(!)Internet Explorer 11は、2022年6月15日マイクロソフトのサポート終了にともない、当サイトでは推奨環境の対象外とさせていただきます。

17時までのご注文で最短当日出荷可能 当日出荷対象商品135万点拡大中！

カテゴリ・メーカーから探す

メカニカル部品系

筐体・調整締結・素材

空圧・油圧・配管・温調部品

回転伝達・コンベヤ・モータ・ロボット

直動・センサ・位置決め・ステージ

特注部品・図面加工部品

電気系

金型系

消耗品・補修用品・備品系

切削加工用品

生産加工用品

MRO・工場用副資材

メーカーから探す

特集から探す

絞り込み条件

すべて解除

  • フランジ呼び

    • 16
    • 25
    • 40
    • 50

    解除

  • 音速コンダクタンス

    • 5L/S
    • 14L/S
    • 45L/S
    • 80L/S

    解除

  • シール材質

    • Chemraz（配合No.：SSE38）
    • Barrel Perfluoro（配合No.：70W）
    • Chemraz（配合No.：SS592）
    • VMQ（配合No.：1232-70）
    • FKM（配合No.：1349-80）
    • EPDM（配合No.：2101-80）
    • Kalrez（配合No.：4079）
    • ULTIC ARMOR（配合No.：UA4640）

    解除

  • リーク量(Pa・m3/s)

    • 内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
    • 内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-9乗
    • 内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-11乗
    • 内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗

    解除

  • ボディ表面処理

    • 外部：硬質アルマイト、内部：素地
    • 外部：硬質アルマイト、内部：蓚酸アルマイト

    解除

  • シ−ル変更箇所

    • なし
    • バルブシール
    • バルブシール／外部シール
    • 外部シール

    解除

  • ヒータの有無

    • 100℃用ヒータ付
    • 120℃用ヒータ付
    • なし

    解除

  • タイプ

    • XLH-16
    • XLH-25
    • XLH-40
    • XLH-50

    解除

  • CAD

    • 2D
    • 3D

    解除

  • 出荷日

    • すべて
    • 当日出荷可能
    • 6日以内
    • 19日以内
    解除
仕様・寸法を表示する

追加工・オプション

SMC

SMC

アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール XLHシリーズ

アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール XLHシリーズ

画像をクリックして拡大イメージを表示する

画像にマウスを合わせてイメージを拡大する

  • 一部当日出荷可能
評価 5.0平均満足度5.0 この商品のレビューをみる（1件） この商品のFAQをみる(2件)
通常価格(税別)
34,586円 ～ 105,287円
税込価格
38,045円 ～ 115,816円

圧力バランス構造で、排気方向が自由な高真空L型バルブ。【特長】・ベローズ式でダ...

詳細情報を確認する

(i)ご注意

  • 掲載商品の内、一部商品はセール価格で販売しています。対象商品は型番リストよりご確認ください。
  • ■SMC エアシリンダ製品の選定・技術情報
    特集ページは　こちら　から、ご確認下さい。

    ■SMC製品取扱いについて
    Webページが無い製品については順次公開を予定しています。
    型番が決まっている方は　こちら　から、お見積/ご注文下さい。
  • 材料や部材入手難などの影響により納期が不安定になっています。受注停止中の商品は、次回入荷の目途が立っていません。
  • スペック、材質の詳細はカタログをご参照ください。
    CADデータは、一部の型番には対応しておりません。
  • 商品画像は代表画像の場合がございます。詳細形状はカタログをご参照ください。

取り扱い説明書はこちら

型番

未確定43件の候補があります。

Loading...

