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熱電対付きシリコンウェーハ AWシリーズ

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安立計器

安立計器

熱電対付きシリコンウェーハ AWシリーズ

  • SALE 2025/03/31まで
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型番

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製品特長・仕様

製品の基本仕様・特長

【仕様】

型番 ※1AW-****K-TAW-****K-AAW-****K-S
熱電対種タイプK
使用温度範囲 ※20℃～+260℃0℃～+500℃0℃～+500℃
許容差0℃以上
100℃以下		±2.5℃±2.5℃±2.5℃
100℃超
200℃以下		±2.5℃±5.0℃±5.0℃
200℃超
300℃以下		±2.5℃
（260℃以下）		±6.0℃±6.0℃
300℃超
400℃以下		-±7.0℃±7.0℃
400℃超
500℃以下		-±8.0℃±8.0℃
成績書試験点100,150,200,250℃100,200,300,400,490℃100,200,300,400,490℃
ウェーハサイズ5,8,12インチ
熱電対素線径φ0.13mm
熱電対絶縁
被覆材質		ふっ素樹脂アルミナ繊維
スリーブ		石英管
一般（メーカー）校正※3の
温度範囲		+50℃～+250℃+50℃～+490℃+50℃～+490℃

※1：型番の*には、型番選択できる数字が入ります。尚、絶縁被覆以降の型番は省略しております。
※2：使用温度範囲は、ウェーハや絶縁被覆部の使用温度範囲であり、それ以外には適用されませんのでご注意下さい。
※3：一般（メーカー）校正は有償です。

 

【AWシリーズ 製品代表例】

熱電対付きシリコンウェーハ AW-0505K-A-TS1-ANP
Model：AW-0505K-A-TS1-ANP
  • ウェーハサイズ：5インチ
  • 熱電対センサ点数：5点
  • 熱電対種類：タイプK
  • 熱電対絶縁被覆：アルミナ繊維スリーブ
  • コード長：1m
  • 端末形状：ANP（ミニプラグ）
5インチウェーハに、アルミナ繊維スリーブを被覆した熱電対センサを5本取付けたタイプです。熱電対センサの被覆に使用しているアルミナ繊維スリーブは柔軟で軽量なため、手軽に取り扱えます。
熱電対付きシリコンウェーハ AW-0505K-S-TS1-ANP
Model：AW-0505K-S-TS1-ANP
  • ウェーハサイズ：5インチ
  • 熱電対センサ点数：5点
  • 熱電対種類：タイプK
  • 熱電対絶縁被覆：石英管
  • コード長：1m
  • 端末形状：ANP（ミニプラグ）
5インチウェーハに、石英管を通した熱電対センサを5本取付けたタイプです。熱電対センサの被覆に使用している石英管はアルミナ繊維スリーブに比べ、低粉塵かつ低アウト・ガスであるため、不純物の影響に敏感な用途でのご使用に適しています。

外形図

単位：mm
熱電対付きシリコンウェーハ 外形図
 
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型番リスト

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型番
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ウェーハサイズ
センサ点数
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アルミナ繊維スリーブ

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188,894円

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石英管

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241,484円

236,123円

( 259,735円 )

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ふっ素樹脂

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アルミナ繊維スリーブ

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5インチ
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石英管

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347,743円

339,988円

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ふっ素樹脂

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5インチ
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アルミナ繊維スリーブ

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309,094円

302,232円

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5インチ
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石英管

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453,992円

443,867円

( 488,254円 )

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5インチ
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270,461円

264,456円

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8インチ
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アルミナ繊維スリーブ

1個

193,183円

188,894円

( 207,783円 )

18日目

0～500
8インチ
1点
石英管

1個

241,484円

236,123円

( 259,735円 )

18日目

0～260
8インチ
1点
ふっ素樹脂

1個

173,858円( 191,244円 )

18日目

0～500
8インチ
5点
アルミナ繊維スリーブ

1個

251,123円( 276,235円 )

18日目

0～500
8インチ
5点
石英管

1個

347,743円

339,988円

( 373,987円 )

18日目

0～260
8インチ
5点
ふっ素樹脂

1個

222,157円( 244,373円 )

18日目

0～500
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アルミナ繊維スリーブ

1個

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302,232円

( 332,455円 )

18日目

0～500
8インチ
9点
石英管

1個

453,992円

443,867円

( 488,254円 )

18日目

0～260
8インチ
9点
ふっ素樹脂

1個

270,461円

264,456円

( 290,902円 )

18日目

0～500
12インチ
1点
アルミナ繊維スリーブ

1個

260,791円( 286,870円 )

18日目

0～500
12インチ
1点
石英管

1個

309,094円

302,232円

( 332,455円 )

18日目

0～260
12インチ
1点
ふっ素樹脂

1個

241,484円

236,123円

( 259,735円 )

18日目

0～500
12インチ
5点
アルミナ繊維スリーブ

1個

318,737円( 350,611円 )

18日目

0～500
12インチ
5点
石英管

1個

415,352円

406,131円

( 446,744円 )

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0～260
12インチ
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ふっ素樹脂

1個

289,775円

283,341円

( 311,675円 )

18日目

0～500
12インチ
9点
アルミナ繊維スリーブ

1個

376,721円

368,320円

( 405,152円 )

18日目

0～500
12インチ
9点
石英管

1個

521,590円( 573,749円 )

18日目

0～260
12インチ
9点
ふっ素樹脂

1個

338,061円( 371,867円 )

18日目

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詳細情報

基本情報

【特長】
・半導体製造装置の開発・プロセス条件出しや温度分布計測に必要不可欠な"熱電対付きシリコンウェーハ"
・精密穴加工をウェーハ上に施すことにより、高精度の熱接点位置を確保
・全製品に標準付属品として試験成績書を添付。高精度な温度測定の実現が可能
・全27種類の豊富なラインナップ

  • 一部型番の仕様・寸法を掲載しきれていない場合がございますので、詳細は メーカーカタログをご覧ください。

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                          被覆熱電対（極細形）
                            メーカー 安立計器 カスタム カスタム 林電工 エスコ A-Gas Japan（旧FUSO） エスコ A-Gas Japan（旧FUSO） 東京硝子器械 エー・アンド・デイ マザーツール エー・アンド・デイ 林電工
                            通常価格 173,858円～ 4,499円 48,200円 3,900円～ 37,800円～ 11,534円～ 9,047円～ 4,000円～ 9,188円～ 3,838円～ 4,000円～ 4,133円～ 6,300円
                            通常出荷日 18日目   1日目   当日出荷可能 1日目   6日目～   1日目～   5日目～   1日目～   在庫品1日目～   当日出荷可能 在庫品1日目   当日出荷可能 在庫品1日目～   当日出荷可能 在庫品1日目～   当日出荷可能 在庫品1日目～   当日出荷可能 6日目  
                            商品タイプ 熱感知センサー 中心温度計 放射温度計 その他アクセサリ 温湿度記録計(ロガー) 熱感知センサー 熱感知センサー 熱感知センサー 熱感知センサー 温湿度計(外部センサータイプ) その他アクセサリ 温湿度計(外部センサータイプ) その他アクセサリ

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