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種類
電磁真空弁

高真空用電磁弁

遅延真空電磁弁

手動真空弁

機械作動真空弁

パイロット真空弁

空操真空弁

関連部品
解除

用途
単体使用

多連
解除

設置方法
ダイレクト

マニホールドベース

サブベース
解除

ポート数
2ポート弁

3ポート弁

5ポート弁
解除

ソレノイドの種類
シングル

ダブル
解除

切換の種類
2位置ノーマルオープン

2位置ノーマルクローズ

その他
解除

電磁弁駆動の種類
直動形

外部パイロット形

エアパイロット

バキュームパイロット
解除

有効断面積(mm2)
A・Bポートの接続ﾁｭｰﾌﾞ径になります
0.07

0.1

0.19

0.2

0.38

0.45

0.55

0.6

0.78

1.5

2.0

2.5

4

4.2

4.5

4.6

5

5.5

7.65

8.3

8.5

10.2

11

15

36

55
解除

配管口の種類
M

Rc

NPT

ワンタッチ配管

フランジ

JXR継手

くい込み継手

フェースシール継手

コンプレッション継手
解除

配管ねじの呼び
M5

1/8

1/4

3/8

1/2

3/4

1

M3

M6

M8
解除

接続チューブ径
φ3

φ4

φ6
解除

フランジ種類
KF

K

CF

NW

JIS

ISO

その他
解除

フランジ呼び
16

25

40

50

63

80

その他

100

150

200

250

300

350

10

15

32

65

20

48

52

400

450

500

70

114
解除

CV値
0.0037940379

0.006

0.010298103

0.011

0.02

0.020596206

0.025

0.03

0.0422764228

0.05

0.08

0.12

0.17

0.23

0.27

0.28

0.33

0.45

0.47

0.57

0.6

0.76

1.05

1.6

2

2.7

3

4

7

10

15

17

20

27

30

50

84.87
解除

メーカー
SMC (15)

コガネイ (6)

ＣＫＤ (4)

入江工研 (2)

アリオス (2)

アズワン (0)

コンサス (0)

ベン (0)

ＥＤＷＡＲＤＳ (0)

日本精器 (0)

フジ・テクノロジー (0)

アルバック (0)

佐藤真空 (0)

日本ピスコ (0)

コンバム（旧：妙徳） (0)

VAT (0)
解除
CAD
2D

3D
解除

SMC 真空バルブ（ポート数：2ポート弁）

15件

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出荷日:

ステンレス製高真空L型/ストレート型バルブ常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ

SMC

ステンレス製高真空L型/ストレート型バルブ常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ

評価 0.0

圧力バランス構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）・軽量・コンパクト

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
空操真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

通常価格(税別) ：	40,255円～
(税込価格) ：	44,281円～
通常出荷日：	在庫品1日目～

一部当日出荷可能

アルミニウム製高真空L型バルブ複動/ベローズシール XLCシリーズ

SMC

アルミニウム製高真空L型バルブ複動/ベローズシール XLCシリーズ

評価 0.0

【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
パイロット真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

通常価格(税別) ：	34,424円～
(税込価格) ：	37,866円～
通常出荷日：	在庫品1日目～

一部当日出荷可能

アルミニウム製高真空L型バルブ二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ

SMC

アルミニウム製高真空L型バルブ二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ

評価 0.0

ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・エアオペレートタイプ/電磁弁付き・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む・フッ素に強い・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・軽量・コンパクト

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
空操真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

通常価格(税別) ：	66,431円～
(税込価格) ：	73,074円～
通常出荷日：	6日目～

常時閉型高真空電磁弁 XSAシリーズ

SMC

常時閉型高真空電磁弁 XSAシリーズ

評価 0.0

発塵を低減し、シール性能が向上した常時閉型高真空電磁弁。【特長】・難燃性がある（UL94V-0準拠）・2種の継手（フェースシール継手・コンプレッション継手）、めねじ（Rc、NPT）を用意・スプリングを鉄心摺動部からボディ部へ移動することによりスプリングの接触による発塵を低減させました・大きなスプリング力で確実にシール・消費電力※：4.5W（サイズ1）/7W（サイズ2）/10.5W（サイズ3）（※DC仕様/B種の場合です。）・使用温度範囲：5～60℃

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
高真空用電磁弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	直動形	-	Rc / NPT / フェースシール継手 / コンプレッション継手

通常価格(税別) ：	19,209円～
(税込価格) ：	21,130円～
通常出荷日：	在庫品1日目～

一部当日出荷可能

アルミ製高真空L型バルブ常時閉 Oリングシール XLFシリーズ

SMC

アルミ製高真空L型バルブ常時閉 Oリングシール XLFシリーズ

評価 0.0

【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
パイロット真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