商品情報

外形図

XLHシリーズの寸法図

注）上図（イ）、（ロ）、（ハ）はヒータの取り付け位置を示します。またヒータの取り付け位置は、ヒータの種類により異なります。詳細はカタログ交換用ヒータ／部品品番の取り付け位置をご参照ください。

製品仕様

XLHシリーズの外観
型番XLH-16XLH-25XLH-40XLH-50
使用流体不活性ガス系の真空
使用温度 ℃5～150
使用圧力 Pa（abs）1×10-6～大気圧
コンダクタンス L/s注1）5144580
リーク量 Pa・m3/s内部標準材質（FKM）の場合 1.3×10-10常温時・ガス透過を除く
外部標準材質（FKM）の場合 1.3×10-11常温時・ガス透過を除く
フランジの種類KF（NW）
主な材質本体：アルミ合金 ベローズ：SUS316L 要部：ステンレス、FKM（標準シール材）
表面処理外部：硬質アルマイト 内部：素地
操作トルク N・m0.1≦0.15≦0.35≦0.5≦
ハンドル回転数571013
質量 kg0.230.411.051.62

注1）コンダクタンスは同一寸法のエルボの値で代表しています。
注2）バルブ加熱用ヒータの仕様はカタログ共通オプション仕様（1）加熱用ヒータをご参照ください。

構造

XLHシリーズの構造図

※保守部品につきましてはカタログをご参照ください。

作動説明

  • ハンドルを左に回転させることにより、バルブは開く。ハンドルは上下せず、インジケータでバルブの開閉位置を表示する。
  • ハンドルを右に回転させるとバルブは閉じる方向に進み、ハンドルの回転力が急に感じなくなった所で、バルブがシールする。バルブのシール力はスプリングで行い一定。

オプション説明

  • ヒータ
    サーミスターを用い簡易的に加熱。バルブのサイズにより異なりますが、100℃・120℃にボディを加熱する。サイズと設定温度によりサーミスターの種類と使用数が異なる。
  • インジケータ
    バルブ開で銘板中心の面付近に、オレンジ色のマークを目視できる。

規格表

単位：mm

型番ABCDE注1）FGH
XLH-1640100.5381-301735
XLH-255011448112402641
XLH-4065162.566211554157
XLH-5070179.579211755270

注1）E寸法はヒータ付きの場合です。（リード線長さ≒1m）

注意・禁止事項

  • ※ ボディ材質はA6063、ベローズはSUS316L、その他真空部の金属材質はSUS304です。真空部のシール材質は標準でFKMとなっておりますが、その他材質（型番表示方法確認ください）の選択が可能です。使用材質を確認のうえ、支障のない流体をご使用ください。
  • ※ ヒータ（サーミスター）付きをご使用の場合は、温度過昇防止機構を設置してください。
  • ※ 使用圧力範囲内でご使用ください。
  • ※ デポジットの多いガスの場合は、ボディを加熱するかヒータ付きを使用しバルブへのデポジットを防止してください。
  • ※ 上記以外の製品情報につきましては、カタログを参照ください。

型番リスト

表示件数:
  1. 1
型番
フランジ呼び
音速コンダクタンス
シール材質
リーク量(Pa・m3/s)
ボディ表面処理
シ−ル変更箇所
ヒータの有無
最小発注数量
通常単価(税別)(税込単価)
  • 価格の安い順
  • 価格の高い順
  • 解除
通常
出荷日
  • 早い順
  • 遅い順
  • 解除
16
5L/S
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
なし

1個

35,250円( 38,775円 )

在庫品1日目

当日出荷可能

16
5L/S
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：蓚酸アルマイト
なし
なし

1個

45,406円( 49,947円 )

6日目

16
5L/S
EPDM（配合No.：2101-80）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：蓚酸アルマイト
バルブシール／外部シール
なし

1個

45,573円( 50,130円 )

19日目

16
5L/S
Barrel Perfluoro（配合No.：70W）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：蓚酸アルマイト
バルブシール／外部シール
なし

1個

62,276円( 68,504円 )

19日目

16
5L/S
Chemraz（配合No.：SS592）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：蓚酸アルマイト
バルブシール／外部シール
なし

1個

61,745円( 67,920円 )

19日目

16
5L/S
Chemraz（配合No.：SS592）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：蓚酸アルマイト
バルブシール
なし

1個

52,387円( 57,626円 )

19日目

16
5L/S
EPDM（配合No.：2101-80）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール／外部シール
なし

1個

40,455円( 44,501円 )

