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  • オプション仕様

    • DI制御キット
    • DI制御キット、循環液自動回収機能
    • NPT継手
    • NPT継手、DI制御キット
    • NPT継手、DI制御キット、循環液自動回収機能
    • NPT継手、SI単位固定、循環液自動回収機能
    • NPT継手、循環液自動回収機能
    • SI単位固定
    • なし
    • アナログ通信
    • アナログ通信、DI制御キット
    • アナログ通信、DI制御キット、循環液自動回収機能
    • アナログ通信、NPT継手、DI制御キット
    • アナログ通信、デバイスネット通信
    • アナログ通信、デバイスネット通信、DI制御キット、循環液自動回収機能
    • アナログ通信、循環液自動回収機能
    • デバイスネット通信
    • デバイスネット通信、DI制御キット
    • デバイスネット通信、循環液自動回収機能

    解除

  • ポンプインバータ制御

    • あり（ポンプインバータタイプ）
    • なし

    解除

  • タイプ

    • HRW-H2

    解除

  • 出荷日

    • すべて
    • 18日以内
    • 19日以内
    解除
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追加工・オプション

SMC

SMC

循環液温調装置 水冷却式サーモチラー 清水・脱イオン水（純水）タイプ HRWシリーズ

循環液温調装置 水冷却式サーモチラー 清水・脱イオン水（純水）タイプ HRWシリーズ

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1,667,486円 ～ 3,236,286円
税込価格
1,834,235円 ～ 3,559,915円

工場内循環水との直接熱交換器。【特長】・冷凍機が要らない温度範囲での温調用・高...

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型番

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商品情報

外形図

循環液温調装置 水冷却式サーモチラー 清水・脱イオン水（純水）タイプ HRWシリーズ 外形図

注）DI制御キット（オプション記号Y）をご指定の場合に使用します。

製品仕様

型番HRW002-H2
HRW002-H2S		HRW008-H2
HRW008-H2S		HRW015-H2
HRW015-H2S		HRW030-H2
HRW030-H2S
冷却方式水冷却式
使用周囲温度、湿度注1） ℃温度：10～35、湿度：30～70%RH
循環液系循環液注2）清水・脱イオン水（純水）
設定温度範囲注1） ℃20～90
冷却能力（50Hz／60Hz共通） kW281530
条件循環液温度 ℃放熱水温度+15
放熱水温度 ℃10～35
循環液定格流量 L/min4153040
放熱水必要流量 L/min10152540
温度安定性注3） ℃±0.3
ポンプ能力注4）（50／60Hz） MPa0.35／0.55（4L/min時）0.45／0.65（15L/min時）0.40／0.60（30L/min時）0.35／0.55（40L/min時）
循環液流量設定範囲注5） L/min3～169～50
タンク容量注6） L約13
循環液回収タンク容量注7） L12
接続口径Rc3/4
接液部材質ニッケルブレージング（熱交換器）、ステンレス銅、EPDM、シリコーン、PPS、ふっ素樹脂
放熱水系温度範囲 ℃10～35
必要流量注8） L/min10152540
入口圧力範囲 MPa0.3～0.7
接続口径Rc3/4
接液部材質ニッケルブレージング（熱交換器）、ステンレス鋼、EPDM、シリコーン、青銅、黄銅、NBR
電源系電源3相 AC200/200～208V±10%
最大運転電流 A26
ブレーカ容量A30
通信シリアルRS-485（Dsub-9Pin）および接点入出力（Dsub-25Pin）
寸法注9） mmW380×D665×H860
質量注10） kg約90
  • 注1）結露しない条件でご使用ください。
  • 注2）日本冷凍空調工業会水質基準(JRA GL-02-1994／冷却水系-循環式-補給水）を満たすものをご使用ください。脱イオン水（純水）をご使用の場合の電気伝導率は使用条件により異なります。
  • 注3）循環液、放熱水ともに定格流量で循環液吐出口と戻り口を直結した場合の本装置出口温度。設置環境、電源、放熱水が仕様範固内かつ安定している場合。外部負荷安定後（HRW030-H2のみ無負荷安定後）、10分経過時の数値です。DI制御キット（オプション記号：Y）をご使用の場合や、その他の使用条件によっては外れる場合があります。
  • 注4）循環液温度20℃時の循環液吐出口での能力です。60Hz時の能力が、HRW□□□-H2S（ポンプインバータタイプ）での最大ポンプ能力となります。
  • 注5）HRW□□□-H2S（ポンプインパータタイプ）のみ有効です。
  • 注6）サーモチラー単体で運転するための最低必要量です（循環液温度：20℃、サーモチラー内部の配管や熱交換器分を含む）。
  • 注7）循環液自動回収機能（オプション記号：Z）を選択することで設置されます。外部配管内部の循環液の回収に使用します。
  • 注8）冷却能力、温度安定性に記載の性能を得るために必要な流量です。
  • 注9）パネル間の寸法です。ブレーカハンドル等の突起物は含みません。
  • 注10）循環液を含まない乾燥状態での質量です。

