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アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール XLHシリーズ

アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール XLHシリーズ

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通常価格(税別)
34,586円 ~ 105,287円
税込価格
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圧力バランス構造で、排気方向が自由な高真空L型バルブ。【特長】・ベローズ式でダ...

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型番

未確定43件の候補があります。

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商品情報

外形図

XLHシリーズの寸法図

注)上図(イ)、(ロ)、(ハ)はヒータの取り付け位置を示します。またヒータの取り付け位置は、ヒータの種類により異なります。詳細はカタログ交換用ヒータ/部品品番の取り付け位置をご参照ください。

製品仕様

XLHシリーズの外観
型番XLH-16XLH-25XLH-40XLH-50
使用流体不活性ガス系の真空
使用温度 ℃5~150
使用圧力 Pa(abs)1×10-6~大気圧
コンダクタンス L/s注1)5144580
リーク量 Pa・m3/s内部標準材質(FKM)の場合 1.3×10-10常温時・ガス透過を除く
外部標準材質(FKM)の場合 1.3×10-11常温時・ガス透過を除く
フランジの種類KF(NW)
主な材質本体:アルミ合金 ベローズ:SUS316L 要部:ステンレス、FKM(標準シール材)
表面処理外部:硬質アルマイト 内部:素地
操作トルク N・m0.1≦0.15≦0.35≦0.5≦
ハンドル回転数571013
質量 kg0.230.411.051.62

注1)コンダクタンスは同一寸法のエルボの値で代表しています。
注2)バルブ加熱用ヒータの仕様はカタログ共通オプション仕様(1)加熱用ヒータをご参照ください。

構造

XLHシリーズの構造図

※保守部品につきましてはカタログをご参照ください。

作動説明

  • ハンドルを左に回転させることにより、バルブは開く。ハンドルは上下せず、インジケータでバルブの開閉位置を表示する。
  • ハンドルを右に回転させるとバルブは閉じる方向に進み、ハンドルの回転力が急に感じなくなった所で、バルブがシールする。バルブのシール力はスプリングで行い一定。

オプション説明

  • ヒータ
    サーミスターを用い簡易的に加熱。バルブのサイズにより異なりますが、100℃・120℃にボディを加熱する。サイズと設定温度によりサーミスターの種類と使用数が異なる。
  • インジケータ
    バルブ開で銘板中心の面付近に、オレンジ色のマークを目視できる。

規格表

単位:mm

型番ABCDE注1)FGH
XLH-1640100.5381-301735
XLH-255011448112402641
XLH-4065162.566211554157
XLH-5070179.579211755270

注1)E寸法はヒータ付きの場合です。(リード線長さ≒1m)

注意・禁止事項

  • ※ ボディ材質はA6063、ベローズはSUS316L、その他真空部の金属材質はSUS304です。真空部のシール材質は標準でFKMとなっておりますが、その他材質(型番表示方法確認ください)の選択が可能です。使用材質を確認のうえ、支障のない流体をご使用ください。
  • ※ ヒータ(サーミスター)付きをご使用の場合は、温度過昇防止機構を設置してください。
  • ※ 使用圧力範囲内でご使用ください。
  • ※ デポジットの多いガスの場合は、ボディを加熱するかヒータ付きを使用しバルブへのデポジットを防止してください。
  • ※ 上記以外の製品情報につきましては、カタログを参照ください。

型番リスト

型番
フランジ呼び
音速コンダクタンス
シール材質
リーク量(Pa・m3/s)
ボディ表面処理
シ−ル変更箇所
ヒータの有無
最小発注数量
通常単価(税別)(税込単価)
  • 価格の安い順
  • 価格の高い順
  • 解除
通常
出荷日
  • 早い順
  • 遅い順
  • 解除
16
5L/S
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
なし

1個

35,250( 38,775円 )

在庫品1日目

当日出荷可能

16
5L/S
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
なし
なし

1個

45,406( 49,947円 )

