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  • フランジ種類

    • KF
    • K
    • CF

    解除

  • フランジ呼び

    • 25
    • 40
    • 50
    • 63
    • 80

    解除

  • 音速コンダクタンス

    • 14L/S
    • 45L/S
    • 80L/S
    • 160L/S
    • 200L/S

    解除

  • バルブ種類

    • L型
    • ストレート型

    解除

  • 操作ポート方向

    • フランジ側
    • フランジ面 右
    • フランジ面 左
    • フランジ面 裏

    解除

  • 温度範囲(℃)

    • 5～60
    • 5～150

    解除

  • スイッチ型式

    • M9B
    • M9N
    • M9P
    • A90
    • A93
    • オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
    • オートスイッチなし（内蔵磁石付）

    解除

  • スイッチ数

    • 1ヶ付（検出位置：弁閉）
    • 1ヶ付（検出位置：弁開）
    • 2ヶ付（検出位置：弁開閉）
    • オートスイッチなし

    解除

  • シール材質

    • Chemraz（配合No.：SSE38）
    • Barrel Perfluoro（配合No.：70W）
    • Chemraz（配合No.：SS592）
    • VMQ（配合No.：1232-70）
    • FKM（配合No.：1349-80）
    • EPDM（配合No.：2101-80）
    • FKM for Plasma（配合No.：3310-75）
    • Kalrez（配合No.：4079）

    解除

  • リーク量(Pa・m3/s)

    • 内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
    • 内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-9乗
    • 内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-11乗
    • 内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗

    解除

  • シ−ル変更箇所

    • なし
    • バルブシール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
    • バルブシール/外部シール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
    • 外部シール

    解除

  • スイッチリード線長さ(m)

    • 0.5
    • 1
    • 3
    • 5

    解除

  • タイプ

    • XMD
    • XYD

    解除

  • CAD

    • 2D
    • 3D

    解除

  • 出荷日

    • すべて
    • 6日以内
    • 9日以内
    • 19日以内
    解除
仕様・寸法を表示する

追加工・オプション

SMC

SMC

ステンレス製 高真空L型・ストレート型バルブ 二段制御単動 ベローズ・Oリングシール XMD・XYD

ステンレス製 高真空L型・ストレート型バルブ 二段制御単動 ベローズ・Oリングシール XMD・XYD

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通常価格(税別)
67,871円 ～ 273,692円
税込価格
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ポンプの過負荷運転を防止する真空バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブ...

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    型番が決まっている方は　こちら　から、お見積/ご注文下さい。
  • スペック、材質の詳細はカタログをご参照ください。
  • 商品画像は代表画像の場合がございます。詳細形状はカタログをご参照ください。
  • CADデータは、一部の型番には対応しておりません。

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型番

未確定243件の候補があります。

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商品情報

外形図

XMD／L型の寸法図

XMD／L型

XYD／ストレート型の寸法図

XYD／ストレート型

製品仕様

L型バルブ／XMDシリーズの外観

L型バルブ／XMDシリーズの外観

L型バルブ／XMDシリーズの操作ポート方向

L型バルブ／XMDシリーズの操作ポート方向

ストレート型／XYDシリーズの外観

ストレート型／XYDシリーズの外観

ストレート型／XYDシリーズの操作ポート方向

ストレート型／XYDシリーズの操作ポート方向

型番XMD-25
XYD-25		XMD-40
XYD-40		XMD-50
XYD-50		XMD-63
XYD-63		XMD-80
XYD-80
フランジ（バルブ）サイズ2540,CF0705063,CF11480
弁の形式常時閉（加圧開・スプリングシール）［主排気・初期排気弁共］
使用流体不活性ガス系の真空
使用温度 ℃5～60（高温タイプの場合5～150）
使用圧力 Pa（abs）1×10-6～大気圧
コンダクタンス L/s注1主排気弁144580160200
初期排気弁0.5～32～82.5～114～184～18
リーク量 Pa・m3/s内部標準材質（FKMの場合 1.3×10-10常温時・ガス透過を除く
外部標準材質（FKMの場合 1.3×10-11常温時・ガス透過を除く
作動時間 s主排気弁0.100.210.240.260.28
初期排気弁0.700.080.090.230.27
フランジの種類KF（NW）KF（NW）,CFKF（NW）KF（NW）,K（DN）,CFKF（NW）,K（DN）
主な材質注3本体：SCS13（SUS304相当）,ベローズ：SUS316L,要部：SUS304,FKM（標準シール材）
パイロット圧力 MPa（G）0.4～0.7〔主排気・初期排気弁共〕
パイロットポート接続口径M5Rc1/8-
質量 kg注2XMD0.651.50（1.86）2.204.10（5.46）6.80
XYD0.711.522.604.808.30

