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タイプ
- FSM3-B
- FSM3-C（IO-Link）
- FSM3-L（LCD）
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出力方式
- NPNオープンコレクタ
- PNPオープンコレクタ
- アナログ
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流量範囲（最大値）(L/min)
- ～10未満
- 10～50未満
- 50～100未満
- 100～500未満
- 500～5000未満
- ～10未満
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配管口の種類
- めねじ
- くい込み継手
- めねじ
-
配管ねじの呼び
- 1/8
- 1/4
- 1/2
-
配管ねじの種類
- Rc(R)
- G
- NPT
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出力点数
- 1
- 2
- 3
-
流体の種類
- 空気
- 窒素ガス
- 炭酸ガス
- アルゴン
- 酸素
-
アナログ出力仕様
- 電圧
- 電流
-
アナログ電圧出力(V)
- DC1-5V
-
流れ方向
- 両方向
- 片方向
-
表示
- IO-Link
- LCD表示
- バー表示
-
接続口径（詳細）
- 1/4インチ2重くい込み継手
-
配管方向
- ストレート
-
出力仕様
- IO-Link通信
-
スイッチ出力
- 1点（NPN）
- 1点（PNP）
- 2点（NPN）
- 2点（PNP）
-
コピー機能
- あり
- なし
-
単位仕様
- SI単位系のみ
- 単位切替機能付（海外向けのみ）
-
バルブオプション
- なし
- ニードル弁付
-
リード線
- 4芯1m
- 4芯3m
- 5芯1m
- 5芯3m
- なし
-
取付アタッチメント
- ブラケット1
- ブラケット2
- DINレール取付
- なし
- パネル取付
-
添付書類
- なし
-
クリーン仕様
- なし
- 発塵防止
- 禁油処理
-
接続口径（詳細）
- CA：Rc1/2
- CB：G1/2
- CC：NPT1/2
- BA：Rc1/4
- BB：G1/4
- BC：NPT1/4
- AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下）
- BD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以上）
- AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下）
- BE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以上）
- AA：Rc1/8
- AB：G1/8
- AC：NPT1/8
-
配管方向
- ストレート
-
出力仕様
- アナログ電圧出力×1点
- アナログ電流出力×1点
- IO-Link通信
- アナログ
-
スイッチ出力
- 1点（NPN）
- 1点（PNP）
- 2点（NPN）
- 2点（PNP）
-
コピー機能
- あり
- なし
-
単位仕様
- SI単位系のみ
- 単位切替機能付（海外向けのみ）
-
バルブオプション
- なし
- ニードル弁付
-
CAD
- 2D
- 3D
-
出荷日
- すべて
- 5日以内
- 6日以内
- 7日以内
- 8日以内
- 9日以内
- 10日以内
- 11日以内
- 12日以内
- 13日以内
- 36日以内
小形流量センサ ラピフロー FSM3シリーズ（ステンレスボディタイプ）
型番
未確定481件の候補があります。
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商品情報
外形図
（LCD表示タイプ）（流量レンジ： 500mL/min～50L/min）
●接続口径：ストレートタイプ Rc1/8、G1/8、NPT1/8
- FSM3-L［ロ］［ハ］2,3／AA1／AB1／AC1（フルスケール流量 ：500mL/min、1,2,5,10,20,50L/min）
●接続口径：ストレートタイプ G1/8
- FSM3-L［ロ］［ハ］2,3／AF1（フルスケール流量：500mL/min、1,2,5,10,20,50L/min）
- FSM3-L［ロ］［ハ］2,3／AD1（フルスケール流量 ：500mL/min、1,2,5,10,20,50L/min）
- FSM3-L［ロ］［ハ］2,3／AE1（フルスケール流量：500mL/min、1,2,5,10,20,50L/min）
ニードル弁付
●接続口径： Rc1/8、G1/8、NPTl/8、1/4インチ2重くい込み継手、1/4インチJXRオス継手
- FSM3-L［ロ］［ハ］2,3／AA1／AF1／AB1／AC1／AD／AE［ト］［チ］T（フルスケール流量： 500L/min、1,2,5,10,20,50L/min）
（LCD表示タイプ）（流量レンジ： 50L/min～200L/min）
●接続口径：ストレートタイプRc1/4、G1/4、NPT1/4
- FSM3-L［ロ］［ハ］2,3／BA1／BB1／BC1（フルスケール流量： 50,100,200L/min）
●接続口径：ストレートタイプ G1/4（BF1）
- FSM3-L［ロ］［ハ］2,3／BF1（フルスケール流量： 50,100,200L/min）
- FSM3-L［ロ］［ハ］2,3／BD1（フルスケール流量： 50,100,200L/min）
- FSM3-L［ロ］［ハ］2,3／BE1（フルスケール流量 ：50,100,200L/min）
ニードル弁付
●接続口径： Rc1/4、G1/4、NPT1/4、1/4インチ2重くい込み継手、1/4インチJXRオス継手
- FSM3-L［ロ］［ハ］2,3／BA1／BF1／BB1／BC1／BD／BE［ト］［チ］T（フルスケール流量： 50,100,200L/min）
※本体の上面と下面の形状はストレートタイプと同じです。
（LCD表示タイプ）（流量レンジ：500L/min、1,000L/min）
●接続口径： ストレートタイプRc1/2、G1/2、NPT1/2
- FSM3-L［ロ］［ハ］2／CA1／CF1／CB1／CC1（フルスケール流量： 500、 1,000L/min）
（バー表示タイプ）（流量レンジ： 500mL/min～50L/min）
●接続口径：ストレートタイプRc1/8、G1/8、NPT1/8
- FSM3-B［ロ］［ハ］2,3／AA1／AB1／AC1（フルスケール流量： 500mL/min、1,2,5,10,20,50L/min）
●接続口径：ストレートタイプG1/8
- FSM3-B［ロ］［ハ］2,3／AF1（フルスケール流量： 500mL/min、1,2,5,10,20,50L/min）
- FSM3-B［ロ］［ハ］2,3／AD1（フルスケール流量： 500mL/min、1,2,5,10,20,50L/min）
- FSM3-B［ロ］［ハ］2,3／AE1（フルスケール流量： 500ml/min、1,2,5,10 ,20,50L/min）
（バー表示タイプ）（流量レンジ： 50L/min～1,000L/min）
●接続口径：ストレートタイプ Rc1/4、G1/4、NPT1/4
- FSM3-B［ロ］［ハ］2,3／BA1／BB1／BC1（フルスケール流量： 50,100,200L/min）
●接続口径：ストレートタイプ G1/4
- FSM3-B［ロ］［ハ］2,3／BF1（フルスケール流量： 50,100,200L/min）
●接続口径：ストレートタイプ 1/4インチ2重くい込み継手
- FSM3-B［ロ］［ハ］2,3／BD1（フルスケール流量： 50,100,200L/min）
●接続口径：ストレートタイプ 1/4インチJXRオス継手
- FSM3-B［ロ］［ハ］2,3／BE1（フルスケール流量： 50,100,200L/min）
●接続口径：ストレートタイプ Rc1/2、G1/2、NPT1/2
- FSM3-B［ロ］［ハ］2／CA1／CF1／CB1／CC1（フルスケール流量： 500、1,000L/min）
（IO-Link）（流量レンジ： 500mL/min～50L/min）
●接続口径：ストレートタイプRc1/8、G1/8、NPT1/8
- FSM3-C［ロ］［ハ］2,3／AA1／AB1／AC1（フルスケール流量： 500mL/min、1,2,5,10,20,50L/min）
●接続口径：ストレートタイプG1/8
- FSM3-C［ロ］［ハ］2,3／AF1（フルスケール流量： 500mL/min、 1,2,5,10,20,50L/min）
- FSM3-C［ロ］［ハ］2,3／AD1（フルスケール流量： 500mL/min、1,2,5,10,20,50L/min）
- FSM3-C［ロ］［ハ］2,3／AE1（フルスケール流量： 500mL/min、1,2,5,10,20,50L/min）