6日目

16
5L/S
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
バルブシール/外部シール
なし

1個

45,573( 50,130円 )

19日目

16
5L/S
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
バルブシール/外部シール
なし

1個

62,276( 68,504円 )

19日目

16
5L/S
Chemraz(配合No.:SS592)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
バルブシール/外部シール
なし

1個

61,745( 67,920円 )

19日目

16
5L/S
Chemraz(配合No.:SS592)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
バルブシール
なし

1個

52,387( 57,626円 )

19日目

16
5L/S
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール/外部シール
なし

1個

40,455( 44,501円 )

19日目

16
5L/S
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール/外部シール
なし

1個

57,156( 62,872円 )

19日目

16
5L/S
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール
なし

1個

52,456( 57,702円 )

19日目

16
5L/S
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
外部シール
なし

1個

44,986( 49,485円 )

19日目

16
5L/S
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール/外部シール
なし

1個

53,043( 58,347円 )

19日目

25
14L/S
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
なし

1個

34,586( 38,045円 )

在庫品1日目

当日出荷可能

25
14L/S
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
なし
なし

1個

47,588( 52,347円 )

19日目

25
14L/S
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
バルブシール/外部シール
なし

1個

47,756( 52,532円 )

19日目

25
14L/S
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
バルブシール/外部シール
なし

1個

66,640( 73,304円 )

19日目

25
14L/S
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
バルブシール/外部シール
なし

1個

67,479( 74,227円 )

19日目

25
14L/S
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
バルブシール
なし

1個

58,415( 64,257円 )

19日目

25
14L/S
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
外部シール
なし

1個

56,652( 62,317円 )

19日目

25
14L/S
ULTIC ARMOR(配合No.:UA4640)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
バルブシール/外部シール
なし

1個

65,716( 72,288円 )

19日目

25
14L/S
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール/外部シール
なし

1個

42,133( 46,346円 )

19日目

25
14L/S
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール/外部シール
なし

1個

61,016( 67,118円 )

19日目

25
14L/S
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール
なし

1個

54,722( 60,194円 )

19日目

25
14L/S
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
外部シール
なし

1個

48,259( 53,085円 )

19日目

25
14L/S
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール/外部シール
なし

1個

61,856( 68,042円 )

19日目

25
14L/S
Chemraz(配合No.:SS592)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール/外部シール
なし

1個

76,963( 84,659円 )

19日目

25
14L/S
VMQ(配合No.:1232-70)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール/外部シール
なし

1個

42,133( 46,346円 )

19日目

25
14L/S
ULTIC ARMOR(配合No.:UA4640)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール/外部シール
なし

1個

51,168( 56,285円 )

19日目

25
14L/S
ULTIC ARMOR(配合No.:UA4640)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール/外部シール
120℃用ヒータ付

1個

68,906( 75,797円 )

19日目

40
45L/S
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
なし

1個

56,973( 62,670円 )

在庫品1日目

当日出荷可能

40
45L/S
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
なし
なし

1個

68,066( 74,873円 )

19日目

40
45L/S
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
バルブシール/外部シール
なし

1個

68,235( 75,059円 )

19日目

40
45L/S
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール/外部シール
なし

1個

62,276( 68,504円 )

19日目

40
45L/S
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール
なし

1個

52,685( 57,954円 )

19日目

40
45L/S
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
外部シール
なし

1個

52,685( 57,954円 )

19日目

40
45L/S
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール/外部シール
なし

1個

88,629( 97,492円 )

19日目

40
45L/S
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール/外部シール
なし

1個

85,608( 94,169円 )

19日目

40
45L/S
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール
なし

1個

74,698( 82,168円 )

19日目

40
45L/S
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
外部シール
なし

1個

61,857( 68,043円 )

19日目

40
45L/S
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
120℃用ヒータ付

1個

71,172( 78,289円 )

19日目

50
80L/S
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
なし
なし

1個

79,190( 87,109円 )

在庫品1日目

当日出荷可能

50
80L/S
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
なし
なし

1個

82,166( 90,383円 )