注1）主排気弁のコンダクタンスは同一寸法のエルボの"分子流"での値で代表しています。初期排気弁のコンダクタンスは"粘性流"での値です。
注2）（ ）内質量はCF（コンフラット）継手の場合です。
注3）真空部のシール材摺動部（初期排気弁摺動部）には真空グリース［Y-VAC2］を塗布しております。

構造

XMD／L型の構造図

XMD／L型

XYD／ストレート型の構造図

XYD／ストレート型

※保守部品につきましてはカタログP.497をご参照ください。

作動説明

  • 1.初期排気用バルブ開度調整
    使用前に（パイロットポートSにパイロット圧力を加えない状態）初期排気量を調整する。アジャストナットを時計回転で回し続け、軽く回転が停止すると、初期排気量はゼロになる。（工具は使用しないこと）反時計回転で初期排気量を設定する。アジャストナット回転数（ピ ッチ1mm）と初期排気弁コンダクタンスの関係は右図参照。
  • 2.初期排気用バルブ（Sバルブ）開
    パイロットポートSにパイロット圧力を加えると、SバルブはSバルブシールAss'yから離脱し、調整した開度まで開く。
  • 3.主排気用バルブ（Mバルブ）開
    パイロットポートMにパイロット圧力を加えると、Mバルブはボディシート部から離脱し、全開する。
  • 4.初期排気用バルブ／主排気用バルブ 閉
    パイロットポートSおよびパイロットポートMのパイロット圧力を抜くことにより、SバルブおよびMバルブは復帰し、シールする。
アジャストナット回転数（ピ ッチ1mm）と初期排気弁コンダクタンスのグラフ

アジャストナット回転数（ピ ッチ1mm）と初期排気弁コンダクタンスのグラフ

規格表

単位：mm

型番ABCDFnFdFcGHJKP.C.D.L1L2
XMD-255012348140--2641167.5--
XMD-406517066255-7041632015P.C.D58.76×φ6.6（直径6.6mm）
XMD-507018379275--52682017.5--
XMD-63882171003879511470722019.5P.C.D92.18×φ8.4（直径8.4mm）
XMD-80902561173114110-83982026.5--
型番ABCDEFnFdGHJK
XYD-25100.286.748123.540-2666167.5
XYD-401301146623855-41842015
XYD-501781287925375-52952017.5
XYD-632091631003618795701212019.5
XYD-80268193117380114110831442026.5

注意・禁止事項

  • ※ ボディ材質はSCS13（SUS304相当）、ベローズはSUS316L、その他真空部の金属材質はSUS304です。真空部のシール材質は標準でFKMとなっておりますが、その他材質（型番表示方法確認下さい）への変更が可能です。使用材質を確認のうえ、支障のない流体をご使用ください。
  • ※ 操作気圧配管材料および継手の耐熱は、使用温度に適したものを選定してください。
  • ※ スイッチ部の温度は60℃以下にしてください。
  • ※ 上記以外の製品情報につきましては、カタログを参照下さい。

型番リスト

表示件数:
  1. 1
  2. 2
  3. 3
  4. 4
  5. 5
  6. 次へ
型番
フランジ種類
フランジ呼び
音速コンダクタンス
バルブ種類
操作ポート方向
温度範囲(℃)
スイッチ型式
スイッチ数
シール材質
リーク量(Pa・m3/s)
シ−ル変更箇所
スイッチリード線長さ(m)
最小発注数量
通常単価(税別)(税込単価)
  • 価格の安い順
  • 価格の高い順
  • 解除
通常
出荷日
  • 早い順
  • 遅い順
  • 解除
KF
25
14L/S
L型
フランジ側
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
-

1個

80,908円( 88,999円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ側
5～60
A90
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

82,922円( 91,214円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ側
5～60
A90
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
3

1個

83,593円( 91,952円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ側
5～60
A90
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM for Plasma（配合No.：3310-75）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
3

1個

90,559円( 99,615円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ側
5～60
A93
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

84,265円( 92,692円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ側
5～60
A93
1ヶ付（検出位置：弁閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
3

1個

82,922円( 91,214円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ側
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石付）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
-

1個

81,243円( 89,367円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ側
5～60
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

86,448円( 95,093円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ側
5～60
M9B
1ヶ付（検出位置：弁閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

83,678円( 92,046円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ側
5～60
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
3

1個

87,119円( 95,831円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ側
5～60
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
Barrel Perfluoro（配合No.：70W）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
3

1個

107,513円( 118,264円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ側
5～60
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

86,615円( 95,277円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ側
5～60
M9N
1ヶ付（検出位置：弁開）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

83,762円( 92,138円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ側
5～60
M9N
1ヶ付（検出位置：弁閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

83,762円( 92,138円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ側
5～60
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
3

1個

87,286円( 96,015円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ側
5～60
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
EPDM（配合No.：2101-80）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
3

1個

88,629円( 97,492円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ側
5～60
M9P
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
3

1個

87,286円( 96,015円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ側
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
EPDM（配合No.：2101-80）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
-

1個

82,250円( 90,475円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ側
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
Kalrez（配合No.：4079）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
-