（IO-Link）（流量レンジ： 50L/min～1,000L/min）
●接続口径：ストレートタイプRc1/4、G1/4、NPT1/4
- FSM3-C［ロ］［ハ］2,3／BA1／BB1／BC1／（フルスケール流量： 50,100,200L/min）
●接続口径：ストレートタイプG1/4
- FSM3-C［ロ］［ハ］2,3／BF1（フルスケール流量： 50,100,200L/min）
- FSM3 - C［ロ］［ハ］2,3／BD1（フルスケール流量： 50,100,200L/min）
- FSM3-C［ロ］［ハ］2,3／BE1（フルスケール流量： 50,100,200L/min）
●接続口径：ストレートタイプRc1/2、G1/2、NPT1/2
- FSM3-C［ロ］［ハ］2／CA1／CF1／CB1／CC1（フルスケール流量 ：500、 1,000L/min）
製品仕様
製品仕様
| 項目 | FSMS3-［イ］［ロ］［ハ］［ニ］［ホ］［ヘ］［ト］［チ］［リ］-［ ］ | ||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ［ロ］ | |||||||||||||
| 005 | 010 | 020 | 050 | 100 | 200 | 500 | 101 | 201 | 501 | 102 | |||
| 流れ方向 | ［ハ］ | U | 片方向 | ||||||||||
| B | 双方向 | ||||||||||||
| 測定流量 レンジ （□/min） 注1 | ［ロ］ | U | 15～500mL | 30～1,000mL | 0.06～2.00L | 0.15～5.00L | 0.30～10.00L | 0.6～20.0L | 1.5～50.0L | 3.0～100.0L | 6～200L | 15～500L | 30～1,000L |
| B | -500～ -15、 15～ 500mL | -1,000～ -30、 30～ 1,000mL | -2.00～ -0.06、 0.06～ 2.00L | -5.00～ -0.15、 0.15～ 5.00L | -10.00～ -0.30、 0.30～ 10.00L | -20.0～ -0.6、 0.6～ 20.0L | -50.0～ -1.5、 1.5～ 50.0L | -100.0～ -3.0、 3.0～ 100.0L | -200～ -6、 6～ 200L | -500～ -15、 15～ 500L | -1,000～ -30、 30～ 1,000L | ||
| 表示の種類 | 4桁+4桁 2色LCD | ||||||||||||
| 流量表示範囲 （□/min）注2 | ［ロ］ | U | -49～ +549mL | -99～ +1,099mL | -0.19～ +2.19L | -0.49～ +5.49L | -0.99～ +10.99L | -1.9～ +2.19L | -4.9～ +54.9L | -9.9～ +109.9L | -19～ +219L | -49～ +549L | -99～ +1,099L |
| B | -549～ +549mL | -1,099～ +1,099mL | -2.19～ +2.19L | -5.49～ +5.49L | -10.99～ +10.99L | -2.19～ +2.19L | -54.9～ +54.9L | -10.9～ +109.9L | -219～ +219L | -549～ +549L | -1,099～ +1,099L | ||
| 積算表示 注3 | 表示範囲 | 0～± 9999999mL | 0.00～±99999.99L | 0.0～±999999.9L | 0～±9999999L | ||||||||
| パルス 出力 レート | 5mL | 10mL | 0.02L | 0.05L | 0.1L | 0.2L | 0.5L | 1L | 2L | 5L | 10L | ||
| 使用条件 | 適用流体 注4 | 清浄空気（JIS B 8392-1：2012 1. 1.1～5.6.2）、圧縮空気（JIS B 8392-1：2012 1. 1. 1～1.6.2）、窒素ガス | |||||||||||
| アルゴン、炭酸ガス、混合ガス（アルゴン+炭酸ガス） | - | ||||||||||||
| 酸素（酸素仕様選択時は、（ワ）のクリーン仕様は選択できません。 自動的に禁油処理仕様となります。） | - | ||||||||||||
| 温度範囲 | 0～+50℃（結露なきこと） | ||||||||||||
| 圧力範囲 | -0.09～1.00MPa | -0.09～0.75MPa | |||||||||||
| 耐圧力 | 1.5MPa | ||||||||||||
| 使用周囲温度・湿度 | 0～+50℃、90%RH以下 | ||||||||||||
| 保存温度 | -10～+60℃ | ||||||||||||
| 精度 注5 （流体： 乾燥空気にて） | 精度 注6 | ±3%F.S.以内（2次側大気開放） （保証範囲は「測定流量レンジ」による） | |||||||||||
| 繰り返し精度 注7 | ±1%F.S.以内（2次側大気開放） | ||||||||||||
| 温度特性 | ±0.2%F.S.／℃以内（15～35℃、25℃基準） | ||||||||||||
| 圧力特性 | ±5%F.S.以内（2次側大気開放基準） | ±5%F.S.以内 （0.35MPa基準） | |||||||||||
| 応答時間 注8 | 50msec 以下（応答時間設定OFF時） | ||||||||||||
| スイッチ 出力 | ［ト］ | A,B,E,F | NPNオープンコレクタ出力（50mA以下、電圧降下2.4V以下） | ||||||||||
| C,D,G,H | PNPオープンコレクタ出力（50mA以下、電圧降下2.4V以下） | ||||||||||||
| アナログ 出力 注9 | A,B,C,D | 1-5V電圧出力（接続負荷インピーダンス50kΩ以上） | |||||||||||
| E,F,G,H | 4-20mA電流出力（接続負荷インピーダンス0～300Ω） | ||||||||||||
| 電源電圧 注10 | A,B,C,D | DC12～24V（10.8～26.4V） リップル率1%以下 | |||||||||||
| E,F,G,H | DC24V（21.6～26.4V） リップル率1%以下 | ||||||||||||
| 消費電流 注11 | 45mA以下 | ||||||||||||
| リード線 | φ3.7 AWG26祖当×5芯（コネクタ接続）、絶縁体外径φ1.0 | ||||||||||||
| 保有機能 注12 | （1）ガス種切替、（2）設定コピー機能、（3）流量積算、（4）ピークホールド、他 | ||||||||||||
| 保護構造 | IP40相当（IEC規格） | ||||||||||||
| 保護回路 注13 | 電源逆接続保護、スイッチ出力逆接続保護、スイッチ出力負荷短絡保護 | ||||||||||||
| 耐振動 | 10～150Hz、最大100m/s2、XYZ方向、各2時間 | ||||||||||||
| EMC指令 | EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8 | ||||||||||||
| 取付 | 取付姿勢 注14 | 縦・横自在 | |||||||||||
| 直轄導入部 注15 | 不要 | ||||||||||||
注1：標準状態 （20℃ 1気圧 （101kPa） 65%Rh）での体積流量に換算。（空気以外のガス種では、20℃ 1気圧（101kPa）、相対湿度0%Rh）
注2：各流量における表示は以下の様になります。
注3：積算流量は計算（参考）値です。積算保存機能を使用する場合は、保存回数が記憶素子のアクセス回数（限界は100万回）を超えない様にご注意ください。（各種設定の変更もアクセス回数にカウントされます。）
保存回数＝使用時間/5分＜100万回
瞬時流量が1%以下の時は、積算流量としてカウントされません。
注4：塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、ダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。圧縮空気をご使用の場合は、 JIS B 8392-1：2012 等級1.1.1～ 1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサーからの圧縮空気には、ドレン（水、酸化オイル、異物等）が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側（上流）にフィルタ、エアドライヤ（最低圧力露点10℃以下）及びオイルミストフィルタ（最大油分濃度0.1mg/m3）を取り付けてご使用ください。
