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ピンセット
圧力バランス構造で、排気方向が自由な高真空L型バルブ。【特長】・ベローズ式でダ...
型番
未確定43件の候補があります。
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注)上図(イ)、(ロ)、(ハ)はヒータの取り付け位置を示します。またヒータの取り付け位置は、ヒータの種類により異なります。詳細はカタログ交換用ヒータ/部品品番の取り付け位置をご参照ください。
型番 | XLH-16 | XLH-25 | XLH-40 | XLH-50 | |
---|---|---|---|---|---|
使用流体 | 不活性ガス系の真空 | ||||
使用温度 ℃ | 5~150 | ||||
使用圧力 Pa(abs) | 1×10-6~大気圧 | ||||
コンダクタンス L/s注1) | 5 | 14 | 45 | 80 | |
リーク量 Pa・m3/s | 内部 | 標準材質(FKM)の場合 1.3×10-10常温時・ガス透過を除く | |||
外部 | 標準材質(FKM)の場合 1.3×10-11常温時・ガス透過を除く | ||||
フランジの種類 | KF(NW) | ||||
主な材質 | 本体:アルミ合金 ベローズ:SUS316L 要部:ステンレス、FKM(標準シール材) | ||||
表面処理 | 外部:硬質アルマイト 内部:素地 | ||||
操作トルク N・m | 0.1≦ | 0.15≦ | 0.35≦ | 0.5≦ | |
ハンドル回転数 | 5 | 7 | 10 | 13 | |
質量 kg | 0.23 | 0.41 | 1.05 | 1.62 |
注1)コンダクタンスは同一寸法のエルボの値で代表しています。
注2)バルブ加熱用ヒータの仕様はカタログ共通オプション仕様(1)加熱用ヒータをご参照ください。
※保守部品につきましてはカタログをご参照ください。
単位:mm
型番 | A | B | C | D | E注1) | F | G | H |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
XLH-16 | 40 | 100.5 | 38 | 1 | - | 30 | 17 | 35 |
XLH-25 | 50 | 114 | 48 | 1 | 12 | 40 | 26 | 41 |
XLH-40 | 65 | 162.5 | 66 | 2 | 11 | 55 | 41 | 57 |
XLH-50 | 70 | 179.5 | 79 | 2 | 11 | 75 | 52 | 70 |
注1)E寸法はヒータ付きの場合です。(リード線長さ≒1m)
型番 |
フランジ呼び |
音速コンダクタンス |
シール材質 |
リーク量(Pa・m3/s) |
ボディ表面処理 |
シ−ル変更箇所 |
ヒータの有無 | 最小発注数量 | 通常単価(税別)(税込単価)
|
通常 出荷日
|
---|
16
|
5L/S
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
なし
| 1個 | 35,250円(
38,775円
) | 在庫品1日目 当日出荷可能 | |
16
|
5L/S
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
|
なし
|
なし
| 1個 | 45,406円(
49,947円
) | 6日目 | |
16
|
5L/S
|
EPDM(配合No.:2101-80)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
|
バルブシール/外部シール
|
なし
| 1個 | 45,573円(
50,130円
) | 19日目 | |
16
|
5L/S
|
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
|
バルブシール/外部シール
|
なし
| 1個 | 62,276円(
68,504円
) | 19日目 | |
16
|
5L/S
|
Chemraz(配合No.:SS592)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
|
バルブシール/外部シール
|
なし
| 1個 | 61,745円(
67,920円
) | 19日目 | |
16
|
5L/S
|
Chemraz(配合No.:SS592)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
|
バルブシール
|
なし
| 1個 | 52,387円(
57,626円
) | 19日目 | |
16
|
5L/S
|
EPDM(配合No.:2101-80)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
バルブシール/外部シール
|
なし
| 1個 | 40,455円(
44,501円
) | 19日目 | |
16
|
5L/S
|
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
バルブシール/外部シール
|
なし
| 1個 | 57,156円(
62,872円
) | 19日目 | |
16
|
5L/S
|
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
バルブシール
|
なし
| 1個 | 52,456円(
57,702円
) | 19日目 | |
16
|
5L/S
|
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
外部シール
|
なし
| 1個 | 44,986円(
49,485円
) | 19日目 | |
16
|
5L/S
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
バルブシール/外部シール
|
なし
| 1個 | 53,043円(
58,347円
) | 19日目 | |
25
|
14L/S
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
なし
| 1個 | 34,586円(
38,045円
) | 在庫品1日目 当日出荷可能 | |
25
|
14L/S
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
|
なし
|
なし
| 1個 | 47,588円(
52,347円
) | 19日目 | |
25
|
14L/S
|
EPDM(配合No.:2101-80)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
|
バルブシール/外部シール
|
なし
| 1個 | 47,756円(
52,532円
) | 19日目 | |
25
|
14L/S
|
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
|
バルブシール/外部シール
|
なし
| 1個 | 66,640円(
73,304円
) | 19日目 | |
25
|
14L/S
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
|
バルブシール/外部シール
|
なし
| 1個 | 67,479円(
74,227円
) | 19日目 | |
25
|
14L/S
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
|
バルブシール
|
なし
| 1個 | 58,415円(
64,257円
) | 19日目 | |
25
|
14L/S
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
|
外部シール
|
なし
| 1個 | 56,652円(
62,317円
) | 19日目 | |
25
|
14L/S
|
ULTIC ARMOR(配合No.:UA4640)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
|
バルブシール/外部シール
|
なし
| 1個 | 65,716円(
72,288円
) | 19日目 | |
25
|
14L/S
|
EPDM(配合No.:2101-80)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
バルブシール/外部シール
|
なし
| 1個 | 42,133円(
46,346円
) | 19日目 | |
25
|
14L/S
|
