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種類
電磁真空弁

高真空用電磁弁

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手動真空弁

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空操真空弁

関連部品
解除

用途
単体使用

多連
解除

設置方法
ダイレクト

マニホールドベース

サブベース
解除

ポート数
2ポート弁

3ポート弁

5ポート弁
解除

ソレノイドの種類
シングル

ダブル
解除

切換の種類
2位置ノーマルオープン

2位置ノーマルクローズ

その他
解除

電磁弁駆動の種類
直動形

外部パイロット形

エアパイロット

バキュームパイロット
解除

有効断面積(mm2)
A・Bポートの接続ﾁｭｰﾌﾞ径になります
0.07

0.1

0.19

0.2

0.38

0.45

0.55

0.6

0.78

1.5

2.0

2.5

4

4.2

4.5

4.6

5

5.5

7.65

8.3

8.5

10.2

11

15

36

55
解除

配管口の種類
M

Rc

NPT

ワンタッチ配管

フランジ

JXR継手

くい込み継手

フェースシール継手

コンプレッション継手
解除

配管ねじの呼び
M5

1/8

1/4

3/8

1/2

3/4

1

M3

M6

M8
解除

接続チューブ径
φ3

φ4

φ6
解除

フランジ種類
KF

K

CF

NW

JIS

ISO

その他
解除

フランジ呼び
16

25

40

50

63

80

その他

100

150

200

250

300

350

10

15

32

65

20

48

52

400

450

500

70

114
解除

CV値
0.0037940379

0.006

0.010298103

0.011

0.02

0.020596206

0.025

0.03

0.0422764228

0.05

0.08

0.12

0.17

0.23

0.27

0.28

0.33

0.45

0.47

0.57

0.6

0.76

1.05

1.6

2

2.7

3

4

7

10

15

17

20

27

30

50

84.87
解除

メーカー
コガネイ (7)

SMC (5)

ＣＫＤ (3)

アリオス (2)

アズワン (0)

コンサス (0)

ベン (0)

入江工研 (0)

ＥＤＷＡＲＤＳ (0)

日本精器 (0)

フジ・テクノロジー (0)

アルバック (0)

佐藤真空 (0)

日本ピスコ (0)

コンバム（旧：妙徳） (0)

VAT (0)
解除
CAD
2D

3D
解除

SMC 真空バルブ（ソレノイドの種類：シングル）

5件

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出荷日:

常時閉型高真空電磁弁 XSAシリーズ

SMC

常時閉型高真空電磁弁 XSAシリーズ

評価 0.0

発塵を低減し、シール性能が向上した常時閉型高真空電磁弁。【特長】・難燃性がある（UL94V-0準拠）・2種の継手（フェースシール継手・コンプレッション継手）、めねじ（Rc、NPT）を用意・スプリングを鉄心摺動部からボディ部へ移動することによりスプリングの接触による発塵を低減させました・大きなスプリング力で確実にシール・消費電力※：4.5W（サイズ1）/7W（サイズ2）/10.5W（サイズ3）（※DC仕様/B種の場合です。）・使用温度範囲：5～60℃

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
高真空用電磁弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	直動形	-	Rc / NPT / フェースシール継手 / コンプレッション継手

通常価格(税別) ：	19,209円～
(税込価格) ：	21,130円～
通常出荷日：	在庫品1日目～

一部当日出荷可能

アルミニウム製高真空L型バルブ常時閉/ベローズシール XLAVシリーズ電磁弁付

SMC

アルミニウム製高真空L型バルブ常時閉/ベローズシール XLAVシリーズ電磁弁付

評価 0.0

アウトガスが少ない真空レギュレータ。【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）・メンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れる

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
高真空用電磁弁	単体使用	ダイレクト	3ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	エアパイロット	-	フランジ

通常価格(税別) ：	40,185円～
(税込価格) ：	44,204円～
通常出荷日：	19日目

アルミ製高真空L型バルブ常時閉 Oリングシール XLFVシリーズエアオペレートタイプ電磁弁付

SMC

アルミ製高真空L型バルブ常時閉 Oリングシール XLFVシリーズエアオペレートタイプ電磁弁付

評価 0.0

【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
高真空用電磁弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	直動形	-	フランジ

通常価格(税別) ：	39,209円～
(税込価格) ：	43,130円～
通常出荷日：	19日目

アルミ製高真空L型バルブ電磁式ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

SMC

アルミ製高真空L型バルブ電磁式ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

評価 0.0

駆動用エアが不要のため可搬装置への使用が可能な高真空L型バルブ。【特長】・金属摺動部がないためダスト減少・圧力バランス構造で、排気方向自由・電磁弁駆動用の制御電源回路付を標準化・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできます・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率が小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済みます・フッ素に強い・軽量・コンパクト・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減します

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
電磁真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	直動形	-	フランジ

通常価格(税別) ：	32,899円～
(税込価格) ：	36,189円～
通常出荷日：	在庫品1日目～

一部当日出荷可能

アルミニウム製高真空L型バルブ二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ

SMC

アルミニウム製高真空L型バルブ二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ

評価 0.0

ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・エアオペレートタイプ/電磁弁付き・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む・フッ素に強い・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・軽量・コンパクト

CAD ：: 2D / 3D

種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
高真空用電磁弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	直動形	-	フランジ

通常価格(税別) ：	72,929円～
(税込価格) ：	80,222円～
通常出荷日：	19日目


メーカー
シリーズ名
CAD
通常価格 (税別)
通常出荷日
種類
用途
設置方法
ポート数
ソレノイドの種類
切換の種類
電磁弁駆動の種類
有効断面積(mm2)
配管口の種類
配管ねじの呼び
接続チューブ径
フランジ種類
フランジ呼び
CV値


メーカー	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC
シリーズ名	常時閉型高真空電磁弁 XSAシリーズ	アルミニウム製高真空L型バルブ常時閉/ベローズシール XLAVシリーズ電磁弁付	アルミ製高真空L型バルブ常時閉 Oリングシール XLFVシリーズエアオペレートタイプ電磁弁付	アルミ製高真空L型バルブ電磁式ベローズ圧力バランス XLSシリーズ	アルミニウム製高真空L型バルブ二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ
CAD	2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D
通常価格 (税別)	19,209円～	40,185円～	39,209円～	32,899円～	72,929円～
通常出荷日	在庫品1日目～一部当日出荷可能	19日目	19日目	在庫品1日目～一部当日出荷可能	19日目
種類	高真空用電磁弁	高真空用電磁弁	高真空用電磁弁	電磁真空弁	高真空用電磁弁
用途	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用	単体使用
設置方法	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト	ダイレクト
ポート数	2ポート弁	3ポート弁	2ポート弁	2ポート弁	2ポート弁
ソレノイドの種類	シングル	シングル	シングル	シングル	シングル
切換の種類	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ	2位置ノーマルクローズ
電磁弁駆動の種類	直動形	エアパイロット	直動形	直動形	直動形
有効断面積(mm2)	-	-	-	-	-
配管口の種類	Rc / NPT / フェースシール継手 / コンプレッション継手	フランジ	フランジ	フランジ	フランジ
配管ねじの呼び	1/8 / 1/4 / 3/8	-	-	-	-
接続チューブ径	-	-	-	-	-
フランジ種類	-	NW / その他	KF / K	KF	KF / K
フランジ呼び	-	16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 80	16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 80	16 / 25	25 / 40 / 50 / 63 / 80
CV値	-	-	-	-	-