酸素ガス用は専用モデルとなります。発火事故を防ぐため、一度でも酸素以外の流体を流した場合は再び酸素を流さないでください。
注5：本製品の調整・検査には圧縮空気を使用しております。空気以外のガス種では精度は目安となります。
注6：精度はCKDの基準流量計を基準としており、絶対精度を示すものではありません。
なお、精度±3%F.S.には、繰り返し精度、温度特性、圧力特性は含まれておりません。
使用環境・使用条件により別途考慮ください。
注7：短時間での繰返し性です。経時変化は含みません。（詳細は製品仕様書をこ確認ください。）
注8：実際の応答時間は配管条件によって変わります。応答時問の設定は目安として50msecから1.5secまで選択できます。
注9：アナログ出力電圧出力タイプの出力インピーダンスは、約1kΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値と誤差が大きくなります。接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上、ご使用ください。
注10：電圧出力タイプと電流出力タイプでは、電源電圧仕様が異なりますのでご注意ください。
注11：DC24V接続、負荷未接続時の電流です。負荷の接続状態によって消費電流が変わりますのでご注意ください。
注12：ガス種切替機能により、アルゴン、炭酸ガス、アルゴン80%+炭酸ガス20%に切替える事ができます。切替後のフルスケール流量、アナログ出力は以下の様になります。（酸素タイブ、500L/minモデル、1,000L/minモデルはガス種切替機能が設定できませんのでご注意ください。）
| ガス種 | 流れ方向 | フルスケール流量 | アナログ出力 | |
|---|---|---|---|---|
| 電圧 | 電流 | |||
| ・空気 ・窒素 ・アルゴン ・アルゴン80%+炭酸ガス20% | 片方向 | 0～100% | 1～5V | 4～20mA |
| 双方向 | -100～+100% | |||
| ・炭酸ガス | 片方向 | 0～50% | 1～3V | 4～20mA |
| 双方向 | -50～+50% | 2～4V | 8～16mA | |
「設定コピー機能」の有無は「（ト）出力仕様」で選択します。
「設定コピー機能」有の機種は、「外部入力」機能がありませんのでご注意ください。
注13：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。
注14：本製品は流れによる熱分布の変化を測定しています。
縦方向に設置すると、対流の影響で熱分布が変わり、ゼロ点がずれる場合があります。
注15：配管条件によっては精度に影響する場合があります。より精度よく測定するためには配管内径の10倍の直管部を設けてください。
500L/min、1,000L/minモデルでは内径9mm以上の配管をご使用ください。9mm以下の場合、精度が悪くなることがあります。
注16：質量については、別途参照ください。
製品仕様
| 項目 | FSMS3-［イ］［ロ］［ハ］［ニ］［ホ］［ヘ］［ト］［チ］［リ］-［ ］ | ||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ［ロ］ | |||||||||||||
| 005 | 010 | 020 | 050 | 100 | 200 | 500 | 101 | 201 | 501 | 102 | |||
| 流れ方向 | ［ハ］ | U | 片方向 | ||||||||||
| B | 双方向 | ||||||||||||
| 測定流量レンジ （□/min）注1 | ［ロ］ | U | 15～500mL | 30～1,000mL | 0.06～2.00L | 0.15～5.00L | 0.30～10.00L | 0.6～20.0L | 1.5～50.0L | 3.0～100.0L | 6～200L | 15～500L | 30～1,000L |
| B | -500～ -15、 15～ 500mL | -1,000～ -30、 30～ 1,000mL | -2.00～ -0.06、 0.06～ 2.00L | -5.00～ -0.15、 0.15～ 5.00L | -10.00～ -0.30、 0.30～ 10.00L | -20.0～ -0.6、 0.6～ 20.0L | -50.0～ -1.5、 1.5～ 50.0L | -100.0～ -3.0、 3.0～ 100.0L | -200～ -6、 6～ 200L | -500～ -15、 15～ 500L | -1,000～ -30、 30～ 1,000L | ||
| 表示の種類 | LEDバー表示 | ||||||||||||
| 使用条件 | 適用流体 注2 | 清浄空気（JIS B 8392-1：2012 1. 1.1～5.6.2）、圧縮空気（JIS B 8392-1：2012 1.1.1～1.6.2）、窒素ガス | |||||||||||
| 酸素（酸素仕様選択時は、（ワ）のクリーン仕様は選択できません。 自動的に禁油処理仕様となります。） | - | ||||||||||||
| 温度範囲 | 0～+50℃（結露なきこと） | ||||||||||||
| 圧力範囲 | -0.09～+1.00MPa | -0.09～+0.75MPa | |||||||||||
| 耐圧力 | 1.5MPa | ||||||||||||
| 使用周囲温度・湿度 | 0～+50℃、90%RH以下 | ||||||||||||
| 保存温度 | -10～+60℃ | ||||||||||||
| 精度 | 精度 注3 | ±3%F.S.以内（2次側大気開放） （保証範囲は「測定流量レンジ」による） | |||||||||||
| 繰り返し精度 注4 | ±1%F.S.以内（2次側大気開放） | ||||||||||||
| 温度特性 | ±0.2%F.S.／℃以内（15～35℃、25℃基準） | ||||||||||||
| 圧力特性 | ±5%F.S.以内（2次側大気開放基準） | ±5%F.S.以内 （0.35MPa基準） | |||||||||||
| 応答時間 注5 | 50msec 以下 | ||||||||||||
| アナログ出力 注6 | ［ト］ | J | 1-5V電圧出力（接続負荷インピーダンス＝50kΩ以上） | ||||||||||
| K | 4-20mA電流出力（接続負荷インピーダンス0～300Ω） | ||||||||||||
| 電源電圧 注7 | J | DC12～24V（10.8～26.4V） リップル率1%以下 | |||||||||||
| K | DC24V（21.6～26.4V） リップル率1%以下 | ||||||||||||
| 消費電流 注8 | 45mA以下 | ||||||||||||
| リード線 | φ3.7 AWG26祖当×4芯（コネクタ接続）、絶縁体外径φ1.0 | ||||||||||||
| 保護構造 | IP40相当（IEC規格） | ||||||||||||
| 保護回路 注9 | 電源逆接続保護 | ||||||||||||
| 耐振動 | 10～150Hz、最大100m/s2、XYZ方向、各2時間 | ||||||||||||
| EMC指令 | EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8 | ||||||||||||
| 取付 | 取付姿勢 注10 | 縦・横自在 | |||||||||||
| 直轄導入部 注11 | 不要 | ||||||||||||
注1：標準状態 （20℃ 1気圧 （101kPa） 65%Rh）での体積流量に換算
（空気以外のガス種では、20℃、1気圧（101kPa）、相対湿度0%RH）
注2：塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、ダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。圧縮空気をご使用の場合は、 JIS B 8392-1： 2012 等級1.1. 1～1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサーからの圧縮空気には、ドレン（水、酸化オイル、異物等）が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側（上流）にフィルタ、エアドライヤ（最低圧力露点10℃以下）及びオイルミストフィルタ（最大油分濃度0.1mg/m3）を取り付けてご使用ください。（推奨回路を参照してください。）
酸素ガス用は専用モデルとなります。発火事故を防ぐため、一度でも酸素以外の流体を流した場合は再び酸素を流さないでください。
注3：精度はCKDの基準流量計を基準としており、絶対精度を示すものではありません。なお、精度±3%F.S.には、繰り返し精度、温度特性、圧力特性は含まれておりません。
使用環境・使用条件により別途考慮ください。