1個

103,652円( 114,017円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ側
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
Chemraz（配合No.：SS592）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
-

1個

121,613円( 133,774円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ側
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
VMQ（配合No.：1232-70）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
-

1個

67,871円( 74,658円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ側
5～150
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
-

1個

82,166円( 90,383円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ側
5～150
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
EPDM（配合No.：2101-80）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
-

1個

83,509円( 91,860円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ面 左
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
-

1個

80,908円( 88,999円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ面 裏
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
-

1個

80,908円( 88,999円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ面 裏
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石付）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
-

1個

81,243円( 89,367円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ面 裏
5～60
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

86,448円( 95,093円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ面 裏
5～60
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
3

1個

87,119円( 95,831円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ面 裏
5～60
M9P
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
3

1個

87,286円( 96,015円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ面 裏
5～150
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
-

1個

82,166円( 90,383円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ面 右
5～150
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
-

1個

82,166円( 90,383円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ面 右
5～150
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
Barrel Perfluoro（配合No.：70W）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
-

1個

102,562円( 112,818円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ面 右
5～150
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
Barrel Perfluoro（配合No.：70W）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-11乗
バルブシール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
-

1個

96,266円( 105,893円 )

19日目

KF
25
14L/S
L型
フランジ面 右
5～150
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
Barrel Perfluoro（配合No.：70W）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-9乗
外部シール
-

1個

88,462円( 97,308円 )

19日目

KF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
-

1個

111,793円( 122,972円 )

19日目

KF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
A90
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
3

1個

114,479円( 125,927円 )

19日目

KF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
A90
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM for Plasma（配合No.：3310-75）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
3

1個

123,376円( 135,714円 )

19日目

KF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
A93
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

115,150円( 126,665円 )

19日目

KF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
A93
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
3

1個

115,822円( 127,404円 )

19日目

KF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
A93
1ヶ付（検出位置：弁開）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
3

1個

113,808円( 125,189円 )

19日目

KF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石付）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
-

1個

112,213円( 123,434円 )

19日目

KF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

117,333円( 129,066円 )

19日目

KF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
M9B
1ヶ付（検出位置：弁閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

114,563円( 126,019円 )

19日目

KF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
3

1個

118,005円( 129,806円 )

19日目

KF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
1

1個

96,604円( 106,264円 )

19日目

KF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

117,500円( 129,250円 )

19日目

KF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
EPDM（配合No.：2101-80）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
0.5

1個

105,280円( 115,808円 )

19日目

KF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
M9N
1ヶ付（検出位置：弁閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

114,648円( 126,113円 )

19日目

KF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
3

1個

118,172円( 129,989円 )

19日目

KF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
EPDM（配合No.：2101-80）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
3

1個

122,452円( 134,697円 )

19日目

KF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
1

1個

95,563円( 105,119円 )

19日目

KF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
M9P
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
3

1個

102,160円( 112,376円 )

19日目

KF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
EPDM（配合No.：2101-80）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
-

1個

116,073円( 127,680円 )

6日目

KF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
Chemraz（配合No.：SS592）
内部：1.3×10の-8乗 外部：1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール/SバルブシールAss'y/固定用Oリング
-

1個

177,678円( 195,446円 )

19日目

CF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
オートスイッチなし（内蔵磁石なし）
オートスイッチなし
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
-

1個

117,752円( 129,527円 )

19日目

CF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
A90
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
3

1個

120,438円( 132,482円 )

19日目

CF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
A93
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
3

1個

121,780円( 133,958円 )

19日目

CF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
M9B
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

123,292円( 135,621円 )

19日目

CF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
M9B
1ヶ付（検出位置：弁閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

120,522円( 132,574円 )

19日目

CF
40
45L/S
L型
フランジ側
5～60
M9N
2ヶ付（検出位置：弁開閉）
FKM（配合No.：1349-80）
内部：1.3×10の-10乗 外部：1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

123,459円( 135,805円 )

19日目

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詳細情報

基本情報

ポンプの過負荷運転を防止する真空バルブ。
【特長】
・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）
・システムのコンパクト化および省配管化を実現
・排気時にチェンバ内のダスト巻上げを防止
・初期排気弁の流量調整可能
・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）
・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取り付け（XMシリーズ）

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                            メーカー SMC SMC SMC SMC SMC SMC SMC SMC SMC SMC SMC SMC SMC
                            通常価格 67,871円～ 66,431円～ 72,929円～ 33,659円～ 43,164円～ 31,959円～ 42,767円～ 40,255円～ 39,209円～ 34,424円～ 32,899円～ 34,586円～ 31,449円～
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                            種類 パイロット真空弁 空操真空弁 高真空用電磁弁 パイロット真空弁 パイロット真空弁 パイロット真空弁 手動真空弁 空操真空弁 高真空用電磁弁 パイロット真空弁 電磁真空弁 手動真空弁 空操真空弁
                            用途 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用
                            設置方法 ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト
                            ポート数 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 3ポート弁
                            切換の種類 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ

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