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【10-シリーズ クリーンシリーズ】・クリーン環境に対応・クリーンルーム内への...
10-IRV10-□□□G:圧力計付
10-IRV20-□□□G:圧力計付
10-IRV10A-□□□G:圧力計付
10-IRV20A-□□□G:圧力計付
型番 | 10-IRV10 | 10-IRV20 | |
---|---|---|---|
使用流体 | 空気 | ||
設定圧力範囲注1) | -100~-1.3kPa | ||
大気吸込消費量注2) | 0.6L/min(ANR)以下 | ||
ハンドル分解能 | 0.13kPa以下 | ||
周囲温度および使用流体温度 | 5~60℃ | ||
VAC.側チューブ外径 | φ6、φ8、φ1/4”、φ5/16” | φ6、φ8、φ10、φ1/4”、φ5/16”、φ3/8” | |
SET.側チューブ外径 | |||
質量(付属品なし) | 標準配管仕様 | 135g(10-IRV10-C08) | 250g(10-IRV20-C10) |
一面配管仕様 | 125g(10-IRV10A-C08) | 125g(10-IRV20A-C10) |
注1)真空ポンプの圧力により変化しますのでご注意ください。
注2)常時大気から空気を取込んでいます。
10-IRV10-C08(ワンタッチ管継手φ8)
10-IRV10-C20(ワンタッチ管継手φ10)
10-IRV10
10-IRV20
作動原理
ハンドルを右回転させると設定スプリングの力によって、ダイヤフラムとバルブが押し下げられVAC.側とSET.側が通じ、SET.側の真空度が高くなります(絶対真空寄りに変化する)。
さらにSET.側の真空圧力はエア通路を通り、真空室に導かれ、ダイヤフラムの上面に作用し、設定スプリングの圧縮力と対抗し、SET.側圧力が設定されます。SET.側が所定の設定値より真空度が高くなった場合(絶対真空寄りに変化する)は、設定スプリングと真空室のSET.側圧力との平衡が崩れ、ダイヤフラムが上に押し上げられます。よって、バルブが閉じて、大気吸い込み弁が開き、大気がSET.側に流入して、設定スプリングの圧縮力とSET.側圧力が平衡したところで、SET.側圧力となります。また、SET.側圧力が所定の設定値より真空度が低くなった場合(大気圧寄りに変化する)は、設定スプリングと真空室との平衡が崩れ、ダイヤフラムが下へ押し下げられます。
よって、大気吸込み弁が閉じて、バルブがhば開き、VAC.側に吸入され、設定スプリング圧縮力とSET.側圧力が平衡したところで、SET.側圧力となります。
■圧力計付
■デジタル圧力スイッチ付
型番 |
使用流量(l/min) |
形状 |
供給側 接続チューブ径 |
制御側 接続チューブ径 |
配管仕様 |
付属品 |
モニタ出力 |
供給側 継手形状 |
制御側 継手形状 |
ブラケット |
種別 | 最小発注数量 | 通常単価(税別)(税込単価)
|
通常 出荷日
|
---|
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ6
|
φ6
|
標準配管仕様
|
なし
|
-
|
ストレート
|
ストレート
|
なし
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 6,799円(
7,479円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ6
|
φ6
|
標準配管仕様
|
なし
|
-
|
ストレート
|
ストレート
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 7,011円(
7,712円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ6
|
φ6
|
標準配管仕様
|
圧力計付
|
-
|
ストレート
|
ストレート
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 9,137円(
10,051円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ6
|
φ6
|
標準配管仕様
|
ゲージナットAss'y
|
-
|
ストレート
|
ストレート
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 7,012円(
7,713円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ6
|
φ6
|
標準配管仕様
|
デジタル圧力スイッチ付
|
NPNオープンコレクタ2出力
|
ストレート
|
ストレート
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 13,642円(
15,006円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ6
|
φ6
|
標準配管仕様
|
デジタル圧力スイッチ付
|
PNPオープンコレクタ2出力
|
ストレート
|
ストレート
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 15,077円(
16,585円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ6
|
φ6
|
標準配管仕様
|
デジタル圧力スイッチ付
|
NPNオープンコレクタ1出力
|
ストレート
|
ストレート
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 14,664円(
16,130円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ6
|
φ6
|
標準配管仕様
|
圧力計付
|
-
|
ストレート
|
ストレート
|
なし
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 8,924円(
9,816円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ6
|
φ6
|
標準配管仕様
|
なし
|
-
|
ストレート
|
ストレート
|
底面ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 7,139円(
7,853円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ6
|
φ6
|
標準配管仕様
|
圧力計付
|
-
|
ストレート
|
ストレート
|
底面ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 9,264円(
10,190円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ6
|
φ6
|
標準配管仕様
|
デジタル圧力スイッチ付
|
NPNオープンコレクタ1出力
|
ストレート
|
ストレート
|
なし
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 13,429円(
14,772円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ8
|
φ8
|
標準配管仕様
|
なし
|
-
|
ストレート
|
ストレート
|
なし
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 6,799円(
7,479円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ8
|
φ8
|
標準配管仕様
|
なし
|
-
|
ストレート
|
ストレート
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 7,011円(
7,712円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ8
|
φ8
|
標準配管仕様
|
圧力計付
|
-
|
ストレート
|
ストレート
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 9,137円(
10,051円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ8
|
φ8
|
標準配管仕様
|
デジタル圧力スイッチ付
|
NPNオープンコレクタ1出力
|
ストレート
|
ストレート
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 13,641円(
15,005円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ8