注4：短時間での繰返し性です。経時変化は含みません。（詳細は製品仕様書をご確認ください。）
注5：実際の応答時間は配管条件によって変わります。
注6：アナログ出力電圧出力タイプの出力インピーダンスは、約1kΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値と誤差が大きくなります。接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上、ご使用ください。
注7：電圧出力タイプと電流出力タイプでは、電源電圧仕様が異なりますのでご注意ください。
注8：DC24V接続、負荷未接続時の電流です。負荷の接続状態によって消費電流が変わりますのでご注意ください。
注9：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。
注10：本製品は流れによる熱分布の変化を測定しています。
縦方向に設置すると、対流の影響で熱分布が変わり、ゼロ点がずれる場合があります。
注11：配管条件によっては精度に影響する場合があります。より精度よく測定するためには配管内径の10倍の直管部を設けてください。
500L/min、1,000L/minモデルでは、内径9mm以上の配管をご使用ください。9mm以下の場合、精度が悪くなることがあります。
注12：質量については、別途ご参照ください。
製品仕様
| 項目 | FSMS3-［イ］［ロ］［ハ］［ニ］［ホ］［ヘ］［ト］［チ］［リ］-［ ］ | ||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ［ロ］ | |||||||||||||
| 005 | 010 | 020 | 050 | 100 | 200 | 500 | 101 | 201 | 501 | 102 | |||
| 流れ方向 | ［ハ］ | U | 片方向 | ||||||||||
| B | 双方向 | ||||||||||||
| 測定流量レンジ （□/min）注1 | ［ロ］ | U | 15～500mL | 30～1,000mL | 0.06～2.00L | 0.15～5.00L | 0.30～10.00L | 0.6～20.0L | 1.5～50.0L | 3.0～100.0L | 6～200L | 15～500L | 30～1,000L |
| B | -500～ -15、 15～ 500mL | -1,000～ -30、 30～ 1,000mL | -2.00～ -0.06、 0.06～ 2.00L | -5.00～ -0.15、 0.15～ 5.00L | -10.00～ -0.30、 0.30～ 10.00L | -20.0～ -0.6、 0.6～ 20.0L | -50.0～ -1.5、 1.5～ 50.0L | -100.0～ -3.0、 3.0～ 100.0L | -200～ -6、 6～ 200L | -500～ -15、 15～ 500L | -1,000～ -30、 30～ 1,000L | ||
| 表示の種類 | LED表示（powerランプ、statusランプ） | ||||||||||||
| 使用条件 | 適用流体 注2 | 清浄空気（JIS B 8392-1：2012 1.1.1 ～5.6.2）、圧縮空気（JIS B 8392-1：2012 1.1.1～ 1.6.2）、窒素ガス | |||||||||||
| アルゴン、炭酸ガス、混合ガス（アルゴン+炭酸ガス） | - | ||||||||||||
| 酸素（酸素仕様選択時は、（ワ）のクリーン仕様は選択できません。 自動的に禁油処理仕様となります。） | - | ||||||||||||
| 温度範囲 | 0～50℃（結露なきこと） | ||||||||||||
| 圧力範囲 | -0.09～+1.00MPa | -0.09～+0.75MPa | |||||||||||
| 耐圧力 | 1.5MPa | ||||||||||||
| 使用周囲温度・湿度 | 0～50℃、90%RH以下 | ||||||||||||
| 保存温度 | -10～+60℃ | ||||||||||||
| 精度 注3 | 精度 注4 | ±3%F.S.以内（2次側大気開放） （保証範囲は「測定流量レンジ」による） | |||||||||||
| 繰り返し精度 注5 | ±1%F.S.以内（2次側大気開放） | ||||||||||||
| 温度特性 | ±0.2%F.S.／℃以内（15～35℃、25℃基準） | ||||||||||||
| 圧力特性 | ±5%F.S.以内（2次側大気開放基準） | ±5%F.S.以内 （0.35MPa基準） | |||||||||||
| 応答時間 注6 | 50msec 以下 | ||||||||||||
| 電源電圧 | DC18～30V リッブル率1%以下 | ||||||||||||
| 消費電流 注7 | 45mA以下 | ||||||||||||
| リード線 注8 | M12両側コネクタリード線（3m） AWG#23相当4芯 | ||||||||||||
| 保有機能 注9 注10 | （1）ガス種切替、（2）流量積算、（3）ピークホールド、他 | ||||||||||||
| 保護構造 | IP40相当（IEC規格） | ||||||||||||
| 保護回路 注11 | 電源逆接続保護 | ||||||||||||
| 耐振動 注12 | 10～150Hz、最大100m/s2、XYZ方向、各2時間 | ||||||||||||
| EMC指令 | EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8 | ||||||||||||
| 取付 | 取付姿勢 注13 | 縦・横自在 | |||||||||||
| 直轄導入部 注14 | 不要 | ||||||||||||
注1：標準状態（20℃ 1気圧（101kPa）65%）での体積流量に換算。（空気以外のガス種では、20℃ 1気圧（101kPa）、0%RH）
注2：塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、ダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。圧縮空気をご使用の場合は、 JIS B 8392-1：2012 等級1.1.1～ 1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサーからの圧縮空気には、ドレン（水、酸化オイル、異物等）が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側（上流）にフィルタ、エアドライヤ（最低圧力露点10℃以下）及びオイルミストフィルタ（最大油分濃度0.1mg/rn3）を取り付けてご使用ください。（推奨回路を参照してください。）
酸素ガス用は専用モデルとなります。発火事故を防ぐため、一度でも酸素以外の流体を流した場合は再び酸素を流さないでください。
注3：本製品の調整・検査には圧縮空気を使用しております。空気以外のガスでは精度は目安となります。
注4：精度はCKDの基準流量計を基準としており、絶対精度を示すものではありません。なお、精度±3%F.S.には、繰り返し精度、温度特性、圧力特性は含まれておりません。
使用環境・使用条件により別途考慮ください。
注5：短時間での繰返し性です。経時変化は含みません。（詳細は製品仕様書をご確認ください。）
注6：実際の応答時間は配管条件によって変わります。
注7：DC24V接続、負荷未接続時の電流です。負荷の接続状態によって消費電流が変わりますのでご注意ください。
注8：オス側がストレートで、メス側がアングルとなっています。M12コネクタは0.5N・m以下のトルクで締付けてください。
過大な力で締めると破損するおそれがありますのでご注意ください。
注9：ガス種切替機能により、アルゴン、炭酸ガス、アルゴン80%+炭酸ガス20%に切替える事ができます。切替後の測定流量範囲は以下の様になります。（酸素タイプ、500L/minモデル、1,000L/minモデルはガス種を切替えることができません。）
注10：積算流量は計算（参考）値です。積算保存機能を使用する場合は、保存回数が記憶素子のアクセス回数（限界は100万回）を超えない様にご注意ください。（各種設定の変更もアクセス回数にカウントされます。）
保存回数=使用時間/5分＜100万回
瞬時流量が1%以下の時は、積算流量としてカウントされません。
注11：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。
注12：振動条件によっては通信エラーが発生するおそれがあります．できるだけ振動のない場所に設置してください。
注13：本製品は流れによる熱分布の変化を測定しています。
縦方向に設置すると、対流の影響で熱分布が変わり、ゼロ点がずれる場合があります。
注14：配管条件によっては精度に影響する場合があります。より精度よく測定するためには配管内径の10倍の直管部を設けてください。
