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SMC

SMC

アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

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通常価格(税別)
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税込価格
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駆動用エアが不要のため可搬装置への使用が可能な高真空L型バルブ。【特長】・金属...

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型番

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商品情報

外形図

単位：mm

制御電源なし

グロメット（G）の寸法図

グロメット（G）

コンジット（C）の寸法図

コンジット（C）

ターミナル（T）の寸法図

ターミナル（T）

DIN形タ ーミナル（D）の寸法図

DIN形タ ーミナル（D）

制御電源付き

グロメット（G）の寸法図

グロメット（G）

製品仕様

XLSシリーズ（制御電源なし）の外観

XLSシリーズ（制御電源なし）

XLSシリーズ（制御電源付き）の外観

XLSシリーズ（制御電源付き）

型番XLS-16XLS-25XLS-16-P□GXLS-25-P□G
弁の形式常時閉（N.C.）
使用流体不活性ガス系の真空
使用温度 ℃5～40
使用圧力 Pa（abs）0.1MPa（G）～1×10-6（abs）
コンダクタンス L/s注1）5858
リーク量 Pa・m3/s内部1.3×10-8常温時・ガス透過を除く
外部1.3×10-11常温時・ガス透過を除く
フランジの種類・サイズKF16KF25KF16KF25
主な材質 注2）本体：アルミ合金 要部：ステンレス、PFA、FKM（標準シール材）
表面処理外部：硬質アルマイト 内部：素地
制御電源の有無なしあり
使用電源電圧DC24/6・48/12・100/24VDC24V AC100・200V
許容電圧変動 %±10
リード線取出しG, C, D, T タイプGタイプのみ
リード線AWG20, 外径2.63mmVCTF2×0.75, 外径2.3mm, シース外径6.6mm
コイル絶縁の種類B種
最高作動頻度 Hz0.17
質量 kg0.40.70.71.0

注1）コンダクタンスは同一寸法のエルボの値で代表しています。
注2）真空部のバルブシート部には真空グリース［Y-VAC3］を塗布しております。

電力／電圧（定格電圧印加時）

型番起動保持
電力（W）電流（A）電力（W）電流（A）
XLS-16-□G／C／D／T, P5G361.54.80.38
P1G50Hz30.50.4714.80.35
60Hz100.27
P2G50Hz300.244.90.11
60Hz2.30.10
XLS-25-□G／C／D／T, P5G472.05.30.5
P1G50Hz420.62200.46
60Hz13.50.36
P2G50Hz450.356.70.15
60Hz3.00.12

構造･作動

XLSシリーズの構造図

※保守部品につきましてはカタログP.465を参照してください。

■作動説明
  • XLS-□-□□（制御電源無し）
    コイルAss'yに起動電圧を約0.15～0.2s通電することで、バルブ（9）が開く。その後起動電圧の25%で保持する。コイル焼損原因となるので、起動電圧は0.3s以上加えないこと。コイルAss'yへの通電が解除されるとバルブ（9）は閉じる。
  • XLS-□-P□G（制御電源つき）
    コイルAss'yに定格電圧を印加すると、バルブ（9）が開く。コイルAss'yへの通電が解除されると、バルブ（9）は閉じる。

※圧力バランス構造のため、排気方向は自由です。

規格表

単位：mm
型番ABCDEFGJKLM
XLS-16-□G401041133830351723--25.5
XLS-16-□C9641--
XLS-16-□D6048-
XLS-16-□T1299562-
XLS-25-□G50128.5138.54840402625.5--28
XLS-25-□C121.543--
XLS-25-□D120.56351-
XLS-25-□T121.5154.59766-
XLS-16-P□G409611338303517238766.5-
XLS-25-P□G50121.5138.54840402625.589.569-

注意・禁止事項

  • ※ ボディ材質はA6063、ベローズはSUS316L、その他真空部金属材質は13Crステンレス、SUS304、A2017、シール材はFKMです。また真空部のアーマチャAss'yにはふっ素系樹脂（PFA）を使用しております。真空部のバルブにはふっ素系グリースを塗布しております。使用材質を確認のうえ、支障のない流体をご使用ください。
  • ※ 操作電源なしの場合は、起動電圧は0.15～0.2sのみ印加し、その後は必ず保持電圧（起動電圧の25%）を印加してください。怠りますとコイル焼損、火災などの原因になります。
  • ※ 電源供給回路には必ずヒューズまたは漏電ブレーカーを設置してください。
  • ※ 使用圧力範囲内でご使用ください。
  • ※ 上記以外の製品情報につきましては、カタログを参照ください。

型番リスト

表示件数:
  1. 1
型番
フランジ呼び
電圧
音速コンダクタンス
リード線取出し方法
CE対応
制御電源の有無
最小発注数量
通常単価(税別)(税込単価)
  • 価格の安い順
  • 価格の高い順
  • 解除
通常
出荷日
  • 早い順
  • 遅い順
  • 解除
16
DC24V
5L/S
コンジット
非対応
なし

