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漏液の被害を最小限に押えるコントローラ。【特長】・高感度による精度の高いレベル...
使用周囲温度範囲 | −10~+55℃ |
---|---|
使用周囲湿度範囲 | 45~85% |
絶縁抵抗 | 測定箇所 ケースと充電部DC100Vで10MΩ |
耐電圧 | 測定箇所 ケースと充電部AC1,000V 50/60Hz 1分間 |
消費電力 | 1W以下 |
漏液検出応答時間 | 動作時 800ms以下 復帰時 800ms以下 電源投入時立ち上がり時間 2s以下 |
質量 | 約14g |
性能
品名/仕様 | 形式 | |
---|---|---|
アンプ | 漏液検出器 | 形K7L-AT50 |
断線検出機能付 漏液検出器 | 形K7L-AT50D |
K7L-AT50□ / AT50D□□
品名/仕様 | 形式 | |
---|---|---|
アンプ | 漏液検出器 | 形K7L-U |
断線検出機能付 漏液検出器 | 形K7L-UD |
K7L-U□ / UD□□
電源電圧 | DC12~24V(許容電圧変動範囲 DC10~30V) | |||
---|---|---|---|---|
動作抵抗 | 0~50MΩ可変 レンジ0:0~250kΩ レンジ2:0~5MΩ レンジ1:0~600kΩ レンジ3:0~50MΩ 注. 各レンジの設定は本体側面にあるディップスイッチを操作してください。対応するディップスイッチを1個だけ上に設定してください(レンジ0はスイッチを全て下向きとします)。本体上面のADJUSTは設定範囲内で検出抵抗値を設定できます。出荷時は最大に設定してあります。各レンジとも検出は0Ωよりできます。 | |||
断線検出機能 | 検出信号:最大10VDC 200ms 検出時間:10秒以下 復帰:電源リセットにより復帰 | |||
復帰抵抗 | 動作抵抗値の105%以上 | |||
出力仕様 | 漏液検出、断線検出共オープンコレクタ Max. 30VDC、100mA 注. 本体側面のディップスイッチ(右端)を下に設定で、検出時 ON 本体側面のディップスイッチ(右端)を上に設定で、検出時 OFF | |||
配線距離 | 配線用ケーブル:50m以下 漏液検知帯:10m以下 注. 配線用ケーブルは、0.75mm2 600V VCT 3芯、漏液検知帯はメーカー指定品を使用し、完全絶縁処理を施した場合の値です(0.2mm2も使用可能です)。 | |||
付属品 | 接続端子台 | 整定用豆ドライバ | ターミネータ | |
形K7L-AT50/AT50B | 1個 | 1個 | - | |
形K7L-AT50D/AT50DB/AT50DP/AT50DPB | 1個 | 1個 | 1個 | |
形K7L-AT50D-S | 1個 | 1個 | - |
K7L-AT50□ / AT50D□□
電源電圧 | DC12~24V(許容電圧変動範囲 DC10~30V) | |||
---|---|---|---|---|
動作抵抗 | 0~1MΩ可変 注. 本体上面のADJUSTは設定範囲内で検出抵抗値を設定できます。出荷時は最大に設定してあります。 | |||
断線検出機能 | 検出信号:最大DC10V 200ms 検出時間:10秒以下 復帰:電源リセットにより復帰 | |||
復帰抵抗 | 動作抵抗値の105%以上 | |||
出力仕様 | 漏液検出、 断線検出共オープンコレクタ Max. DC30V、 100mA 注. 本体側面のディップスイッチ(右端)を下に設定で、 検出時 ON 本体側面のディップスイッチ(右端)を上に設定で、 検出時 OFF | |||
耐振動 | 10~150Hz 片振幅0.1mm 加速度15m/s2 X、Y、Z各方向:8min×10回掃引 | |||
耐衝撃 | 150m/s2、 3軸6方向 各3回 | |||
配線距離 | 配線用ケーブル、漏液検知帯:総和400m以下 注. 配線用ケーブルは、 0.75mm2 600V VCT 3芯、漏液検知帯はメーカー指定品を使用し、 完全絶縁処理を施した場合の値です(0.2mm2でも使用可能ですが、線径が細くなるため、お取り扱いにご注意ください) | |||
付属品 | 品名 | 接続端子台 | 整定用豆ドライバ | ターミネータ |