500L/min、1,000L/minモデルでは、内径9mm以上の配管をご使用ください。9mm以下の場合、精度が悪くなることがあります。
注15：質量については、別途ご参照ください。
規格表
| 型番 | 接続口径 | （A）寸法 |
|---|---|---|
| FSM3-B□□2CA1 | Rc1/2 | 80 |
| FSM3-B□□2CF1 | G1/2 | 80 |
| FSM3-B□□2CB1 | G1/2 | 95.4 |
| FSM3-B□□2CC1 | NPT1/2 | 80 |
| FSM3-L□□2CA1 | Rc1/2 | 80 |
| FSM3-L□□2CF1 | G1/2 | 80 |
| FSM3-L□□2CB1 | G1/2 | 95.4 |
| FSM3-L□□2CC1 | NPT1/2 | 80 |
| FSM3-C□□2CA1 | Rc1/2 | 80 |
| FSM3-C□□2CF1 | G1/2 | 80 |
| FSM3-C□□2CB1 | G1/2 | 95.4 |
| FSM3-C□□2CC1 | NPT1/2 | 80 |
型番リスト
| 型番 |
出力方式 |
流量範囲（最大値）(L/min) |
配管口の種類 |
配管ねじの呼び |
配管ねじの種類 |
出力点数 |
流体の種類 |
アナログ出力仕様 |
アナログ電圧出力(V) |
アナログ電流出力(mA) |
流れ方向 |
表示 |
接続口径（詳細） |
配管方向 |
出力仕様 |
スイッチ出力 |
コピー機能 |
単位仕様 |
バルブオプション |
リード線 |
取付アタッチメント |
添付書類 |
クリーン仕様 |
接続口径（詳細） |
配管方向 |
出力仕様 |
スイッチ出力 |
コピー機能 |
単位仕様 |
バルブオプション | 最小発注数量 | 通常単価(税別)(税込単価)
|
通常 出荷日
|
|---|
アナログ
|
[～10未満] 0.5
|
めねじ
|
1/8
|
Rc(R)
|
1
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧
|
DC1-5V
|
-
|
両方向
|
バー表示
|
-
|
ストレート
|
-
|
-
|
なし
|
SI単位系のみ
|
なし
|
なし
|
なし
|
なし
|
なし
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
| 1個 | 50,175円(
55,193円
) | 6日目 | |
-
|
[～10未満] 0.5
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
両方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[～10未満] 0.5
|
-
|
-
|
-
|
-
|
酸素
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
両方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
アナログ
|
[～10未満] 0.5
|
めねじ
|
1/8
|
Rc(R)
|
1
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧
|
DC1-5V
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
ストレート
|
-
|
-
|
なし
|
SI単位系のみ
|
なし
|
4芯1m
|
なし
|
なし
|
禁油処理
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
| 1個 | 52,830円(
58,113円
) | 5日目 | |
-
|
[～10未満] 0.5
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[～10未満] 0.5
|
-
|
-
|
-
|
-
|
酸素
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[～10未満] 1.0
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
両方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[～10未満] 1.0
|
-
|
-
|
-
|
-
|
酸素
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
両方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
アナログ
|
[～10未満] 1.0
|
めねじ
|
1/8
|
Rc(R)
|
1
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧
|
DC1-5V
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
ストレート
|
-
|
-
|
なし
|
SI単位系のみ
|
なし
|
4芯1m
|
なし
|
なし
|
禁油処理
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
| 1個 | 52,830円(
58,113円
) | 5日目 | |
-
|
[～10未満] 1.0
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[～10未満] 1.0
|
-
|
-
|
-
|
-
|
酸素
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
アナログ
|
[～10未満] 2.0
|
めねじ
|
1/8
|
Rc(R)
|
1
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧
|
DC1-5V
|
-
|
両方向
|
バー表示
|
-
|
ストレート
|
-
|
-
|
なし
|
SI単位系のみ
|
なし
|
4芯1m
|
なし
|
なし
|
なし
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
| 1個 | 50,816円(
55,898円
) | 6日目 | |
-
|
[～10未満] 2.0
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
両方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[～10未満] 2.0
|
-
|
-
|
-
|
-
|
酸素
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
両方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
アナログ
|
[～10未満] 2.0
|
めねじ
|
1/8
|
Rc(R)
|
1
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧
|
DC1-5V
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
ストレート
|
-
|
-
|
なし
|
SI単位系のみ
|
なし
|
4芯1m
|
なし
|
なし
|
禁油処理
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
| 1個 | 52,830円(
58,113円
) | 5日目 | |
アナログ
|
[～10未満] 2.0
|
めねじ
|
1/8
|
Rc(R)
|
1
|
空気 / 窒素ガス
|
電流
|
-
|
DC4-20mA
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
ストレート
|
-
|
-
|
なし
|
SI単位系のみ
|
なし
|
4芯1m
|
ブラケット1
|
なし
|
なし
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
| 1個 | 43,910円(
48,301円
) | 6日目 | |
-
|
[～10未満] 2.0
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[～10未満] 2.0
|
-
|
-
|
-
|
-
|
酸素
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[～10未満] 5
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
