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本体/周辺部品
本体

周辺部品
解除

種類
- スライダ
- ロッド
- 回転軸
- 関連部品
解除

ストローク(mm)
4

4.5

8

8.5

10

12

12.5

15

20

20.5

25

30

35

40

50

60

65

70

75

80

100

120

125

150

175

200

250

300

350

400

450

500

550

600

650

700

750

790

800

850

890

900

950

1000

1050

1100

1150

1200

1250

1300

1350

1400

1450

1500

1550

1600

1650

1700

1750

1800

1850

1900

1950

2000

2050

2100

2150

2200

2250

2300

2350

2400

2450

2500

2550

2600

2650

2700

2750

2800

2850

2900

2950

3000

3050

3100

3150

3200

3250

3300

3350

3400

3450

3500

3550

3600

3650

3700

3750

3800

3850

3900

3950

4000

4050
解除

最大可搬質量範囲（水平）(kg)
メーカーにより、算出方法が異なります。詳細は各メーカーの技術データをご確認ください
0～2.0

2.1～5.0

5.1～10.0

10.1～20.0

20.1～50.0

50.1～100.0

100.1～150.0

150.1～
解除

最大可搬質量（水平）(kg)
メーカーにより、算出方法が異なります。詳細は各メーカーの技術データをご確認ください
0.2

0.5

0.75

1

1.5

2

2.4

2.5

3

4

4.4

4.5

5

5.5

6

7

7.3

7.5

8

8.2

9

10

11

11.9

12

13.3

14

15

16

16.6

17

18

18.3

19

20

23

25

26

30

33

33.3

34

35

36.6

39.5

40

43.3

44

45

47

50

55

60

65

67

70

75

80

85

90

95

100

110

120

150

200
解除

最大可搬質量範囲（垂直）(kg)
メーカーにより、算出方法が異なります。詳細は各メーカーの技術データをご確認ください
0～2.0

2.1～5.0

5.1～10.0

10.1～20.0

20.1～50.0

50.1～100.0

100.1～
解除

最大可搬質量（垂直）(kg)
メーカーにより、算出方法が異なります。詳細は各メーカーの技術データをご確認ください
0.05

0.1

0.18

0.2

0.25

0.4

0.5

0.8

1

1.5

2

2.5

3

3.3

3.5

4

4.1

4.5

5

6

6.5

7

7.5

8

8.3

8.5

9

9.1

10

11

11.6

12

12.5

13

14

15

16

16.6

17

18

18.3

18.5

19

20

21

22

23

24

25

27

28.5

29

30

35

37

38

38.3

40

41

42

43

44

45

46

50

51

53

55

72

115
解除

駆動方式
転造ボールねじ

研削ボールねじ

ベルト

ギヤ

すべりねじ

リニアモータ

ラック＆ピニオン
解除

ガイド
なし

あり
解除

リード(mm)
0.01

1

2

2.5

2.86

3

4

5

6

8

10

12

16

20

24

25

25相当

27

30

32

40

42

48

48相当

50

54相当
解除

入力電源
DC24V

AC単相100-115V

AC単相200-230V

AC三相200-230V

AC単相100-120V

AC単相200-240V

DC24V/DC48V
解除

位置検出
インクリメンタル

アブソリュート
解除

入出力種類
NPN

PNP

CC-Link

DeviceNet

Profibus

Ethernet

なし

EtherCAT

IO-Link

PROFINET

INPOS信号
解除

テーブル幅 W1(mm)
19

20

24

24.5

25

28

32

32.2

36

37

39.4

40

40.2

41

42

42.6

45

47

49

50

50.4

52

52.5

53

54

55

56

60

61

64

65

71.7

72

72.4

74

80

81

87

87.4

94

98

100

104

105

108.7

110

119

122

124.7

129

134

135

136

145

146

150

154

156

168

169

179

202

214
解除

ブレーキ
なし

あり
解除

最大推力（範囲）(N)
メーカーにより、算出方法が異なります。詳細は各メーカーの技術データをご確認ください
～100

101～200

201～300

301～500

501～1000

1001～
解除

最大推力(N)
メーカーにより、算出方法が異なります。詳細は各メーカーの技術データをご確認ください
2.5

5

5.2

5.5

6

7.5

10

11

15

18～27

20

24

25

27

29.4

30

35

36

38

40

42

42～65

43

44

45

49

50

51

55

56

58

58.8

60

61

62

68.6

69

70

72

74

75

76

80

84

86

88.2

89

90

98

100

107.8

110

111

113

117

117.6

118

120

121

122

125

130

131

137.2

140

141

147

150

157

169

170

176.4

