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電離真空計（マルチイオンゲージ）
- SALE 2025/03/31まで
- 通常単価(税別)
- 355,200円 335,450円
- 税込単価
- 390,720円 368,995円
【特長】・マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です・P...
-
- 種類：
- 圧力センサ
-
- センサ・モニタ構造：
- 分離形・コネクタ接続
-
- 配管接続方向：
- 下
-
- 配管口の種類：
- フランジ
-
- 測定圧力範囲(Pa)：
- 1×10の5乗～1×10の-8乗
-
- 電源電圧：
- 100～240V
-
- 測定子：
- M-45（NW-25）/SWP-25
-
- 取合いフランジ：
- NW25
-
- 材質：
- 測定子フィラメント・白金（Pt）
-
- トラスココード：
- 353-7436
-
- 質量(g/セット)：
- 650
(i)ご注意
- 本製品を日本国外へ輸出する場合は、ご一報いただくと共に外国為替及び外国貿易管理法等、輸出管理の規定に従って手続きが必ず必要になります。
指定中 の仕様・寸法情報
カタログ
型番リスト
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詳細情報
基本情報
【特長】
・マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です
・PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます
・真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました
・フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です
・大気圧から高真空領域（1×10の+5乗～1×10の-8乗Pa）の測定が可能（オプションユニットSWU10-R接続時）です
【用途】
・半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の高真空領域のプロセス制御用に
・インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の高真空領域の到達圧力確認に
・高真空・超高真空装置の圧力測定に
【材質】
・測定子フィラメント・白金（Pt）
【セット内容】
・SH200-A
・SWU10-R
・SH200用測定子M45
・SWU10-R専用測定子SWP-25
・SWU接続用ユニットケーブル0.5m
(i)ご注意
- 本製品を日本国外へ輸出する場合は、ご一報いただくと共に外国為替及び外国貿易管理法等、輸出管理の規定に従って手続きが必ず必要になります。
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類似品
SH200A-ISG1-NW25-SETで型番確定
- 一部型番の仕様・寸法を掲載しきれていない場合がございますので、詳細は メーカーカタログをご覧ください。
電離真空計（マルチイオンゲージ）の型番SH200A-ISG1-NW25-SETのページです。
型番SH200A-ISG1-NW25-SETに関する仕様情報を記載しております。
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