両方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[～10未満] 5
|
-
|
-
|
-
|
-
|
酸素
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
両方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[～10未満] 5
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[～10未満] 5
|
-
|
-
|
-
|
-
|
酸素
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[10～50未満] 10
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
両方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[10～50未満] 10
|
-
|
-
|
-
|
-
|
酸素
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
両方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[10～50未満] 10
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[10～50未満] 10
|
-
|
-
|
-
|
-
|
酸素
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[100～500未満] 100
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
両方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
BA：Rc1/4 / BB：G1/4 / BC：NPT1/4 / BD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以上） / BE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以上）
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[100～500未満] 100
|
-
|
-
|
-
|
-
|
酸素
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
両方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
BA：Rc1/4 / BB：G1/4 / BC：NPT1/4 / BD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以上） / BE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以上）
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[100～500未満] 100
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
BA：Rc1/4 / BB：G1/4 / BC：NPT1/4 / BD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以上） / BE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以上）
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[100～500未満] 100
|
-
|
-
|
-
|
-
|
酸素
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
BA：Rc1/4 / BB：G1/4 / BC：NPT1/4 / BD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以上） / BE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以上）
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[500～5000未満] 1000
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
-
|
-
|
-
|
両方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
CA：Rc1/2 / CB：G1/2 / CC：NPT1/2
|
ストレート
|
アナログ電圧出力×1点
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[500～5000未満] 1000
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
-
|
-
|
-
|
両方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
CA：Rc1/2 / CB：G1/2 / CC：NPT1/2
|
ストレート
|
アナログ電流出力×1点
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[500～5000未満] 1000
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
-
|
-
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
CA：Rc1/2 / CB：G1/2 / CC：NPT1/2
|
ストレート
|
アナログ電圧出力×1点
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[500～5000未満] 1000
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
-
|
-
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
CA：Rc1/2 / CB：G1/2 / CC：NPT1/2
|
ストレート
|
アナログ電流出力×1点
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[10～50未満] 20
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
両方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[10～50未満] 20
|
-
|
-
|
-
|
-
|
酸素
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
両方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
アナログ
|
[10～50未満] 20
|
めねじ
|
1/8
|
Rc(R)
|
1
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧
|
DC1-5V
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
ストレート
|
-
|
-
|
なし
|
SI単位系のみ
|
なし
|
4芯1m
|
DINレール取付
|
なし
|
なし
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
| 1個 | 43,736円(
48,110円
) | 5日目 | |
-
|
[10～50未満] 20
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[10～50未満] 20
|
-
|
-
|
-
|
-
|
酸素
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[100～500未満] 200
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
両方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
BA：Rc1/4 / BB：G1/4 / BC：NPT1/4 / BD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以上） / BE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以上）