通常価格(税別) ：	31,959円～
(税込価格) ：	35,155円～
通常出荷日：	3日目～

アルミ製高真空L型バルブ常時閉 Oリングシール XLFVシリーズエアオペレートタイプ電磁弁付

SMC

アルミ製高真空L型バルブ常時閉 Oリングシール XLFVシリーズエアオペレートタイプ電磁弁付

評価 0.0

【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
高真空用電磁弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	直動形	-	フランジ

通常価格(税別) ：	39,209円～
(税込価格) ：	43,130円～
通常出荷日：	19日目

ステンレス製高真空L型/ストレート型バルブ複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズ

SMC

ステンレス製高真空L型/ストレート型バルブ複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズ

評価 0.0

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・圧力バランス構造・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）・軽量・コンパクト

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
パイロット真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

通常価格(税別) ：	43,164円～
(税込価格) ：	47,480円～
通常出荷日：	3日目～

アルミニウム製高真空L型バルブ複動/Oリングシール XLGシリーズ

SMC

アルミニウム製高真空L型バルブ複動/Oリングシール XLGシリーズ

評価 0.0

【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
パイロット真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

通常価格(税別) ：	33,659円～
(税込価格) ：	37,025円～
通常出荷日：	6日目～

ステンレス製高真空L型/ストレート型バルブ手動/ベローズシール XMH・XYHシリーズ

SMC

ステンレス製高真空L型/ストレート型バルブ手動/ベローズシール XMH・XYHシリーズ

評価 0.0

圧力バランス構造で、排気方向が自由な真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・低い操作トルク（0.5N・m以下）・スプリングによる一定のシール荷重・バルブ開閉時のハンドル高さが一定・開閉確認用インジケータを標準で装備・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）・軽量・コンパクト

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
手動真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

通常価格(税別) ：	42,767円～
(税込価格) ：	47,044円～
通常出荷日：	在庫品1日目～

一部当日出荷可能

サクションアシストバルブ ZP2Vシリーズ

数量スライド割引

SMC

サクションアシストバルブ ZP2Vシリーズ

評価 4.0 平均満足度4.0

ワークがなくても真空圧力の低下を抑制する真空バルブ。【特長】・1つの真空発生器で真空パッドを多数個使用した場合に、未吸着状態のパッドがあっても、真空圧力の低下を抑制するため、ワークを保持・ワンタッチ管継手付を追加・ワーク変更による切換作業が不要・ワーク形状が異なる場合、制御回路の簡略化が可能・固定絞り径：0.3mm、0.5mm、0.7mm、1mm

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
空操真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	0.07 ～ 0.78	M / Rc / NPT / ワンタッチ配管

通常価格(税別) ：	1,317円～
(税込価格) ：	1,449円～
通常出荷日：	在庫品1日目～

一部当日出荷可能

アルミニウム製高真空L型バルブ手動/ベローズシール XLHシリーズ

SMC

アルミニウム製高真空L型バルブ手動/ベローズシール XLHシリーズ

評価 5.0 平均満足度5.0

圧力バランス構造で、排気方向が自由な高真空L型バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・低い操作トルク（0.5N・m以下）・スプリングによる一定のシール荷重・バルブ開閉時のハンドル高さが一定・開閉確認用インジケータを標準で装備・フッ素に強い・軽量・コンパクト・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
手動真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

通常価格(税別) ：	34,586円～
(税込価格) ：	38,045円～
通常出荷日：	在庫品1日目～

一部当日出荷可能

ステンレス製高真空L型・ストレート型バルブ二段制御単動ベローズ・Oリングシール XMD・XYD

SMC

ステンレス製高真空L型・ストレート型バルブ二段制御単動ベローズ・Oリングシール XMD・XYD

評価 0.0

ポンプの過負荷運転を防止する真空バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバ内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取り付け（XMシリーズ）

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
パイロット真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

通常価格(税別) ：	67,871円～
(税込価格) ：	74,658円～
通常出荷日：	6日目～

アルミ製高真空L型バルブ電磁式ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

SMC

アルミ製高真空L型バルブ電磁式ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

評価 0.0

駆動用エアが不要のため可搬装置への使用が可能な高真空L型バルブ。【特長】・金属摺動部がないためダスト減少・圧力バランス構造で、排気方向自由・電磁弁駆動用の制御電源回路付を標準化・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできます・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率が小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済みます・フッ素に強い・軽量・コンパクト・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減します

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
電磁真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	直動形	-	フランジ

通常価格(税別) ：	32,899円～
(税込価格) ：	36,189円～
通常出荷日：	在庫品1日目～

一部当日出荷可能

アルミニウム製高真空L型バルブ二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ

SMC

アルミニウム製高真空L型バルブ二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ

評価 0.0

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
高真空用電磁弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	直動形	-	フランジ