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
バルブシール/外部シール
|
なし
| 1個 | 61,016円(
67,118円
) | 19日目 | |
25
|
14L/S
|
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
バルブシール
|
なし
| 1個 | 54,722円(
60,194円
) | 19日目 | |
25
|
14L/S
|
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
外部シール
|
なし
| 1個 | 48,259円(
53,085円
) | 19日目 | |
25
|
14L/S
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
バルブシール/外部シール
|
なし
| 1個 | 61,856円(
68,042円
) | 19日目 | |
25
|
14L/S
|
Chemraz(配合No.:SS592)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
バルブシール/外部シール
|
なし
| 1個 | 76,963円(
84,659円
) | 19日目 | |
25
|
14L/S
|
VMQ(配合No.:1232-70)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
バルブシール/外部シール
|
なし
| 1個 | 42,133円(
46,346円
) | 19日目 | |
25
|
14L/S
|
ULTIC ARMOR(配合No.:UA4640)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
バルブシール/外部シール
|
なし
| 1個 | 51,168円(
56,285円
) | 19日目 | |
25
|
14L/S
|
ULTIC ARMOR(配合No.:UA4640)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
バルブシール/外部シール
|
120℃用ヒータ付
| 1個 | 68,906円(
75,797円
) | 19日目 | |
40
|
45L/S
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
なし
| 1個 | 56,973円(
62,670円
) | 在庫品1日目 当日出荷可能 | |
40
|
45L/S
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
|
なし
|
なし
| 1個 | 68,066円(
74,873円
) | 19日目 | |
40
|
45L/S
|
EPDM(配合No.:2101-80)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
|
バルブシール/外部シール
|
なし
| 1個 | 68,235円(
75,059円
) | 19日目 | |
40
|
45L/S
|
EPDM(配合No.:2101-80)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
バルブシール/外部シール
|
なし
| 1個 | 62,276円(
68,504円
) | 19日目 | |
40
|
45L/S
|
EPDM(配合No.:2101-80)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
バルブシール
|
なし
| 1個 | 52,685円(
57,954円
) | 19日目 | |
40
|
45L/S
|
EPDM(配合No.:2101-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
外部シール
|
なし
| 1個 | 52,685円(
57,954円
) | 19日目 | |
40
|
45L/S
|
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
バルブシール/外部シール
|
なし
| 1個 | 88,629円(
97,492円
) | 19日目 | |
40
|
45L/S
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
バルブシール/外部シール
|
なし
| 1個 | 85,608円(
94,169円
) | 19日目 | |
40
|
45L/S
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
バルブシール
|
なし
| 1個 | 74,698円(
82,168円
) | 19日目 | |
40
|
45L/S
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
外部シール
|
なし
| 1個 | 61,857円(
68,043円
) | 19日目 | |
40
|
45L/S
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
120℃用ヒータ付
| 1個 | 71,172円(
78,289円
) | 19日目 | |
50
|
80L/S
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
なし
|
なし
| 1個 | 79,190円(
87,109円
) | 在庫品1日目 当日出荷可能 | |
50
|
80L/S
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
|
なし
|
なし
| 1個 | 82,166円(
90,383円
) | 19日目 | |
50
|
80L/S
|
EPDM(配合No.:2101-80)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
バルブシール/外部シール
|
なし
| 1個 | 75,705円(
83,276円
) | 19日目 | |
50
|
80L/S
|
ULTIC ARMOR(配合No.:UA4640)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部:硬質アルマイト、内部:素地
|
バルブシール/外部シール
|
なし
| 1個 | 105,287円(
115,816円
) | 19日目 |
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圧力バランス構造で、排気方向が自由な高真空L型バルブ。
【特長】
・ベローズ式でダストフリー、クリーン化
・低い操作トルク(0.5N・m以下)
・スプリングによる一定のシール荷重
・バルブ開閉時のハンドル高さが一定
・開閉確認用インジケータを標準で装備
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・軽量・コンパクト
・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減
・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる
・Ni(ニッケル)、Cr(クロム)等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む
SMC
ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 手動/ベローズシール XMH・XYHシリーズ
ステンレス製真空バルブとなります。排気方向を自由に設定できます。バルブ開閉時のハンドルの高さが一定で操作しやすく、開閉確認用インジゲータが標準装備となっております。
SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ
真空バルブとなります。アルミボディ採用でフッ素ガスの腐食に強い製品です。ベローズ交換が可能になり、メンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れます。
SMC
【在庫品多数】薄形シリンダ 標準形 複動・片ロッド CQ2シリーズ
薄形シリンダ/標準形:複動・片ロッド CQ2シリーズとなります。全長が薄形に設計された省スペースシリンダです。各種冶具や装置のコンパクト化を実現しているため最小限のスペースでワーク可能です。
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