177

180

186.2

189

193

196

197

200

204

210

213

220

238

245

250

255

270

283

294

300

308

320

330

339

341

347

360

370

385

392

397

400

420

441

450

452

468

477

485

490

500

510

521

539

550

553

588

600

637

640

678

683

694

707

736

833

854

900

970

1012

1020

1050

1058

1388

1910

2100

3343
解除

ノイズフィルタ
なし

あり
解除

テーブル長 L1(mm)
31

44

45

58

59

60

64

65

68

69

70

72

76.4

76.5

78

79

80

81

82

86

88.2

88.5

88.7

90

100

102

102.3

102.5

107.4

108

110

111

113.2

116

116.5

118.5

120

121.5

122

130.3

130.5

131.5

131.7

133.5

135

137

140

142.5

143

150

152

154

155

156.5

156.7

158

159.5

160

167

170

172

174.3

174.5

180

183

188

190

191.5

192

193.5

199.3

199.5

207

213

220

230

266.5

285

291.5

316.5
解除

使用環境
標準

防塵
解除

繰返し位置決め精度(μm)
±0.02

±3

±3（先端部）、±5（上部）

±3（先端部）、±10（上部）

±5

10

±10

±10（先端部）、±20（上部）

15

±15

20

±20

30

±40

50

±50

±60

80

±80

±90

±100

±200
解除

最高速度(mm/sec)
20

33

40

50

70

75

80

85

92

95

100

105

110

120

125

130

135

150

160

166

170

175

180

185

190

200

210

220

225

230

235

240

250

260

270

300

310

320

325

330

340

346

350

360

370

380

390

400

410

415

420

440

450

460

470

475

480

490

500

510

520

540

550

570

580

600

610

620

625

630

640

650

660

700

720

740

750

760

780

800

820

830

850

900

910

930

940

950

1000

1050

1080

1100

1110

1140

1170

1200

1250

1390

1400

1410

1500

1580

1600

1800

1875

2000

2400

3000

45000

54000

63000

66000

72000

75000

78000

84000

90000
解除

メーカー
ミスミ (2)

エコノミーシリーズのみ表示 (0)

SMC (11)

ヤマハ発動機 (0)

ＣＫＤ (0)

オリエンタルモーター (0)

マシンエンジニアリング (0)

コガネイ (0)

TOYO ROBOT（トーヨーロボット） (0)

アイセル (0)
解除
CAD
2D

3D
解除

単軸ロボット（駆動方式：ベルト）

13件

表示件数:

出荷日:

電動アクチュエータスライダタイプベルト駆動 LEFBシリーズ ACサーボモータ LECS□

SMC

電動アクチュエータスライダタイプベルト駆動 LEFBシリーズ ACサーボモータ LECS□

評価 0.0

【特長】・本体設置が容易/設置工数削減カバー等の外装部品を外すことなく、本体設置が可能・オートスイッチによるテーブルの位置検出が可能・ボディ両側面に最大4箇所取付可能・ベルト駆動

CAD ：: 2D / 3D

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	スライダ	300 ～ 3000	2.1～5.0 / 10.1～20.0 / 20.1～50.0	5 ～ 25	-	-	ベルト	あり

通常価格(税別) ：	72,844円～
通常出荷日：	18日目～

電動アクチュエータ薄形スライダタイプカムフォロアガイド形 LEMCシリーズステップモータ

SMC

電動アクチュエータ薄形スライダタイプカムフォロアガイド形 LEMCシリーズステップモータ

評価 0.0

【特長】・薄形低重心ベルト駆動とガイド部のオフセット構造によりテーブル高さを薄形化・エアシリンダライクの端々制御（中間停止12点可能）。数値入力による簡単位置設定・従来品E-MY2シリーズと取付互換性があります・高いメンテナンス性・モータ取付位置：上下、左右選択可能・リミット確認用、中間信号確認用に無接点オートスイッチ取付可能

CAD ：: 2D / 3D

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	スライダ	50 ～ 2000	5.1～10.0 / 10.1～20.0	10 ～ 20	-	-	ベルト	あり

通常価格(税別) ：	69,954円～
通常出荷日：	19日目

電動アクチュエータスライダタイプベルト駆動モータレス仕様 LEFBシリーズ

SMC

電動アクチュエータスライダタイプベルト駆動モータレス仕様 LEFBシリーズ

評価 0.0

電動アクチュエータスライダタイプベルト駆動モータレス仕様 LEFBシリーズです。【特長】・使い慣れたモータ・ドライバとの組合わせが可能です

CAD ：: 2D / 3D

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	スライダ	300 ～ 3000	2.1～5.0 / 10.1～20.0 / 20.1～50.0	5 ～ 25	-	-	ベルト	あり