通常価格(税別) ：	72,929円～
(税込価格) ：	80,222円～
通常出荷日：	19日目

スムーズベントバルブ（供給ライン） XVDシリーズ

SMC

スムーズベントバルブ（供給ライン） XVDシリーズ

評価 0.0

初期給気、主給気ともに流量調整可能なスムーズベントバルブ。【特長】・バルブとニードル弁一体化構造で配管スペースが1/4（従来比）・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減・弁の形式：常時閉（加圧開・スプリングシール）・使用流体：窒素、空気、不活性ガス等・使用温度：5～60℃（ベーキング温度、150℃以下）・質量：0.5kg

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
手動真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	4.6	くい込み継手

通常価格(税別) ：	98,449円～
(税込価格) ：	108,294円～
通常出荷日：	6日目～


メーカー
シリーズ名
CAD
通常価格 (税別)
通常出荷日
種類
用途
設置方法
ポート数
ソレノイドの種類
切換の種類
電磁弁駆動の種類
有効断面積(mm2)
配管口の種類
配管ねじの呼び
接続チューブ径
フランジ種類
フランジ呼び
CV値


メーカー	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC
シリーズ名	ステンレス製高真空L型/ストレート型バルブ常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ	アルミニウム製高真空L型バルブ複動/ベローズシール XLCシリーズ	アルミニウム製高真空L型バルブ二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ	常時閉型高真空電磁弁 XSAシリーズ	アルミ製高真空L型バルブ常時閉 Oリングシール XLFシリーズ	アルミ製高真空L型バルブ常時閉 Oリングシール XLFVシリーズエアオペレートタイプ電磁弁付	ステンレス製高真空L型/ストレート型バルブ複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズ	アルミニウム製高真空L型バルブ複動/Oリングシール XLGシリーズ	ステンレス製高真空L型/ストレート型バルブ手動/ベローズシール XMH・XYHシリーズ	サクションアシストバルブ ZP2Vシリーズ	アルミニウム製高真空L型バルブ手動/ベローズシール XLHシリーズ	ステンレス製高真空L型・ストレート型バルブ二段制御単動ベローズ・Oリングシール XMD・XYD	アルミ製高真空L型バルブ電磁式ベローズ圧力バランス XLSシリーズ	アルミニウム製高真空L型バルブ二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ	スムーズベントバルブ（供給ライン） XVDシリーズ
CAD	2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D
通常価格 (税別)	40,255円～	34,424円～	66,431円～	19,209円～	31,959円～	39,209円～	43,164円～	33,659円～	42,767円～	1,317円～数量別スライド値引	34,586円～	67,871円～	32,899円～	72,929円～	98,449円～
通常出荷日	在庫品1日目～一部当日出荷可能	在庫品1日目～一部当日出荷可能	6日目～	在庫品1日目～一部当日出荷可能	3日目～	19日目	3日目～	6日目～	在庫品1日目～一部当日出荷可能	在庫品1日目～一部当日出荷可能	在庫品1日目～一部当日出荷可能	6日目～	在庫品1日目～一部当日出荷可能	19日目	6日目～
種類	空操真空弁	パイロット真空弁	空操真空弁	高真空用電磁弁	パイロット真空弁	高真空用電磁弁	パイロット真空弁	パイロット真空弁	手動真空弁	空操真空弁	手動真空弁	パイロット真空弁	電磁真空弁	高真空用電磁弁	手動真空弁
用途	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用
設置方法	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト
ポート数	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁
ソレノイドの種類	-	-	-	シングル	-	シングル	-	-	-	-	-	-	シングル	シングル	-
切換の種類	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ
電磁弁駆動の種類	-	-	-	直動形	-	直動形	-	-	-	-	-	-	直動形	直動形	-
有効断面積(mm2)	-	-	-	-	-	-	-	-	-	0.07 ～ 0.78	-	-	-	-	4.6
配管口の種類	フランジ	フランジ	フランジ	Rc / NPT / フェースシール継手 / コンプレッション継手	フランジ	フランジ	フランジ	フランジ	フランジ	M / Rc / NPT / ワンタッチ配管	フランジ	フランジ	フランジ	フランジ	くい込み継手
配管ねじの呼び	-	-	-	1/8 / 1/4 / 3/8	-	-	-	-	-	M5 / 1/8 / M6 / M8	-	-	-	-	1/4
接続チューブ径	-	-	-	-	-	-	-	-	-	φ4 / φ6	-	-	-	-	-
フランジ種類	NW / その他	KF / K	KF / K	-	KF / K	KF / K	KF / K / CF	KF / K	KF / CF	-	KF	KF / K / CF	KF	KF / K	-
フランジ呼び	16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 80	16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 80	25 / 40 / 50 / 63 / 80	-	16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 80	16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 80	16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 80	16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 80	16 / 25 / 40 / 50	-	16 / 25 / 40 / 50	25 / 40 / 50 / 63 / 80	16 / 25	25 / 40 / 50 / 63 / 80	-
CV値	-	-	-	-	-	-	-	-	-	0.0037940379 ～ 0.0422764228	-	-	-	-	84.87