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種類
電磁真空弁

高真空用電磁弁

遅延真空電磁弁

手動真空弁

機械作動真空弁

パイロット真空弁

空操真空弁

関連部品
解除

用途
単体使用

多連
解除

設置方法
ダイレクト

マニホールドベース

サブベース
解除

ポート数
2ポート弁

3ポート弁

5ポート弁
解除

ソレノイドの種類
シングル

ダブル
解除

切換の種類
2位置ノーマルオープン

2位置ノーマルクローズ

その他
解除

電磁弁駆動の種類
直動形

外部パイロット形

エアパイロット

バキュームパイロット
解除

有効断面積(mm2)
A・Bポートの接続ﾁｭｰﾌﾞ径になります
0.07

0.1

0.19

0.2

0.38

0.45

0.55

0.6

0.78

1.5

2.0

2.5

4

4.2

4.5

4.6

5

5.5

7.65

8.3

8.5

10.2

11

15

36

55
解除

配管口の種類
M

Rc

NPT

ワンタッチ配管

フランジ

JXR継手

くい込み継手

フェースシール継手

コンプレッション継手
解除

配管ねじの呼び
M5

1/8

1/4

3/8

1/2

3/4

1

M3

M6

M8
解除

接続チューブ径
φ3

φ4

φ6
解除

フランジ種類
KF

K

CF

NW

JIS

ISO

その他
解除

フランジ呼び
16

25

40

50

63

80

その他

100

150

200

250

300

350

10

15

32

65

20

48

52

400

450

500

70

114
解除

CV値
0.0037940379

0.006

0.010298103

0.011

0.02

0.020596206

0.025

0.03

0.0422764228

0.05

0.08

0.12

0.17

0.23

0.27

0.28

0.33

0.45

0.47

0.57

0.6

0.76

1.05

1.6

2

2.7

3

4

7

10

15

17

20

27

30

50

84.87
解除

メーカー
SMC (8)

コガネイ (0)

アズワン (0)

コンサス (0)

アリオス (0)

ベン (0)

入江工研 (0)

ＥＤＷＡＲＤＳ (0)

日本精器 (0)

フジ・テクノロジー (0)

アルバック (0)

佐藤真空 (0)

日本ピスコ (0)

コンバム（旧：妙徳） (0)

ＣＫＤ (0)

VAT (0)
解除
CAD
2D

3D
解除

SMC 真空バルブ（フランジ種類：K）

8件

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出荷日:

アルミニウム製高真空L型バルブ複動/ベローズシール XLCシリーズ

SMC

アルミニウム製高真空L型バルブ複動/ベローズシール XLCシリーズ

評価 0.0

【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
パイロット真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

通常価格(税別) ：	102,186円～
(税込価格) ：	112,405円～
通常出荷日：	19日目

アルミニウム製高真空L型バルブ二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ

SMC

アルミニウム製高真空L型バルブ二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ

評価 0.0

ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・エアオペレートタイプ/電磁弁付き・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む・フッ素に強い・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・軽量・コンパクト

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
空操真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

通常価格(税別) ：	139,670円～
(税込価格) ：	153,637円～
通常出荷日：	6日目～

アルミ製高真空L型バルブ常時閉 Oリングシール XLFシリーズ

SMC

アルミ製高真空L型バルブ常時閉 Oリングシール XLFシリーズ

評価 0.0

【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
パイロット真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

通常価格(税別) ：	86,889円～
(税込価格) ：	95,578円～
通常出荷日：	19日目

アルミ製高真空L型バルブ常時閉 Oリングシール XLFVシリーズエアオペレートタイプ電磁弁付

SMC

アルミ製高真空L型バルブ常時閉 Oリングシール XLFVシリーズエアオペレートタイプ電磁弁付

評価 0.0

【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
高真空用電磁弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	直動形	-	フランジ

通常価格(税別) ：	91,750円～
(税込価格) ：	100,925円～
通常出荷日：	19日目

ステンレス製高真空L型/ストレート型バルブ複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズ

SMC

ステンレス製高真空L型/ストレート型バルブ複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズ

評価 0.0

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・圧力バランス構造・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）・軽量・コンパクト

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
パイロット真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

通常価格(税別) ：	115,301円～
(税込価格) ：	126,831円～
通常出荷日：	19日目

アルミニウム製高真空L型バルブ複動/Oリングシール XLGシリーズ

SMC

アルミニウム製高真空L型バルブ複動/Oリングシール XLGシリーズ

評価 0.0

【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
パイロット真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

通常価格(税別) ：	90,253円～
(税込価格) ：	99,278円～
通常出荷日：	19日目

ステンレス製高真空L型・ストレート型バルブ二段制御単動ベローズ・Oリングシール XMD・XYD

SMC

ステンレス製高真空L型・ストレート型バルブ二段制御単動ベローズ・Oリングシール XMD・XYD

評価 0.0

ポンプの過負荷運転を防止する真空バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバ内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取り付け（XMシリーズ）

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
パイロット真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

通常価格(税別) ：	160,205円～
(税込価格) ：	176,226円～
通常出荷日：	19日目

アルミニウム製高真空L型バルブ二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ

SMC

アルミニウム製高真空L型バルブ二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ

評価 0.0

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
高真空用電磁弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	直動形	-	フランジ

通常価格(税別) ：	155,104円～
(税込価格) ：	170,614円～
通常出荷日：	19日目


メーカー
シリーズ名
CAD
通常価格 (税別)
通常出荷日
種類
用途
設置方法
ポート数
ソレノイドの種類
切換の種類
電磁弁駆動の種類
有効断面積(mm2)
配管口の種類
配管ねじの呼び
接続チューブ径
フランジ種類
フランジ呼び
CV値


メーカー	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC
シリーズ名	アルミニウム製高真空L型バルブ複動/ベローズシール XLCシリーズ	アルミニウム製高真空L型バルブ二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ	アルミ製高真空L型バルブ常時閉 Oリングシール XLFシリーズ	アルミ製高真空L型バルブ常時閉 Oリングシール XLFVシリーズエアオペレートタイプ電磁弁付	ステンレス製高真空L型/ストレート型バルブ複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズ	アルミニウム製高真空L型バルブ複動/Oリングシール XLGシリーズ	ステンレス製高真空L型・ストレート型バルブ二段制御単動ベローズ・Oリングシール XMD・XYD	アルミニウム製高真空L型バルブ二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ
CAD	2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D			2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D
通常価格 (税別)	102,186円～	139,670円～	86,889円～	91,750円～	115,301円～	90,253円～	160,205円～	155,104円～
通常出荷日	19日目	6日目～	19日目	19日目	19日目	19日目	19日目	19日目
種類	パイロット真空弁	空操真空弁	パイロット真空弁	高真空用電磁弁	パイロット真空弁	パイロット真空弁	パイロット真空弁	高真空用電磁弁
用途	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用
設置方法	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト
ポート数	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁
ソレノイドの種類	-	-	-	シングル	-	-	-	シングル
切換の種類	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ
電磁弁駆動の種類	-	-	-	直動形	-	-	-	直動形
有効断面積(mm2)	-	-	-	-	-	-	-	-
配管口の種類	フランジ	フランジ	フランジ	フランジ	フランジ	フランジ	フランジ	フランジ
配管ねじの呼び	-	-	-	-	-	-	-	-
接続チューブ径	-	-	-	-	-	-	-	-
フランジ種類	K	K	K	K	K	K	K	K
フランジ呼び	63 / 80	63 / 80	63 / 80	63	63 / 80	63 / 80	63 / 80	63 / 80
CV値	-	-	-	-	-	-	-	-