形式 | 形F 03-20 | - | 形F 03-20T | |
形K7L-U/UB | 1個 | 1個 | - | |
形K7L-UD/UDB/UDP/UDPB | 1個 | 1個 | 1個 |
K7L-U□ / UD□□
形番:K7L-AT50/AT50Dの寸法図
形番:K7L-AT50の外部接続図
形番:K7L-AT50D
形番:K7L-U/-UDの寸法図
形番:K7L-Uの外部接続図
形番:K7L-UD
半導体製造装置の結露・液漏れ検出
洗浄装置内の結露や周辺への液漏れを検出。
耐薬品性に優れた漏液検知帯
電極部にSUS316、絶縁被覆部にポリエチレンを採用。酸性やアルカリ性などの耐性をアップ。
薬液タンクのパイプ継手部の漏液検出
パイプの継手部など漏液の可能性のある部位に検知帯を巻き付けて液漏れを検出。
CMP装置の計量槽の漏液検出
ドレインパンへの液漏れを検出し、装置の破損やウエハの洗浄不良を防止。
メッキ装置の洗浄水レベル検出
洗浄槽内の純水のレベルを検出。
高感度による精度の高いレベル制御で洗浄不良を防止。
注. 防爆エリアでひとつの水槽に形K7Lを2個以上ご使用になる場合は、必ず水槽をアース接地してください。
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漏液の被害を最小限に押えるコントローラ。
【特長】
・高感度による精度の高いレベル制御で洗浄不良を防止
・K7L-AT50□/AT50D□□:電極間抵抗検知方式でインピーダンス液体から一般水まで安定検出できる
・K7L-U□/UD□□:監視エリアが大幅拡大で断線検出機能を搭載し長距離配線時にも安心
【用途】
・K7L-AT50□/AT50D□□:半導体製造装置から食品加工機まで幅広く利用可能
・K7L-U□/UD□□:長距離、広範囲の漏洩検出時に最適
K7L-AT50Dで型番確定
漏液検出器 K7L 電極間抵抗検知方式・交流検出方式の型番K7L-AT50Dのページです。
型番K7L-AT50Dに関する仕様情報を記載しております。
型番 |
---|
K7L-AT50 |
K7L-AT50B |
K7L-AT50D-S |
K7L-AT50DB |
K7L-AT50DP |
K7L-AT50DPB |
型番 | 通常単価(税別)(税込単価) | 最小発注数量 | スライド値引 | 通常 出荷日 | RoHS ? | 端子台タイプ | タイプ | 用途 | 付属品 | 備考 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
20,047円 ( 22,052円 ) | 1個 | あり | 在庫品1日目 当日出荷可能 | 10 | ねじ端子台 | センサ断線検出機能なし | 標準配線距離用 | 整定用豆ドライバ:1 / 接続端子台:1 | - | |
17,005円 ( 18,706円 ) | 1個 | - | 在庫品1日目 当日出荷可能 | 10 | プッシュインPlus端子台 | センサ断線検出機能なし | 標準配線距離用 | 整定用豆ドライバ:1 / 接続端子台:1 | - | |
22,780円 ( 25,058円 ) | 1個 | - | 1日目 | 10 | ねじ端子台 | センサ断線検出機能あり | 標準配線距離用 | 整定用豆ドライバ:1 / 接続端子台:1 | 本体単品 | |
27,354円 ( 30,089円 ) | 1個 | - | 1日目 | 10 | プッシュインPlus端子台 | センサ断線検出機能あり | 標準配線距離用 | ターミネータ:1 / 整定用豆ドライバ:1 / 接続端子台:1 | - | |
28,083円 ( 30,891円 ) | 1個 | あり | 在庫品1日目 当日出荷可能 | - | ねじ端子台 | センサ断線検出機能あり / プラスコモン接続対応 | 標準配線距離用 | ターミネータ:1 / 整定用豆ドライバ:1 / 接続端子台:1 | - | |
28,083円 ( 30,891円 ) | 1個 | あり | 1日目 | 10 | プッシュインPlus端子台 | センサ断線検出機能あり / プラスコモン接続対応 | 標準配線距離用 | ターミネータ:1 / 整定用豆ドライバ:1 / 接続端子台:1 | - |
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