|
φ8
|
標準配管仕様
|
デジタル圧力スイッチ付
|
PNPオープンコレクタ1出力
|
ストレート
|
ストレート
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 15,092円(
16,601円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ8
|
φ8
|
標準配管仕様
|
圧力計付
|
-
|
ストレート
|
ストレート
|
なし
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 8,924円(
9,816円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ8
|
φ8
|
標準配管仕様
|
圧力計付
|
-
|
ストレート
|
ストレート
|
底面ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 9,264円(
10,190円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ8
|
φ8
|
標準配管仕様
|
デジタル圧力スイッチ付
|
NPNオープンコレクタ2出力
|
ストレート
|
ストレート
|
なし
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 13,429円(
14,772円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ6
|
φ6
|
標準配管仕様
|
なし
|
-
|
エルボ
|
エルボ
|
なし
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 7,054円(
7,759円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ6
|
φ6
|
標準配管仕様
|
なし
|
-
|
エルボ
|
エルボ
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 7,267円(
7,994円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ6
|
φ6
|
標準配管仕様
|
圧力計付
|
-
|
エルボ
|
エルボ
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 9,391円(
10,330円
) | 6日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ6
|
φ6
|
標準配管仕様
|
ゲージナットAss'y
|
-
|
エルボ
|
エルボ
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 7,268円(
7,995円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ6
|
φ6
|
標準配管仕様
|
デジタル圧力スイッチ付
|
NPNオープンコレクタ2出力
|
エルボ
|
エルボ
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 13,898円(
15,288円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ6
|
φ6
|
標準配管仕様
|
デジタル圧力スイッチ付
|
NPNオープンコレクタ1出力
|
エルボ
|
エルボ
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 14,946円(
16,441円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ6
|
φ6
|
標準配管仕様
|
圧力計付
|
-
|
エルボ
|
エルボ
|
なし
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 9,179円(
10,097円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ6
|
φ6
|
標準配管仕様
|
なし
|
-
|
エルボ
|
エルボ
|
底面ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 7,967円(
8,764円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ6
|
φ6
|
標準配管仕様
|
圧力計付
|
-
|
エルボ
|
エルボ
|
底面ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 9,519円(
10,471円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ6
|
φ6
|
標準配管仕様
|
デジタル圧力スイッチ付
|
NPNオープンコレクタ1出力
|
エルボ
|
エルボ
|
底面ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 15,528円(
17,081円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ8
|
φ8
|
標準配管仕様
|
なし
|
-
|
エルボ
|
エルボ
|
なし
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 7,054円(
7,759円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ8
|
φ8
|
標準配管仕様
|
なし
|
-
|
エルボ
|
エルボ
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 7,267円(
7,994円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ8
|
φ8
|
標準配管仕様
|
圧力計付
|
-
|
エルボ
|
エルボ
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 9,391円(
10,330円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ8
|
φ8
|
標準配管仕様
|
ゲージナットAss'y
|
-
|
エルボ
|
エルボ
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 7,268円(
7,995円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ8
|
φ8
|
標準配管仕様
|
デジタル圧力スイッチ付
|
NPNオープンコレクタ1出力
|
エルボ
|
エルボ
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 13,897円(
15,287円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ8
|
φ8
|
標準配管仕様
|
圧力計付
|
-
|
エルボ
|
エルボ
|
なし
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 9,180円(
10,098円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ8
|
φ8
|
標準配管仕様
|
なし
|
-
|
エルボ
|
エルボ
|
底面ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 7,394円(
8,133円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ8
|
φ8
|
標準配管仕様
|
圧力計付
|
-
|
エルボ
|
エルボ
|
底面ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 9,519円(
10,471円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ8
|
φ8
|
標準配管仕様
|
デジタル圧力スイッチ付
|
NPNオープンコレクタ1出力
|
エルボ
|
エルボ
|
なし
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 15,165円(
16,682円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ1/4"
|