型式表示方法

循環液温調装置 水冷却式サーモチラー 清水・脱イオン水（純水）タイプ HRWシリーズ 型番表示方法

規格表

単位：mm
型番ABCD
HRW002-H2
HRW008-H2
HRW015-H2
HRW030-H2		380665860φ18.5～20.5

型番リスト

表示件数:
  1. 1
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型番
冷却能力
オプション仕様
ポンプインバータ制御
最小発注数量
通常単価(税別)(税込単価)
  • 価格の安い順
  • 価格の高い順
  • 解除
通常
出荷日
  • 早い順
  • 遅い順
  • 解除
2kW
なし
なし

1個

2,031,072円( 2,234,179円 )

18日目

2kW
アナログ通信
なし

1個

2,140,179円( 2,354,197円 )

18日目

2kW
アナログ通信、DI制御キット
なし

1個

2,386,929円( 2,625,622円 )

18日目

2kW
アナログ通信、DI制御キット、循環液自動回収機能
なし

1個

2,137,211円( 2,350,932円 )

19日目

2kW
アナログ通信、循環液自動回収機能
なし

1個

2,388,608円( 2,627,469円 )

18日目

2kW
デバイスネット通信
なし

1個

2,123,393円( 2,335,732円 )

18日目

2kW
SI単位固定
なし

1個

1,667,486円( 1,834,235円 )

18日目

2kW
DI制御キット
なし

1個

2,277,822円( 2,505,604円 )

18日目

2kW
DI制御キット、循環液自動回収機能
なし

1個

2,074,020円( 2,281,422円 )

18日目

2kW
なし
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,145,215円( 2,359,737円 )

18日目

2kW
アナログ通信
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,254,322円( 2,479,754円 )

18日目

2kW
アナログ通信、デバイスネット通信、DI制御キット、循環液自動回収機能
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,841,822円( 3,126,004円 )

18日目

2kW
アナログ通信、DI制御キット、循環液自動回収機能
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,749,500円( 3,024,450円 )

18日目

2kW
アナログ通信、循環液自動回収機能
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,502,750円( 2,753,025円 )

18日目

2kW
デバイスネット通信
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,237,536円( 2,461,290円 )

18日目

2kW
NPT継手
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,163,679円( 2,380,047円 )

18日目

2kW
DI制御キット
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,391,965円( 2,631,162円 )

18日目

2kW
DI制御キット、循環液自動回収機能
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,640,393円( 2,904,432円 )

18日目

8kW
なし
なし

1個

2,165,358円( 2,381,894円 )

18日目

8kW
アナログ通信
なし

1個

2,274,465円( 2,501,912円 )

18日目

8kW
アナログ通信、デバイスネット通信、DI制御キット、循環液自動回収機能
なし

1個

2,861,965円( 3,148,162円 )

18日目

8kW
アナログ通信、NPT継手、DI制御キット
なし

1個

2,539,679円( 2,793,647円 )

18日目

8kW
アナログ通信、DI制御キット
なし

1個

2,521,215円( 2,773,337円 )

18日目

8kW
デバイスネット通信
なし

1個

2,257,679円( 2,483,447円 )

18日目

8kW
デバイスネット通信、DI制御キット
なし

1個

2,504,429円( 2,754,872円 )

18日目

8kW
デバイスネット通信、循環液自動回収機能
なし

1個

2,506,108円( 2,756,719円 )

18日目

8kW
NPT継手
なし

1個

2,183,822円( 2,402,204円 )

18日目

8kW
NPT継手、DI制御キット
なし

1個

2,430,572円( 2,673,629円 )

