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    • 15
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    • 501～1000

    解除

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    • ～1.0
    • 1.1～5.0

    解除

  • テーブルサイズ幅 （範囲）(mm)

    • 50.1～75.0
    • 100.1～150.0

    解除

  • テーブルサイズ高さ（範囲）(mm)

    • 40.1～50.0
    • 50.1～75.0

    解除

  • 最大積載質量(kg)

    • 1
    • 5

    解除

  • ストローク(mm)

    • 100
    • 150
    • 200
    • 250
    • 300
    • 350
    • 400
    • 450
    • 500
    • 600
    • 700

    解除

  • テーブルサイズ 長さ(mm)

    • 67
    • 90

    解除

  • テーブルサイズ 幅(mm)

    • 69
    • 115

    解除

  • テーブルサイズ 高さ

    • 45
    • 75

    解除

  • タイプ

    • CYV15
    • CYV32

    解除

  • CAD

    • 2D
    • 3D

    解除

  • 出荷日

    • すべて
    • 19日以内
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追加工・オプション

SMC

SMC

真空ロッドレスシリンダ CYVシリーズ

真空ロッドレスシリンダ CYVシリーズ

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通常価格(税別)
148,919円 ～ 310,631円
税込価格
163,811円 ～ 341,694円

真空環境内での搬送に使用可能な低発塵のエアシリンダ。【特長】・真空チャンバ内に...

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(i)ご注意

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型番

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商品情報

外形図

真空ロッドレスシリンダ CYVシリーズの寸法図

製品仕様

真空ロッドレスシリンダ CYVシリーズの外観

製品仕様

  • 使用環境圧力：大気～1.3×10-4Pa（ABS）
  • 使用環境雰囲気（※1）：空気および不活性ガス
  • 使用流体（※1）：空気および不活性ガス
  • 作動形式：複動形
  • 保証耐圧力：0.5MPa
  • 使用圧力範囲：0.05～0.3MPa
  • リーク量：1.3×10-7Pa・m3/sec以下（常温時、ガス透過を除く）
  • 最高ベーキング温度（※2、※3）：100℃
  • 周囲および使用流体温度：-10～+60℃（ただし、凍結なきこと）
  • 使用ピストン速度（MAX）（※4）：50～300mm/s
  • ストローク調整量：各片側-2～0mm（両側で-4～0mm）
  • クッション：サインクッション（エアクッション）
  • 潤滑方法：リニアガイド部、シリンダチューブ内真空グリース
  • ※1：使用環境雰囲気および使用流体は空気を推奨しますが、その他不活性ガスの場合は、製品寿命などが異なることがあります。
  • ※2：本ベーキングは、シリンダ作動前のベーキング限定となります。シリンダ作動においては、-10～+60℃の温度範囲としてください。
  • ※3：ベーキング温度100℃を超える場合は、SMCサポートセンターへお問い合わせください。
  • ※4：上記使用ピストン速度は、最大速度を示します。ストローク端におけるスライドテーブル動き出しから、クッションストロークを抜け出すまで、約0.5秒（片側）および両端で約1秒かかります。

質量一覧

CYV15の標準ストローク

  • 100mm：1.2kg
  • 150mm：1.4kg
  • 200mm：1.6kg
  • 250mm：1.7kg
  • 300mm：1.9kg
  • 350mm：2kg
  • 400mm：2.2kg
  • 450mm：2.4kg
  • 500mm：2.5kg
  • 600mm：2.8kg
  • 700mm：3.2kg

CYV32の標準ストローク

  • 100mm：4.2kg
  • 150mm：4.6kg
  • 200mm：5kg
  • 250mm：5.5kg
  • 300mm：5.9kg
  • 350mm：6.3kg
  • 400mm：6.7kg
  • 450mm：7.1kg
  • 500mm：7.5kg
  • 600mm：8.3kg
  • 700mm：9.1kg