19日目

16
5L/S
Barrel Perfluoro（配合No.：70W）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール／外部シール
なし

1個

57,156円( 62,872円 )

19日目

16
5L/S
Barrel Perfluoro（配合No.：70W）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール
なし

1個

52,456円( 57,702円 )

19日目

16
5L/S
Barrel Perfluoro（配合No.：70W）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
外部シール
なし

1個

44,986円( 49,485円 )

19日目

16
5L/S
Kalrez（配合No.：4079）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール／外部シール
なし

1個

53,043円( 58,347円 )

19日目

25
14L/S
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
なし

1個

34,586円( 38,045円 )

在庫品1日目

当日出荷可能

25
14L/S
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：蓚酸アルマイト
なし
なし

1個

47,588円( 52,347円 )

19日目

25
14L/S
EPDM（配合No.：2101-80）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：蓚酸アルマイト
バルブシール／外部シール
なし

1個

47,756円( 52,532円 )

19日目

25
14L/S
Barrel Perfluoro（配合No.：70W）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：蓚酸アルマイト
バルブシール／外部シール
なし

1個

66,640円( 73,304円 )

19日目

25
14L/S
Kalrez（配合No.：4079）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：蓚酸アルマイト
バルブシール／外部シール
なし

1個

67,479円( 74,227円 )

19日目

25
14L/S
Kalrez（配合No.：4079）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：蓚酸アルマイト
バルブシール
なし

1個

58,415円( 64,257円 )

19日目

25
14L/S
Kalrez（配合No.：4079）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：蓚酸アルマイト
外部シール
なし

1個

56,652円( 62,317円 )

19日目

25
14L/S
ULTIC ARMOR（配合No.：UA4640）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：蓚酸アルマイト
バルブシール／外部シール
なし

1個

65,716円( 72,288円 )

19日目

25
14L/S
EPDM（配合No.：2101-80）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール／外部シール
なし

1個

42,133円( 46,346円 )

19日目

25
14L/S
Barrel Perfluoro（配合No.：70W）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール／外部シール
なし

1個

61,016円( 67,118円 )

19日目

25
14L/S
Barrel Perfluoro（配合No.：70W）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール
なし

1個

54,722円( 60,194円 )

19日目

25
14L/S
Barrel Perfluoro（配合No.：70W）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
外部シール
なし

1個

48,259円( 53,085円 )

19日目

25
14L/S
Kalrez（配合No.：4079）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール／外部シール
なし

1個

61,856円( 68,042円 )

19日目

25
14L/S
Chemraz（配合No.：SS592）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール／外部シール
なし

1個

76,963円( 84,659円 )

19日目

25
14L/S
VMQ（配合No.：1232-70）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール／外部シール
なし

1個

42,133円( 46,346円 )

19日目

25
14L/S
ULTIC ARMOR（配合No.：UA4640）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール／外部シール
なし

1個

51,168円( 56,285円 )

19日目

25
14L/S
ULTIC ARMOR（配合No.：UA4640）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール／外部シール
120℃用ヒータ付

1個

68,906円( 75,797円 )

19日目

40
45L/S
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
なし

1個

56,973円( 62,670円 )

在庫品1日目

当日出荷可能

40
45L/S
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：蓚酸アルマイト
なし
なし

1個

68,066円( 74,873円 )

19日目

40
45L/S
EPDM（配合No.：2101-80）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：蓚酸アルマイト
バルブシール／外部シール
なし

1個

68,235円( 75,059円 )

19日目

40
45L/S
EPDM（配合No.：2101-80）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール／外部シール
なし

1個

62,276円( 68,504円 )

19日目

40
45L/S
EPDM（配合No.：2101-80）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール
なし

1個

52,685円( 57,954円 )

19日目

40
45L/S
EPDM（配合No.：2101-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
外部シール
なし

1個

52,685円( 57,954円 )

19日目

40
45L/S
Barrel Perfluoro（配合No.：70W）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール／外部シール
なし

1個

88,629円( 97,492円 )

19日目

40
45L/S
Kalrez（配合No.：4079）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール／外部シール
なし