18日目

8kW
NPT継手、DI制御キット、循環液自動回収機能
なし

1個

2,679,000円( 2,946,900円 )

18日目

8kW
DI制御キット
なし

1個

2,412,108円( 2,653,319円 )

18日目

8kW
DI制御キット、循環液自動回収機能
なし

1個

2,184,267円( 2,402,694円 )

18日目

8kW
なし
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,279,500円( 2,507,450円 )

18日目

8kW
アナログ通信
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,388,608円( 2,627,469円 )

18日目

8kW
アナログ通信、デバイスネット通信、DI制御キット、循環液自動回収機能
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,976,108円( 3,273,719円 )

18日目

8kW
アナログ通信、DI制御キット
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,635,358円( 2,898,894円 )

18日目

8kW
アナログ通信、循環液自動回収機能
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,637,036円( 2,900,740円 )

18日目

8kW
デバイスネット通信
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,371,822円( 2,609,004円 )

18日目

8kW
デバイスネット通信、DI制御キット
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,618,572円( 2,880,429円 )

18日目

8kW
デバイスネット通信、循環液自動回収機能
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,620,250円( 2,882,275円 )

18日目

8kW
NPT継手
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,297,965円( 2,527,762円 )

18日目

8kW
NPT継手、循環液自動回収機能
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,546,393円( 2,801,032円 )

18日目

8kW
DI制御キット
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,526,250円( 2,778,875円 )

18日目

8kW
DI制御キット、循環液自動回収機能
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,774,679円( 3,052,147円 )

18日目

15kW
なし
なし

1個

2,299,643円( 2,529,607円 )

18日目

15kW
アナログ通信
なし

1個

2,408,750円( 2,649,625円 )

18日目

15kW
アナログ通信、デバイスネット通信
なし

1個

2,501,072円( 2,751,179円 )

18日目

15kW
アナログ通信、デバイスネット通信、DI制御キット、循環液自動回収機能
なし

1個

2,996,250円( 3,295,875円 )

18日目

15kW
アナログ通信、NPT継手、DI制御キット
なし

1個

2,673,965円( 2,941,362円 )

18日目

15kW
アナログ通信、DI制御キット
なし

1個

2,655,500円( 2,921,050円 )

18日目

15kW
デバイスネット通信
なし

1個

2,391,965円( 2,631,162円 )

18日目

15kW
DI制御キット
なし

1個

2,546,393円( 2,801,032円 )

18日目

15kW
DI制御キット、循環液自動回収機能
なし

1個

2,294,514円( 2,523,965円 )

18日目

15kW
なし
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,413,786円( 2,655,165円 )

18日目

15kW
アナログ通信
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,522,893円( 2,775,182円 )

18日目

15kW
アナログ通信、デバイスネット通信
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,615,215円( 2,876,737円 )

18日目

15kW
アナログ通信、デバイスネット通信、DI制御キット、循環液自動回収機能
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

3,110,393円( 3,421,432円 )

18日目

15kW
アナログ通信、DI制御キット
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,769,643円( 3,046,607円 )

18日目

15kW
アナログ通信、DI制御キット、循環液自動回収機能
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

3,018,072円( 3,319,879円 )

18日目

15kW
アナログ通信、循環液自動回収機能
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,771,322円( 3,048,454円 )

18日目

15kW
デバイスネット通信
あり（ポンプインバータタイプ）

1個

2,506,108円( 2,756,719円 )

18日目

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  2. 2
  3. 次へ

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詳細情報

基本情報

工場内循環水との直接熱交換器。
【特長】
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロセス装置に実績多数
・UL、SEMI規格適合、CEマーキング
・インバータタイプの選択可能

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                            通常出荷日 18日目～   18日目～   18日目～   5日目～   18日目～   3日目～   18日目～   3日目～   5日目～   18日目   5日目～   6日目～   3日目～  
                            種類 サーモチラー サーモチラー サーモチラー サーモコン サーモコン サーモチラー サーモチラー サーモチラー サーモチラー サーモチラー サーモコン サーモコン サーモチラー
                            冷却方式 水冷 - - 空冷 水冷 空冷 水冷 空冷 空冷 水冷 空冷 水冷 空冷
                            設定温度範囲 20～90℃ 20～90℃ 20～90℃ - - - - - - - - - -

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