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アルミニウム製高真空L型バルブ手動/ベローズシール XLHシリーズ (レビュー)

SMC

通常価格(税別): 34,586円～ 105,287円

税込価格: 38,045円～ 115,816円

通常出荷日: 在庫品1日目～一部当日出荷可能17:00まで受付

圧力バランス構造で、排気方向が自由な高真空L型バルブ。
【特長】
・ベローズ式でダストフリー、クリーン化
・低い操作トルク（0.5N・m以下）
・スプリングによる一定のシール荷重
・バルブ開閉時のハンドル高さが一定
・開閉確認用インジケータを標準で装備
・フッ素に強い
・軽量・コンパクト
・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減
・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる
・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む

(i)ご注意

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スペック、材質の詳細はカタログをご参照ください。
CADデータは、一部の型番には対応しておりません。
商品画像は代表画像の場合がございます。詳細形状はカタログをご参照ください。

アルミニウム製高真空L型バルブ手動/ベローズシール XLHシリーズのレビュー

評価 5 平均満足度：5.0 1件のレビュー

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外販機器付帯部品として使用

評価 5.0満足度：5.02020/03/24

装置付帯真空チャンバーへの流体コントロールバルブとして使用しました。基本的には、用途やスペックを満たす適正品を都度選定しますが、型番：XLH-16に関しては、リピートオーダー品での利用であること、また前回の利用実績に満足度が高かったこと等から同商品で対応しました。真空中でもガス放出率が低いアルミの特性が有効に作用し、気体成分をほぼ完全に遮断且つ、厳密にコントロールできる佳品として重宝しています。

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メーカー	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC
通常価格	34,586円～	31,449円～	34,424円～	42,767円～	40,185円～	66,431円～	72,929円～	33,659円～	40,255円～	43,164円～	31,959円～	32,899円～	39,209円～
通常出荷日	在庫品1日目～当日出荷可能	在庫品1日目～当日出荷可能	在庫品1日目～当日出荷可能	在庫品1日目～当日出荷可能	19日目	6日目～	19日目	6日目～	在庫品1日目～当日出荷可能	3日目～	3日目～	在庫品1日目～当日出荷可能	19日目
種類	手動真空弁	空操真空弁	パイロット真空弁	手動真空弁	高真空用電磁弁	空操真空弁	高真空用電磁弁	パイロット真空弁	空操真空弁	パイロット真空弁	パイロット真空弁	電磁真空弁	高真空用電磁弁
用途	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用
設置方法	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト
ポート数	2ポート弁	3ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	3ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁
切換の種類	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