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冷陰極真空計 コールドカソードタフゲージCCTG
- 通常価格(税別)
- 31,000円 ～ 357,901円
- 税込価格
- 34,100円 ～ 393,691円
【特長】・カソード電極を加熱することで、従来は対応できなかった電極汚染の防止、...
(i)ご注意
- 商品画像は代表画像となります。形状や色味を含め、型番毎に仕様が異なる場合がございます。
商品情報
外形図
CCTG200C-NW25型
CCTG200C-CF70型
製品仕様
CCTG200C（コールドカソードタフゲージ）
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 圧力単位 | Pa、Torr、mbar |
| タフモード | 測定時カソード電極を通電加熱 （温度を3段階に設定可） |
| デガス | カソードを約700°Cにフラッシュ加熱 |
| インターフェイス | RS232C 表示器（TGD100）、PCに接続可 |
| 入力信号 | 測定開始/停止、デガス、タフモードON/OFF |
| 出力信号 | セットポイント接点×2ch、アラーム接点 |
| 圧力信号出力 | 0-10V×2ch |
| 入力動作 | DC24V、1A |
| バイアス電圧 | 3kV～500V最適制御 |
| シール部材質 | バイトンシール（NW25） メタルOリングシール（ICF70） |
| 接続フランジ | NW25、CF70（ICF70） |
| ご注文型式 | NW25ネオジム磁石：CCTG200C-NW25 ICF70ネオジム磁石：CCTG200C-CF70 |
CCTG200CBL（電源通信ケーブル）
外観図
型番リスト
- 表示件数:
| 型番 |
種類 |
センサ・モニタ構造 |
配管接続方向 |
配管口の種類 |
仕様 |
測定範囲(Pa) |
接続フランジサイズ |
付属品 |
電源ケーブル長(m) |
通信ケーブル長(m) | 最小発注数量 | 通常単価(税別)(税込単価)
|
通常 出荷日
|
|---|
|
圧力モニタ
|
一体形
|
下
|
フランジ
|
トランスミッタタイプ（LED表示付）
|
1×10の-8乗～0.1
|
CF70（ICF70）
|
なし
|
-
|
-
| 1個 | 272,000円(
299,200円
) | - |
|
圧力モニタ
|
一体形
|
下
|
フランジ
|
トランスミッタタイプ（LED表示付）
|
1×10の-8乗～0.1
|
CF70（ICF70）
|
校正証明書付
|
-
|
-
| 1個 | 342,858円(
377,144円
) | - |
|
圧力モニタ
|
一体形
|
下
|
フランジ
|
トランスミッタタイプ（LED表示付）
|
1×10の-8乗～0.1
|
CF70（ICF70）
|
校正証明書、検査成績書付
|
-
|
-
| 1個 | 357,901円(
393,691円
) | - |
|
圧力モニタ
|
一体形
|
下
|
フランジ
|
トランスミッタタイプ（LED表示付）
|
1×10の-8乗～0.1
|
CF70（ICF70）
|
検査成績書付
|
-
|
-
| 1個 | 282,715円(
310,987円
) | - |
|
圧力モニタ
|
一体形
|
下
|
フランジ
|
トランスミッタタイプ（LED表示付）
|
1×10の-8乗～0.1
|
NW25
|
なし
|
-
|
-
| 1個 | 249,000円(
273,900円
) | - |
|
圧力モニタ
|
一体形
|
下
|
フランジ
|
トランスミッタタイプ（LED表示付）
|
1×10の-8乗～0.1
|
NW25
|
校正証明書付
|
-
|
-
| 1個 | 320,386円(
352,425円
) | - |
|
圧力モニタ
|
一体形
|
下
|
フランジ
|
トランスミッタタイプ（LED表示付）
|
1×10の-8乗～0.1
|
NW25
|
校正証明書、検査成績書付
|
-
|
-
| 1個 | 335,415円(
368,957円
) | - |
|
圧力モニタ
|
一体形
|
下
|
フランジ
|
トランスミッタタイプ（LED表示付）
|
1×10の-8乗～0.1
|
NW25
|
検査成績書付
|
-
|
-
| 1個 | 260,229円(
286,252円
) | - |
|
ケーブル
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
3
|
5
| 1個 | 31,000円(
34,100円
) | - |
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詳細情報
基本情報
【特長】
・カソード電極を加熱することで、従来は対応できなかった電極汚染の防止、超高真空領域での安定放電を実現しました
・カソード材質にセラミックを採用したことにより、従来にはない耐腐食性を兼ね備えました
・今まで計れなかったハロゲンガス雰囲気の圧力を計測することができます
【用途】
・真空蒸着装置、エッチング装置、スパッタ装置、電子顕微鏡、イオン注入装置、質量分析装置、LPCVD装置、有機EL材料精製、加速器等
(i)ご注意
- 商品画像は代表画像となります。形状や色味を含め、型番毎に仕様が異なる場合がございます。
- 一部型番の仕様・寸法を掲載しきれていない場合がございますので、詳細は メーカーカタログをご覧ください。
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