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【特長】
・ダイアフラム型真空ポンプはゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して真空排気を行う真空ポンプです。DAシリーズ(標準型)は排気速度、到達圧力が他に比類のない性能を有しさらに高信頼性を実現。小型・軽量でメンテナンスも容易。
・排気速度(実効)：50Hz 20L/min、60Hz 24L/min
・到達圧力(Pa)：5.3×10^3、アンローダーバルブ取付けた際の圧力9.3×10^3
・電源：1φ100V(50/60Hz)
・質量(kg)：7.2
・吸気管径O.D.φ×I.D.φ：9.0×5.0
・最大寸法(W×L×Hmm)：118.0×242.0×178.0
(i)ご注意
- ただしクリーンルーム内での使用については使用条件を当社までご確認ください。
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- 一部型番の仕様・寸法を掲載しきれていない場合がございますので、詳細は メーカーカタログをご覧ください。
アルバック DA-20D ダイアフラム型真空ポンプの型番47-0926のページです。
型番47-0926に関する仕様情報を記載しております。
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