19日目

50
80L/S
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール/外部シール
なし

1個

75,705( 83,276円 )

19日目

50
80L/S
ULTIC ARMOR(配合No.:UA4640)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
外部:硬質アルマイト、内部:素地
バルブシール/外部シール
なし

1個

105,287( 115,816円 )

19日目

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詳細情報

基本情報

圧力バランス構造で、排気方向が自由な高真空L型バルブ。
【特長】
・ベローズ式でダストフリー、クリーン化
・低い操作トルク(0.5N・m以下)
・スプリングによる一定のシール荷重
・バルブ開閉時のハンドル高さが一定
・開閉確認用インジケータを標準で装備
・フッ素に強い
・軽量・コンパクト
・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減
・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる
・Ni(ニッケル)、Cr(クロム)等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む

(i)ご注意

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カタログ

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                            通常出荷日 在庫品1日目~   当日出荷可能 在庫品1日目~   当日出荷可能 在庫品1日目~   当日出荷可能 在庫品1日目~   当日出荷可能 19日目   6日目~   19日目   6日目~   在庫品1日目~   当日出荷可能 3日目~   3日目~   在庫品1日目~   当日出荷可能 19日目  
                            種類 手動真空弁 空操真空弁 パイロット真空弁 手動真空弁 高真空用電磁弁 空操真空弁 高真空用電磁弁 パイロット真空弁 空操真空弁 パイロット真空弁 パイロット真空弁 電磁真空弁 高真空用電磁弁
                            用途 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用
                            設置方法 ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト
                            ポート数 2ポート弁 3ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 3ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁
                            切換の種類 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ

                            アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール XLHシリーズのレビュー

                            評価 5.0 平均満足度:5.0 1件のレビュー
                            1. 星4
                              0%
                            2. 星3
                              0%
                            3. 星2
                              0%
                            4. 星1
                              0%
                            外販機器付帯部品として使用
                            評価 5.0満足度:5.02020/03/24
                            装置付帯真空チャンバーへの流体コントロールバルブとして使用しました。基本的には、用途やスペックを満たす適正品を都度選定しますが、型番:XLH-16に関しては、リピートオーダー品での利用であること、また前回の利用実績に満足度が高かったこと等から同商品で対応しました。真空中でもガス放出率が低いアルミの特性が有効に作用し、気体成分をほぼ完全に遮断且つ、厳密にコントロールできる佳品として重宝しています。

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                            よくあるご質問(FAQ)

                            Q 高真空L型バルブ:XL□シリーズは正圧で使用する事はできますか?
                            A
                            標準品のXL□シリーズの使用圧力は、1X10-6~大気圧です(XLF/XLGは1X10-5~大気圧)。
                            正圧は大気圧までとなります。大気圧を超えた圧縮流体を使用することはできません。
                            注)XLGシリーズの特注品で対応可の製品があります。
                            Q 高真空L型バルブ:XL□シリーズに、オートスイッチを後から取付ける事はできますか?
                            A
                            高真空L型バルブXL□が、ボンネット内のピストン部にオプションの磁石を装着していれば、
                            オートスイッチの後付けは可能です。
                            オートスイッチは、磁石の磁力を感知して信号を出力します。
                            磁石がピストンに装着されていないXL□にオートスイッチを取付けても、スイッチは作動しません。

                            【後付け可能な製品品番】
                            1)製品型式銘版にオートスイッチの品番がある場合:例) XLA-40-2M9NA など
                            2)オートスイッチは無いが磁石が装着されている場合:例) XLA-40-2M9// など
                            注)耐熱型オートスイッチの後付けについては、別のFAQをご確認ください。

                            【後付け不可な製品品番】
                            1)磁石がピストンに装着されていない場合:例) XLA-40-2 及び XLA-40H5-2 など

                            真空バルブカテゴリの売れ筋ランキング

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                            メカニカル部品技術窓口

                            商品の仕様・技術のお問い合わせ

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