1個

85,608円( 94,169円 )

19日目

40
45L/S
Kalrez（配合No.：4079）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール
なし

1個

74,698円( 82,168円 )

19日目

40
45L/S
Kalrez（配合No.：4079）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
外部シール
なし

1個

61,857円( 68,043円 )

19日目

40
45L/S
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
120℃用ヒータ付

1個

71,172円( 78,289円 )

19日目

50
80L/S
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
なし
なし

1個

79,190円( 87,109円 )

在庫品1日目

当日出荷可能

50
80L/S
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
外部：硬質アルマイト、内部：蓚酸アルマイト
なし
なし

1個

82,166円( 90,383円 )

19日目

50
80L/S
EPDM（配合No.：2101-80）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール／外部シール
なし

1個

75,705円( 83,276円 )

19日目

50
80L/S
ULTIC ARMOR（配合No.：UA4640）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
外部：硬質アルマイト、内部：素地
バルブシール／外部シール
なし

1個

105,287円( 115,816円 )

19日目

  1. 1

Loading...

詳細情報

基本情報

圧力バランス構造で、排気方向が自由な高真空L型バルブ。
【特長】
・ベローズ式でダストフリー、クリーン化
・低い操作トルク（0.5N・m以下）
・スプリングによる一定のシール荷重
・バルブ開閉時のハンドル高さが一定
・開閉確認用インジケータを標準で装備
・フッ素に強い
・軽量・コンパクト
・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減
・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる
・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む

(i)ご注意

  • 掲載商品の内、一部商品はセール価格で販売しています。対象商品は型番リストよりご確認ください。
  • ■SMC エアシリンダ製品の選定・技術情報
    特集ページは　こちら　から、ご確認下さい。

    ■SMC製品取扱いについて
    Webページが無い製品については順次公開を予定しています。
    型番が決まっている方は　こちら　から、お見積/ご注文下さい。
  • 材料や部材入手難などの影響により納期が不安定になっています。受注停止中の商品は、次回入荷の目途が立っていません。
  • スペック、材質の詳細はカタログをご参照ください。
    CADデータは、一部の型番には対応しておりません。
  • 商品画像は代表画像の場合がございます。詳細形状はカタログをご参照ください。

カタログ

 

商品担当おすすめ

  • 一部型番の仕様・寸法を掲載しきれていない場合がございますので、詳細は メーカーカタログをご覧ください。

この商品を見た人は、こんな商品も見ています

今見ている商品

アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール XLHシリーズ

アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール XLHシリーズ

    アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ

    アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ

      アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/ベローズシール XLCシリーズ

      アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/ベローズシール XLCシリーズ

        ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 手動/ベローズシール XMH・XYHシリーズ

        ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 手動/ベローズシール XMH・XYHシリーズ

          アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAVシリーズ 電磁弁付

          アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAVシリーズ 電磁弁付

            アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ

            アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ

              アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ

              アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ

                アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/Oリングシール XLGシリーズ

                アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/Oリングシール XLGシリーズ

                  ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ

                  ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ

                    ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズ

                    ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズ

                      アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFシリーズ

                      アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFシリーズ

                        アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

                        アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

                          アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFVシリーズ エアオペレートタイプ 電磁弁付

                          アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFVシリーズ エアオペレートタイプ 電磁弁付
                            メーカー SMC SMC SMC SMC SMC SMC SMC SMC SMC SMC SMC SMC SMC
                            通常価格 34,586円～ 31,449円～ 34,424円～ 42,767円～ 40,185円～ 66,431円～ 72,929円～ 33,659円～ 40,255円～ 43,164円～ 31,959円～ 32,899円～ 39,209円～
                            通常出荷日 在庫品1日目～   当日出荷可能 在庫品1日目～   当日出荷可能 在庫品1日目～   当日出荷可能 在庫品1日目～   当日出荷可能 19日目   6日目～   19日目   6日目～   在庫品1日目～   当日出荷可能 3日目～   3日目～   在庫品1日目～   当日出荷可能 19日目  
                            種類 手動真空弁 空操真空弁 パイロット真空弁 手動真空弁 高真空用電磁弁 空操真空弁 高真空用電磁弁 パイロット真空弁 空操真空弁 パイロット真空弁 パイロット真空弁 電磁真空弁 高真空用電磁弁
                            用途 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用
                            設置方法 ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト
                            ポート数 2ポート弁 3ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 3ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁
                            切換の種類 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ