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[100～500未満] 200
|
-
|
-
|
-
|
-
|
酸素
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
両方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
BA：Rc1/4 / BB：G1/4 / BC：NPT1/4 / BD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以上） / BE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以上）
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[100～500未満] 200
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
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-
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BA：Rc1/4 / BB：G1/4 / BC：NPT1/4 / BD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以上） / BE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以上）
|
ストレート
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アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[100～500未満] 200
|
-
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-
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-
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酸素
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電圧 / 電流
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-
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-
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片方向
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バー表示
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-
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-
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-
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-
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-
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-
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-
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-
|
BA：Rc1/4 / BB：G1/4 / BC：NPT1/4 / BD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以上） / BE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以上）
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[50～100未満] 50
|
-
|
-
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-
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-
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空気 / 窒素ガス
|
電圧 / 電流
|
-
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-
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両方向
|
バー表示
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-
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-
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-
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-
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-
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-
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-
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-
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-
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-
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-
|
BA：Rc1/4 / BB：G1/4 / BC：NPT1/4 / AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / BD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以上） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / BE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以上） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[50～100未満] 50
|
-
|
-
|
-
|
-
|
酸素
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
両方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
BA：Rc1/4 / BB：G1/4 / BC：NPT1/4 / AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / BD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以上） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / BE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以上） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[50～100未満] 50
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
BA：Rc1/4 / BB：G1/4 / BC：NPT1/4 / AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / BD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以上） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / BE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以上） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[50～100未満] 50
