッチなし（内蔵磁石付）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
L型プラグコネクタ
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,665円( 103,032円 )

19日目

KF
25
AC100V
14L/S
フランジ面 左
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
0.5

1個

98,700円( 108,570円 )

19日目

KF
25
AC100V
14L/S
フランジ面 左
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ600mm）
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
0.5

1個

98,952円( 108,847円 )

19日目

KF
25
AC110V
14L/S
フランジ面 左
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ600mm）
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
0.5

1個

98,952円( 108,847円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
0.5

1個

98,700円( 108,570円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
L型プラグコネクタ
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
0.5

1個

98,869円( 108,756円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
M9B
1ヶ付（検出位置：弁開）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
ランプ･サージ電圧保護回路付（無極性タイプ）
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
0.5

1個

96,099円( 105,709円 )

19日目

KF
25
AC100V
14L/S
フランジ面 左
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
3

1個

99,372円( 109,309円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
なし
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
CE対応品
3

1個

77,519円( 85,271円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
L型プラグコネクタ
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
3

1個

81,721円( 89,893円 )

19日目

KF
25
AC200V
14L/S
フランジ面 左
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
L型プラグコネクタ
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
0.5

1個

99,372円( 109,309円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
なし
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
0.5

1個

98,700円( 108,570円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
ランプ･サージ電圧保護回路付（無極性タイプ）
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
0.5

1個

81,308円( 89,439円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
0.5

1個

98,869円( 108,756円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
L型プラグコネクタ
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
0.5

1個

99,036円( 108,940円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
M型プラグコネクタ
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
0.5

1個

99,036円( 108,940円 )

19日目

KF
25
DC12V
14L/S
フランジ面 左
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
L型プラグコネクタ
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
0.5

1個

99,036円( 108,940円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
M9N
1ヶ付（検出位置：弁閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
M型プラグコネクタ
ランプ･サージ電圧保護回路付（無極性タイプ）
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
0.5

1個

96,350円( 105,985円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
M9P
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ600mm）
ランプ･サージ電圧保護回路付（無極性タイプ）
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
3

1個

99,959円( 109,955円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 左
M9P
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
L型プラグコネクタ
ランプ･サージ電圧保護回路付（無極性タイプ）
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
5

1個

100,548円( 110,603円 )

19日目

KF
25
AC100V
14L/S
フランジ面 裏
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
なし
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

92,993円( 102,292円 )

19日目

KF
25
AC100V
14L/S
フランジ面 裏
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,162円( 102,478円 )

19日目

KF
25
AC110V
14L/S
フランジ面 裏
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,162円( 102,478円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 裏
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
なし
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

92,993円( 102,292円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 裏
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
ランプ･サージ電圧保護回路付（無極性タイプ）
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,329円( 102,662円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 裏
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
ランプ･サージ電圧保護回路付（無極性タイプ）
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
CE対応品
-

1個

93,665円( 103,032円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 裏
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,162円( 102,478円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 裏
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
CE対応品
-

1個

93,498円( 102,848円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 裏
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ600mm）
なし
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,245円( 102,570円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 裏
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ600mm）
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,413円( 102,754円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 裏
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
L型プラグコネクタ
なし
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,162円( 102,478円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 裏
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
L型プラグコネクタ
サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,245円( 102,570円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 裏
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
L型プラグコネクタ
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,329円( 102,662円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 裏
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
M型プラグコネクタ
サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

80,611円( 88,672円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 裏
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
M型プラグコネクタ
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,329円( 102,662円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 裏
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
M型プラグコネクタ
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
CE対応品
-

1個

76,898円( 84,588円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 裏
A93
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
0.5

1個

96,435円( 106,079円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 裏
A93
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
0.5

1個

78,274円( 86,101円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 裏
オートスイッチなし（内蔵磁石付）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
なし
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,329円( 102,662円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 裏
オートスイッチなし（内蔵磁石付）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
なし
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
CE対応品
-

1個

72,929円( 80,222円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 裏
オートスイッチなし（内蔵磁石付）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,413円( 102,754円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 裏
オートスイッチなし（内蔵磁石付）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ300mm）
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

80,828円( 88,911円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 裏
オートスイッチなし（内蔵磁石付）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ600mm）
サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
CE対応品
-

1個

77,173円( 84,890円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 裏
オートスイッチなし（内蔵磁石付）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
グロメット（リード線長さ600mm）
ランプ･サージ電圧保護回路付（無極性タイプ）
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,916円( 103,308円 )

19日目

KF
25
DC24V
14L/S
フランジ面 裏
オートスイッチなし（内蔵磁石付）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
L型プラグコネクタ
ランプ･サージ電圧保護回路付
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
非対応
-

1個

93,665円( 103,032円 )

19日目

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詳細情報

基本情報

ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。
【特長】
・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）
・システムのコンパクト化および省配管化を実現
・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止
・初期排気弁の流量調整可能
・エアオペレートタイプ/電磁弁付き
・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる
・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む
・フッ素に強い
・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減
・軽量・コンパクト

(i)ご注意

  • ■SMC エアシリンダ製品の選定・技術情報
    特集ページは　こちら　から、ご確認下さい。

    ■SMC製品取扱いについて
    Webページが無い製品については順次公開を予定しています。
    型番が決まっている方は　こちら　から、お見積/ご注文下さい。
  • スペック、材質の詳細はカタログをご参照ください。
  • 商品画像は代表画像の場合がございます。詳細形状はカタログをご参照ください。
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                            A
                            標準品のXL□シリーズの使用圧力は、1Ｘ10-6～大気圧です（XLF/XLGは1Ｘ10-5～大気圧）。
                            正圧は大気圧までとなります。大気圧を超えた圧縮流体を使用することはできません。
                            注）XLGシリーズの特注品で対応可の製品があります。
                            Q 高真空L型バルブ：XL□シリーズに、オートスイッチを後から取付ける事はできますか？
                            A
                            高真空L型バルブXL□が、ボンネット内のピストン部にオプションの磁石を装着していれば、
                            オートスイッチの後付けは可能です。
                            オートスイッチは、磁石の磁力を感知して信号を出力します。
                            磁石がピストンに装着されていないXL□にオートスイッチを取付けても、スイッチは作動しません。

                            【後付け可能な製品品番】
                            1）製品型式銘版にオートスイッチの品番がある場合：例） XLA-40-2M9NA など
                            2）オートスイッチは無いが磁石が装着されている場合：例） XLA-40-2M9// など
                            注）耐熱型オートスイッチの後付けについては、別のFAQをご確認ください。

                            【後付け不可な製品品番】
                            １）磁石がピストンに装着されていない場合：例） XLA-40-2 及び　XLA-40H5-2 など

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