理論出力一覧

チューブ内径15mm／受圧面積176mm2の理論出力

  • 使用圧力0.1MPa：18N
  • 使用圧力0.2MPa：35N
  • 使用圧力0.3MPa：53N

チューブ内径32mm／受圧面積804mm2の理論出力

  • 使用圧力0.1MPa：80N
  • 使用圧力0.2MPa：161N
  • 使用圧力0.3MPa：241N

構造

CYV15の構造図

CYV15

CYV32の構造図

CYV32

番号部品名材質備考
（1）磁石A--
（2）ピストン側ヨーク圧延鋼板亜鉛クロメート
（3）ピストン真鍮／アルミ合金カニゼン／クロメート
（4）ピストンパッキンふっ素ゴム-
（5）ウェアリング特殊軸受-
（6）シャフトステンレス-
（7）クッションリングステンレス／真鍮-／カニゼン
（8）磁石B-TINコーティング
（9）外部移動子側ヨーク圧延鋼材無電解Niめっき
（10）ホールドスペーサアルミ合金無電解Niめっき
（11）スライドテーブルアルミ合金無電解Niめっき
（12）挿入ガイド板ステンレス-
（13）十字穴付ナベ小ねじステンレス-
（14）サイドプレートAアルミ合金無電解Niめっき
（15）サイドプレートBアルミ合金無電解Niめっき
（16）六角穴付ボルトステンレス-
（17）バネ座金ステンレス-
（18）平座金ステンレス-
（19）プレートAアルミ合金無電解Niめっき
（20）プレートBアルミ合金無電解Niめっき
（21）クッションパッキンふっ素ゴム-
（22）インナーカバーアルミ合金無電解Niめっき
（23）シリンダチューブガスケットふっ素ゴム-
（24）Oリングふっ素ゴム-
（25）Oリングふっ素ゴム-
（26）六角穴付止めねじステンレス-
（27）六角穴付ボルトステンレス-
（28）平座金ステンレス-
（29）十字穴付ナベ小ねじステンレス-
（30）六角穴付ボルトステンレス-
（31）軌道台アルミ合金無電解Niめっき
（32）シリンダチューブアルミ合金無電解Niめっき
（33）チューブ固定金具アルミ合金無電解Niめっき
（34）六角穴付ボルトステンレス-
（35）平座金ステンレス-
（36）六角穴付ボルトステンレス-
（37）平座金ステンレス-
（38）トップカバーアルミ合金無電解Niめっき
（39）クッションパッキンホルダアルミ合金クロメート
（40）Oリングふっ素ゴム-
（41）Oリングふっ素ゴム-
（42）リニアガイドステンレス-
（43）押エ板アルミ合金硬質アルマイト
  • ※ 構成部品の材質および備考欄の左がCYV15、右がCYV32を示します。

規格表

単位：mm

型番ABCEEDEKFGHHAHIHLHPJJKKLLD
CYV15810.56.46H9（0～+0.030）9.5412.51045232337.644M6×11021675.6
CYV32121610.24H9（0～+0.030）13625975393963.373.5M10×1.51220909.2
型番LWMMMNPPAPBPCQQWRTTATBTCWYZ
CYV1569M4×0.764.55/16-24UNF25601011248453020150.5692.5132
CYV32115M6×187.57/16-20UNF50100121478379.53422.5200.51153.5165

注）カタログの製品個別注意事項（クッション効果〈サインクッション〉とストロークの調整）をご参照ください。

使用例

真空ロッドレスシリンダ CYVシリーズの使用例

※上図イメージイラストは、本シリンダの設置方法の一例イメージです。ただし、すべての真空チャンバ使用条件を満足するものではありません。

商品特長詳細

非接触構造で、シリンダチューブ外周面とスライドテーブル内周面が接触しない構造のため摺動による発塵が皆無

非接触構造で、シリンダチューブ外周面とスライドテーブル内周面が接触しない構造のため摺動による発塵が皆無

特殊シリンダチューブ ロングストローク（MAX.700mm）

特殊シリンダチューブ ロングストローク（MAX.700mm）

アルミ押出材を使用した特殊シリンダチューブを採用
軌道台へ直接固定したことにより、ロングストロークでもたわむことがなく、リニアガイドとの組合わせで非接触構造を実現

Oリングシールで真空-大気を隔壁

Oリングシールで真空-大気を隔壁

※ストローク微調整を行うため、真空-大気隔離部にOリングをしています。

ストローク端での微調整が可能 片側-2～0（両側-4～0）mm調整可能

ストローク端での微調整が可能
片側-2～0（両側-4～0）mm調整可能

注意・禁止事項

  • ※ 二重包装されたクリーンシリーズの内側の包装開封は、クリーンルーム内または清浄な雰囲気中で行ってください。
  • ※ シリンダを設置する際は、素手で行わないでください。放出ガス特性を損なう場合があります。
  • ※ チャンバ内での部品交換、分解作業は配管内の圧縮空気をクリーンルーム外に排気し終わってから行ってください。
  • ※ 上記以外の製品情報につきましては、カタログを参照ください。

型番リスト

表示件数:
  1. 1
型番
シリンダ内径(φ)
ストローク（範囲）(mm)
最大積載質量（範囲）(kg)
テーブルサイズ幅 （範囲）(mm)
テーブルサイズ高さ（範囲）(mm)
最大積載質量(kg)
ストローク(mm)
テーブルサイズ 長さ(mm)
テーブルサイズ 幅(mm)
テーブルサイズ 高さ
最小発注数量
通常単価(税別)(税込単価)
  • 価格の安い順
  • 価格の高い順
  • 解除
通常
出荷日
  • 早い順
  • 遅い順
  • 解除
15
51～100
～1.0
50.1～75.0
40.1～50.0
1
100
67
69
45

1個

148,919円( 163,811円 )

19日目

15
101～250
～1.0
50.1～75.0
40.1～50.0
1
150
67
69
45

1個

155,081円( 170,589円 )

19日目

15
101～250
～1.0
50.1～75.0
40.1～50.0
1
200
67
69
45

1個

161,244円( 177,368円 )

19日目

15
101～250
～1.0
50.1～75.0
40.1～50.0
1
250
67
69
45

1個

167,407円( 184,148円 )