                            アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール XLHシリーズのレビュー

                            評価 5.0 平均満足度：5.0 1件のレビュー
                            1. 星５
                              100%
                            2. 星４
                              0%
                            3. 星３
                              0%
                            4. 星２
                              0%
                            5. 星１
                              0%
                            外販機器付帯部品として使用
                            評価 5.0満足度：5.02020/03/24
                            装置付帯真空チャンバーへの流体コントロールバルブとして使用しました。基本的には、用途やスペックを満たす適正品を都度選定しますが、型番：XLH-16に関しては、リピートオーダー品での利用であること、また前回の利用実績に満足度が高かったこと等から同商品で対応しました。真空中でもガス放出率が低いアルミの特性が有効に作用し、気体成分をほぼ完全に遮断且つ、厳密にコントロールできる佳品として重宝しています。

                            もっと読む 閉じる

                            0人が参考にしています。

                            このレビューは参考になりましたか？  参考になった Loading... ご意見ありがとうございました。 処理中にエラーが発生しました。再度ボタンをクリックしてください。

                            1件全て見る

                            よくあるご質問（FAQ）

                            Q 高真空L型バルブ：XL□シリーズは正圧で使用する事はできますか？
                            A
                            標準品のXL□シリーズの使用圧力は、1Ｘ10-6～大気圧です（XLF/XLGは1Ｘ10-5～大気圧）。
                            正圧は大気圧までとなります。大気圧を超えた圧縮流体を使用することはできません。
                            注）XLGシリーズの特注品で対応可の製品があります。
                            Q 高真空L型バルブ：XL□シリーズに、オートスイッチを後から取付ける事はできますか？
                            A
                            高真空L型バルブXL□が、ボンネット内のピストン部にオプションの磁石を装着していれば、
                            オートスイッチの後付けは可能です。
                            オートスイッチは、磁石の磁力を感知して信号を出力します。
                            磁石がピストンに装着されていないXL□にオートスイッチを取付けても、スイッチは作動しません。

                            【後付け可能な製品品番】
                            1）製品型式銘版にオートスイッチの品番がある場合：例） XLA-40-2M9NA など
                            2）オートスイッチは無いが磁石が装着されている場合：例） XLA-40-2M9// など
                            注）耐熱型オートスイッチの後付けについては、別のFAQをご確認ください。

                            【後付け不可な製品品番】
                            １）磁石がピストンに装着されていない場合：例） XLA-40-2 及び　XLA-40H5-2 など

                            真空バルブカテゴリの売れ筋ランキング

                            通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます

                            技術サポート窓口

                            メカニカル部品技術窓口

                            商品の仕様・技術のお問い合わせ

                            Webお問い合わせフォーム

                            営業時間:9:00～18:00（土曜日・日曜日・祝日は除く）

                            ※お問い合わせフォームは24時間受付しております。

                            ※お問い合わせにはお客様コードが必要です。

                            閉じる

                            型番が確定しました

                            ご利用にあたって

                            ミスミについて

                            お問い合わせ

                            商品の仕様・技術

                            Webお問い合わせフォーム

                            24時間受付

                            ご注文・お取り引き

                            Webお問い合わせフォーム

                            24時間受付・要ログイン

                            0120-343-066

                            9:00～18:00（日曜日・年末年始は除く）

                            お客様との通話は、サービス品質向上のため一部録音させていただいております。

                            各種調査（環境・品質等）

                            Webお問い合わせフォーム

                            24時間受付・要ログイン

                            その他のお問い合わせ

                            お問い合わせ窓口はこちら

                            モバイルサイトに切替

                            Copyright © MISUMI Corporation All Rights Reserved.