1個

41,713円( 45,884円 )

19日目

16
DC24V
5L/S
DIN形ターミナル
非対応
なし

1個

42,300円( 46,530円 )

19日目

16
DC24V
5L/S
DIN形ターミナル
CE対応品
なし

1個

33,277円( 36,605円 )

6日目

16
DC24V
5L/S
グロメット
非対応
なし

1個

41,293円( 45,422円 )

6日目

16
DC24V
5L/S
グロメット
CE対応品
なし

1個

32,899円( 36,189円 )

19日目

16
DC24V
5L/S
ターミナル
非対応
なし

1個

42,469円( 46,716円 )

19日目

16
DC24V
5L/S
ターミナル
CE対応品
なし

1個

37,004円( 40,704円 )

19日目

16
AC100V
5L/S
グロメット
非対応
制御電源付

1個

43,899円( 48,289円 )

在庫品1日目

当日出荷可能

16
AC200V
5L/S
グロメット
非対応
制御電源付

1個

39,899円( 43,889円 )

19日目

16
DC24V
5L/S
グロメット
非対応
制御電源付

1個

39,899円( 43,889円 )

在庫品1日目

当日出荷可能

25
DC24V
8L/S
コンジット
非対応
なし

1個

43,559円( 47,915円 )

19日目

25
DC24V
8L/S
コンジット
CE対応品
なし

1個

43,895円( 48,285円 )

19日目

25
DC24V
8L/S
DIN形ターミナル
非対応
なし

1個

44,148円( 48,563円 )

19日目

25
DC24V
8L/S
DIN形ターミナル
CE対応品
なし

1個

34,721円( 38,193円 )

6日目

25
DC24V
8L/S
グロメット
非対応
なし

1個

43,140円( 47,454円 )

6日目

25
DC24V
8L/S
グロメット
CE対応品
なし

1個

33,899円( 37,289円 )

19日目

25
DC24V
8L/S
ターミナル
非対応
なし

1個

44,315円( 48,747円 )

19日目

25
DC24V
8L/S
ターミナル
CE対応品
なし

1個

44,650円( 49,115円 )

19日目

25
AC100V
8L/S
グロメット
非対応
制御電源付

1個

44,976円( 49,474円 )

在庫品1日目

当日出荷可能

25
AC200V
8L/S
グロメット
非対応
制御電源付

1個

44,976円( 49,474円 )

在庫品1日目

当日出荷可能

25
DC24V
8L/S
グロメット
非対応
制御電源付

1個

44,976円( 49,474円 )

在庫品1日目

当日出荷可能

  1. 1

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詳細情報

基本情報

駆動用エアが不要のため可搬装置への使用が可能な高真空L型バルブ。
【特長】
・金属摺動部がないためダスト減少
・圧力バランス構造で、排気方向自由
・電磁弁駆動用の制御電源回路付を標準化
・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできます
・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率が小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済みます
・フッ素に強い
・軽量・コンパクト
・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減します

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                            種類 電磁真空弁 高真空用電磁弁 高真空用電磁弁 高真空用電磁弁 高真空用電磁弁 高真空用電磁弁 高真空用電磁弁 電磁真空弁 遅延真空電磁弁 パイロット真空弁 手動真空弁 パイロット真空弁 空操真空弁
                            用途 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用
                            設置方法 ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト
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                            よくあるご質問（FAQ）

                            Q 高真空L型バルブ：XLSシリーズの「制御電源」とは、どのような制御でしょうか？
                            A
                            XLSシリーズの「制御電源」とは、起動時に起動電圧を印加して作動させ、
                            その後に低電圧で保持をする事でコイルの温度上昇を抑える方法です。
                            「制御電源なし」の場合は、お客様にて電源の制御が必要となります。
                            最初に起動電圧を0.15～0.2s通電した後に、起動電圧の25％の保持電圧に切り替える制御が必要になります。
                            起動電圧は0.3ｓ以上加えないでください。コイル焼損の原因となります。
                            「制御電源付き」の場合は、この制御電源回路が付いていますので、バルブ開の間は使用電源電圧を通電して頂ければ、
                            保持電圧に落とさなくても大丈夫です。
                            Q 高真空L型バルブ：XL□シリーズは正圧で使用する事はできますか？
                            A
                            標準品のXL□シリーズの使用圧力は、1Ｘ10-6～大気圧です（XLF/XLGは1Ｘ10-5～大気圧）。
                            正圧は大気圧までとなります。大気圧を超えた圧縮流体を使用することはできません。
                            注）XLGシリーズの特注品で対応可の製品があります。詳細は最寄りのSMC営業にお問合せください。

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