通常価格(税別) ：	50,107円～
通常出荷日：	6日目～

電動アクチュエータガイドロッドスライダベルト駆動 LELシリーズステップモータ

SMC

電動アクチュエータガイドロッドスライダベルト駆動 LELシリーズステップモータ

評価 0.0

【特長】・薄形低重心・高精度/高剛性・設置工数削減・質量約37％減・ワークのモータへの干渉なし・ベルト駆動

CAD ：: 2D / 3D

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	スライダ	100 ～ 1000	2.1～5.0	3 ～ 5	-	-	ベルト	あり

通常価格(税別) ：	29,027円～
通常出荷日：	6日目～

電動アクチュエータ薄形スライダタイプリニアガイド1軸形・2軸形 LEMH/LEMHTシリーズ

SMC

電動アクチュエータ薄形スライダタイプリニアガイド1軸形・2軸形 LEMH/LEMHTシリーズ

評価 0.0

CAD ：: 2D / 3D

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	スライダ	50 ～ 1500	5.1～10.0 / 10.1～20.0	10 ～ 20	-	-	ベルト	あり

通常価格(税別) ：	83,554円～
通常出荷日：	19日目

電動アクチュエータスライダタイプベルト駆動 LEFBシリーズステップモータ・サーボモータ

SMC

電動アクチュエータスライダタイプベルト駆動 LEFBシリーズステップモータ・サーボモータ

評価 0.0

SMC製の単軸ロボットスライダタイプの電動アクチュエータです。

CAD ：: 2D / 3D

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	スライダ	300 ～ 2000	0～2.0 / 2.1～5.0 / 5.1～10.0 / 10.1～20.0	1 ～ 19	-	-	ベルト	あり

通常価格(税別) ：	40,289円～
通常出荷日：	6日目～

電動アクチュエータ高剛性スライダタイプベルト駆動 LEJBシリーズ ACサーボモータ LECS□

SMC

電動アクチュエータ高剛性スライダタイプベルト駆動 LEJBシリーズ ACサーボモータ LECS□

評価 0.0

【特長】・薄形低重心・高精度/高剛性・設置工数削減・質量約37％減・ワークのモータへの干渉なし・ベルト駆動

CAD ：: 2D / 3D

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	スライダ	200 ～ 3000	5.1～10.0 / 10.1～20.0 / 20.1～50.0	10 ～ 30	-	-	ベルト	あり

通常価格(税別) ：	170,798円～
通常出荷日：	6日目～

単軸ロボットＲＳＢ１

ミスミ

単軸ロボットＲＳＢ１

評価 0.0

ベルト駆動タイプ（サーボモータ仕様）最大可搬質量：水平10kg、ストローク：150～2550mm、最高速度：1875mm/sec

CAD ：: 2D / 3D

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	スライダ	150 ～ 2550	5.1～10.0	10	-	-	ベルト	あり

通常出荷日：	15日目

電動アクチュエータ高剛性スライダタイプベルト駆動 LEJBシリーズ ACサーボモータ LECY□

SMC

電動アクチュエータ高剛性スライダタイプベルト駆動 LEJBシリーズ ACサーボモータ LECY□

評価 0.0

【特長】・薄形低重心・高精度/高剛性・設置工数削減・質量約37％減・ワークのモータへの干渉なし・ベルト駆動

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	スライダ	200 ～ 3000	5.1～10.0 / 10.1～20.0 / 20.1～50.0	10 ～ 30	-	-	ベルト	あり

通常価格(税別) ：	178,876円～
通常出荷日：	18日目～

電動アクチュエータスライダタイプベルト駆動 LEFBシリーズ ACサーボモータ LECY□

SMC

電動アクチュエータスライダタイプベルト駆動 LEFBシリーズ ACサーボモータ LECY□

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CAD ：: 2D / 3D

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	スライダ	300 ～ 3000	2.1～5.0 / 10.1～20.0 / 20.1～50.0	5 ～ 25	-	-	ベルト	あり

通常価格(税別) ：	86,954円～
通常出荷日：	19日目

電動アクチュエータ薄形スライダタイプ基本形 LEMBシリーズステップモータ

SMC

電動アクチュエータ薄形スライダタイプ基本形 LEMBシリーズステップモータ

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【特長】・薄形低重心ベルト駆動とガイド部のオフセット構造によりテーブル高さを薄形化・エアシリンダライクの端々制御（中間停止12点可能）・数値入力による簡単位置設定・従来品E-MY2シリーズと取付互換性があります・様々なガイドとの組み合わせが可能・モータ取付位置：上下、左右選択可能・リミット確認用、中間信号確認用に無接点オートスイッチ取付可能！

CAD ：: 2D / 3D

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	スライダ	50 ～ 2000	5.1～10.0 / 10.1～20.0	6 ～ 11	-	-	ベルト	あり