|
-
|
-
|
-
|
-
|
酸素
|
電圧 / 電流
|
-
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
BA：Rc1/4 / BB：G1/4 / BC：NPT1/4 / AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / BD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以上） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / BE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以上） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
アナログ
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[500～5000未満] 500
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
-
|
-
|
-
|
両方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
CA：Rc1/2 / CB：G1/2 / CC：NPT1/2
|
ストレート
|
アナログ電圧出力×1点
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[500～5000未満] 500
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
-
|
-
|
-
|
両方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
CA：Rc1/2 / CB：G1/2 / CC：NPT1/2
|
ストレート
|
アナログ電流出力×1点
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[500～5000未満] 500
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
-
|
-
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
CA：Rc1/2 / CB：G1/2 / CC：NPT1/2
|
ストレート
|
アナログ電圧出力×1点
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[500～5000未満] 500
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス
|
-
|
-
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
CA：Rc1/2 / CB：G1/2 / CC：NPT1/2
|
ストレート
|
アナログ電流出力×1点
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
アナログ
|
[500～5000未満] 500
|
めねじ
|
1/2
|
Rc(R)
|
1
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧
|
DC1-5V
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
ストレート
|
-
|
-
|
なし
|
SI単位系のみ
|
なし
|
なし
|
なし
|
なし
|
なし
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
| 1個 | 65,468円(
72,015円
) | 6日目 | |
アナログ
|
[500～5000未満] 500
|
めねじ
|
1/2
|
Rc(R)
|
1
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧
|
DC1-5V
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
ストレート
|
-
|
-
|
なし
|
SI単位系のみ
|
なし
|
4芯3m
|
ブラケット2
|
なし
|
なし
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
| 1個 | 67,015円(
73,717円
) | 6日目 | |
アナログ
|
[500～5000未満] 500
|
めねじ
|
1/2
|
NPT
|
1
|
空気 / 窒素ガス
|
電圧
|
DC1-5V
|
-
|
片方向
|
バー表示
|
-
|
ストレート
|
-
|
-
|
なし
|
SI単位系のみ
|
なし
|
4芯3m
|
ブラケット2
|
なし
|
なし
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
| 1個 | 67,015円(
73,717円
) | 6日目 | |
-
|
[～10未満] 0.5
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス / 炭酸ガス / アルゴン
|
-
|
-
|
-
|
両方向
|
IO-Link
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
IO-Link通信
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[～10未満] 0.5
|
-
|
-
|
-
|
-
|
酸素
|
-
|
-
|
-
|
両方向
|
IO-Link
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
IO-Link通信
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[～10未満] 0.5
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス / 炭酸ガス / アルゴン
|
-
|
-
|
-
|
片方向
|
IO-Link
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
IO-Link通信
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[～10未満] 0.5
|
-
|
-
|
-
|
-
|
酸素
|
-
|
-
|
-
|
片方向
|
IO-Link
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
IO-Link通信
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[～10未満] 1.0
|
-
|
-
|
-
|
-
|
空気 / 窒素ガス / 炭酸ガス / アルゴン
|
-
|
-
|
-
|
両方向
|
IO-Link
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
IO-Link通信
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 | |
-
|
[～10未満] 1.0
|
-
|
-
|
-
|
-
|
酸素
|
-
|
-
|
-
|
両方向
|
IO-Link
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
AD：1/4インチ2重くい込み継手（50L/min以下） / AE：1/4インチJXRオス継手（50L/min以下） / AA：Rc1/8 / AB：G1/8 / AC：NPT1/8
|
ストレート
|
IO-Link通信
|
-
|
-
|
SI単位系のみ
|
なし
| 1個 | -( -
) | 8日目 |
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詳細情報
基本情報
【特長】
・アウトガスを嫌う不活性ガス管理に最適
・IO-Linkモデル登場
・回転表示できる液晶ディスプレイ
・豊富なバリエーション
・かんたん取付（オプション）
・省スペース
(i)ご注意
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