19日目

15
251～500
～1.0
50.1～75.0
40.1～50.0
1
300
67
69
45

1個

173,569円( 190,926円 )

19日目

15
251～500
～1.0
50.1～75.0
40.1～50.0
1
350
67
69
45

1個

179,731円( 197,704円 )

19日目

15
251～500
～1.0
50.1～75.0
40.1～50.0
1
400
67
69
45

1個

185,894円( 204,483円 )

19日目

15
251～500
～1.0
50.1～75.0
40.1～50.0
1
450
67
69
45

1個

192,057円( 211,263円 )

19日目

15
251～500
～1.0
50.1～75.0
40.1～50.0
1
500
67
69
45

1個

198,219円( 218,041円 )

19日目

15
501～1000
～1.0
50.1～75.0
40.1～50.0
1
600
67
69
45

1個

210,544円( 231,598円 )

19日目

15
501～1000
～1.0
50.1～75.0
40.1～50.0
1
700
67
69
45

1個

222,869円( 245,156円 )

19日目

32
51～100
1.1～5.0
100.1～150.0
50.1～75.0
5
100
90
115
75

1個

217,811円( 239,592円 )

19日目

32
101～250
1.1～5.0
100.1～150.0
50.1～75.0
5
150
90
115
75

1個

225,547円( 248,102円 )

19日目

32
101～250
1.1～5.0
100.1～150.0
50.1～75.0
5
200
90
115
75

1個

233,281円( 256,609円 )

19日目

32
101～250
1.1～5.0
100.1～150.0
50.1～75.0
5
250
90
115
75

1個

241,017円( 265,119円 )

19日目

32
251～500
1.1～5.0
100.1～150.0
50.1～75.0
5
300
90
115
75

1個

248,751円( 273,626円 )

19日目

32
251～500
1.1～5.0
100.1～150.0
50.1～75.0
5
350
90
115
75

1個

256,487円( 282,136円 )

19日目

32
251～500
1.1～5.0
100.1～150.0
50.1～75.0
5
400
90
115
75

1個

264,221円( 290,643円 )

19日目

32
251～500
1.1～5.0
100.1～150.0
50.1～75.0
5
450
90
115
75

1個

271,957円( 299,153円 )

19日目

32
251～500
1.1～5.0
100.1～150.0
50.1～75.0
5
500
90
115
75

1個

279,691円( 307,660円 )

19日目

32
501～1000
1.1～5.0
100.1～150.0
50.1～75.0
5
600
90
115
75

1個

295,161円( 324,677円 )

19日目

32
501～1000
1.1～5.0
100.1～150.0
50.1～75.0
5
700
90
115
75

1個

310,631円( 341,694円 )

19日目

  1. 1

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詳細情報

基本情報

真空環境内での搬送に使用可能な低発塵のエアシリンダ。
【特長】
・真空チャンバ内に設置可能なため、搬送システムのコンパクト化、シンプル化に貢献。
・ステンレス製リニアガイド＆低発塵真空グリース。
・初期発塵の低減し、ストロークエンドでの低発塵化。
・摺動による外部リークのないマグネット式ロッドレスシリンダを採用。
・表面処理による放出ガスの低減化し、樹脂系素材を排除。
・チューブ内径15mm：磁石保持力／59N。配管接続口径／5/16-24UNF。
・チューブ内径32mm：磁石保持力／268N。配管接続口径／7/16-20UNF。

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                            メーカー SMC AirTAC（エアタック） AirTAC（エアタック） コガネイ SMC SMC SMC コガネイ AirTAC（エアタック） SMC SMC SMC SMC
                            通常価格 148,919円～ 12,164円～ 6,149円～ 61,483円 11,984円～ 16,235円～ 17,211円～ 25,598円～ 15,164円～ 16,745円～ 22,184円～ 34,792円～ 65,577円～
                            通常出荷日 19日目   12日目   3日目～   在庫品1日目   当日出荷可能 在庫品1日目～   当日出荷可能 9日目～   19日目   在庫品1日目   当日出荷可能 12日目   19日目   3日目～   18日目～   18日目～  
                            種類 ロッドレスシリンダ ロッドレスシリンダ ロッドレスシリンダ ロッドレスシリンダ ロッドレスシリンダ ロッドレスシリンダ ロッドレスシリンダ ロッドレスシリンダ ロッドレスシリンダ ロッドレスシリンダ ロッドレスシリンダ ロッドレスシリンダ ロッドレスシリンダ
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                            ガイド方式 リニアガイド形 すべりガイド すべりガイド カムフォロア 基本形 基本形 ダイレクトマウント形 ガイドレス すべりガイド 基本形 すべり軸受ガイド形 基本形 リニアガイド形
                            テーブル材質 アルミニウム合金 アルミ合金 アルミ合金 アルミニウム アルミニウム合金 アルミニウム合金 アルミニウム合金 ナイロン アルミ合金 アルミニウム合金 アルミニウム合金 アルミニウム合金 アルミニウム合金
                            特性 真空 なし なし なし - なし なし なし なし なし - なし なし

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