φ1/4"
|
標準配管仕様
|
なし
|
-
|
エルボ
|
エルボ
|
なし
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 7,054円(
7,759円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ1/4"
|
φ1/4"
|
標準配管仕様
|
圧力計付
|
-
|
エルボ
|
エルボ
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 9,392円(
10,331円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ1/4"
|
φ1/4"
|
標準配管仕様
|
なし
|
-
|
ストレート
|
ストレート
|
なし
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 6,799円(
7,479円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ1/4"
|
φ1/4"
|
標準配管仕様
|
圧力計付
|
-
|
ストレート
|
ストレート
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 9,137円(
10,051円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ1/4"
|
φ1/4"
|
標準配管仕様
|
デジタル圧力スイッチ付
|
NPNオープンコレクタ2出力
|
ストレート
|
ストレート
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 15,077円(
16,585円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ5/16"
|
φ5/16"
|
標準配管仕様
|
圧力計付
|
-
|
ストレート
|
ストレート
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 9,137円(
10,051円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ6
|
φ6
|
一面配管仕様
|
なし
|
-
|
ストレート
|
ストレート
|
なし
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 7,224円(
7,946円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ6
|
φ6
|
一面配管仕様
|
デジタル圧力スイッチ付
|
NPNオープンコレクタ1出力
|
ストレート
|
ストレート
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 15,528円(
17,081円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ6
|
φ6
|
一面配管仕様
|
圧力計付
|
-
|
ストレート
|
ストレート
|
なし
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 9,349円(
10,284円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ6
|
φ6
|
一面配管仕様
|
ゲージナットAss'y
|
-
|
ストレート
|
ストレート
|
なし
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 7,224円(
7,946円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ6
|
φ6
|
一面配管仕様
|
なし
|
-
|
ストレート
|
ストレート
|
底面ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 7,564円(
8,320円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ6
|
φ6
|
一面配管仕様
|
圧力計付
|
-
|
ストレート
|
ストレート
|
底面ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 10,392円(
11,431円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ6
|
φ6
|
一面配管仕様
|
ゲージナットAss'y
|
-
|
ストレート
|
ストレート
|
底面ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 8,344円(
9,178円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ6
|
φ6
|
一面配管仕様
|
デジタル圧力スイッチ付
|
NPNオープンコレクタ2出力
|
ストレート
|
ストレート
|
底面ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 14,195円(
15,615円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ6
|
φ6
|
一面配管仕様
|
デジタル圧力スイッチ付
|
NPNオープンコレクタ2出力
|
ストレート
|
ストレート
|
なし
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 13,854円(
15,239円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ8
|
φ8
|
一面配管仕様
|
なし
|
-
|
ストレート
|
ストレート
|
なし
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 7,756円(
8,532円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
標準
|
φ8
|
φ8
|
一面配管仕様
|
圧力計付
|
-
|
ストレート
|
ストレート
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 9,561円(
10,517円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ6
|
φ6
|
一面配管仕様
|
なし
|
-
|
エルボ
|
エルボ
|
なし
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 7,479円(
8,227円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ6
|
φ6
|
一面配管仕様
|
圧力計付
|
-
|
エルボ
|
エルボ
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 9,818円(
10,800円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ6
|
φ6
|
一面配管仕様
|
デジタル圧力スイッチ付
|
NPNオープンコレクタ1出力
|
エルボ
|
エルボ
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 16,376円(
18,014円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ6
|
φ6
|
一面配管仕様
|
デジタル圧力スイッチ付
|
PNPオープンコレクタ1出力
|
エルボ
|
エルボ
|
ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 15,370円(
16,907円
) | 19日目 | |
最大流量140L/min(ANR)
|
ワンタッチ継手形エルボ
|
φ6
|
φ6
|
一面配管仕様
|
圧力計付
|
-
|
エルボ
|
エルボ
|
底面ブラケット付
|
クリーンシリーズ
| 1個 | 9,945円(
10,940円
) | 19日目 |
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【10-シリーズ クリーンシリーズ】
・クリーン環境に対応
・クリーンルーム内への発塵を防止
【20-シリーズ 銅系・フッ素系不可仕様】
・銅材質、フッ素材質を嫌う環境での使用に対応
・外形寸法は標準品と同一
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