通常価格(税別) ：	38,717円～
通常出荷日：	19日目

バッテリレスアブソリュートエンコーダ付電動アクチュエータスライダタイプベルト駆動

SMC

バッテリレスアブソリュートエンコーダ付電動アクチュエータスライダタイプベルト駆動

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【特長】・停止位置からの再始動が可能・電源復帰時の運転再開を容易に！・バッテリ非搭載によりメンテナンス軽減

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	スライダ	900 ～ 2000	5.1～10.0 / 10.1～20.0	10 ～ 19	-	-	ベルト	あり

通常価格(税別) ：	83,719円～
通常出荷日：	19日目

単軸ロボットＲＳＢ２

ミスミ

単軸ロボットＲＳＢ２

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ベルト駆動タイプ（サーボモータ仕様）最大可搬質量：水平20kg、ストローク：150～3050mm、最高速度：1875mm/sec

CAD ：: 2D / 3D

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	スライダ	150 ～ 3050	10.1～20.0	20	-	-	ベルト	あり

通常出荷日：	15日目


メーカー
シリーズ名
CAD
通常価格 (税別)
通常出荷日
本体/周辺部品
種類
ストローク(mm)
最大可搬質量範囲（水平）(kg)
最大可搬質量（水平）(kg)
最大可搬質量範囲（垂直）(kg)
最大可搬質量（垂直）(kg)
駆動方式
ガイド
リード(mm)
入力電源
位置検出
入出力種類
テーブル幅 W1(mm)
ブレーキ
最大推力（範囲）(N)
最大推力(N)
ノイズフィルタ
テーブル長 L1(mm)
使用環境
繰返し位置決め精度(μm)
最高速度(mm/sec)


メーカー	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	ミスミ	SMC	SMC	SMC	SMC	ミスミ
シリーズ名	電動アクチュエータスライダタイプベルト駆動 LEFBシリーズ ACサーボモータ LECS□	電動アクチュエータ薄形スライダタイプカムフォロアガイド形 LEMCシリーズステップモータ	電動アクチュエータスライダタイプベルト駆動モータレス仕様 LEFBシリーズ	電動アクチュエータガイドロッドスライダベルト駆動 LELシリーズステップモータ	電動アクチュエータ薄形スライダタイプリニアガイド1軸形・2軸形 LEMH/LEMHTシリーズ	電動アクチュエータスライダタイプベルト駆動 LEFBシリーズステップモータ・サーボモータ	電動アクチュエータ高剛性スライダタイプベルト駆動 LEJBシリーズ ACサーボモータ LECS□	単軸ロボットＲＳＢ１	電動アクチュエータ高剛性スライダタイプベルト駆動 LEJBシリーズ ACサーボモータ LECY□	電動アクチュエータスライダタイプベルト駆動 LEFBシリーズ ACサーボモータ LECY□	電動アクチュエータ薄形スライダタイプ基本形 LEMBシリーズステップモータ	バッテリレスアブソリュートエンコーダ付電動アクチュエータスライダタイプベルト駆動	単軸ロボットＲＳＢ２
CAD	2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D	2D / 3D		2D / 3D	2D / 3D		2D / 3D
通常価格 (税別)	72,844円～	69,954円～	50,107円～	29,027円～	83,554円～	40,289円～	170,798円～	-	178,876円～	86,954円～	38,717円～	83,719円～	-
通常出荷日	18日目～	19日目	6日目～	6日目～	19日目	6日目～	6日目～	15日目	18日目～	19日目	19日目	19日目	15日目
本体/周辺部品	本体	本体	本体	本体	本体	本体	本体	本体	本体	本体	本体	本体	本体
種類	スライダ	スライダ	スライダ	スライダ	スライダ	スライダ	スライダ	スライダ	スライダ	スライダ	スライダ	スライダ	スライダ
ストローク(mm)	300 ～ 3000	50 ～ 2000	300 ～ 3000	100 ～ 1000	50 ～ 1500	300 ～ 2000	200 ～ 3000	150 ～ 2550	200 ～ 3000	300 ～ 3000	50 ～ 2000	900 ～ 2000	150 ～ 3050
最大可搬質量範囲（水平）(kg)	2.1～5.0 / 10.1～20.0 / 20.1～50.0	5.1～10.0 / 10.1～20.0	2.1～5.0 / 10.1～20.0 / 20.1～50.0	2.1～5.0	5.1～10.0 / 10.1～20.0	0～2.0 / 2.1～5.0 / 5.1～10.0 / 10.1～20.0	5.1～10.0 / 10.1～20.0 / 20.1～50.0	5.1～10.0	5.1～10.0 / 10.1～20.0 / 20.1～50.0	2.1～5.0 / 10.1～20.0 / 20.1～50.0	5.1～10.0 / 10.1～20.0	5.1～10.0 / 10.1～20.0	10.1～20.0
最大可搬質量（水平）(kg)	5 ～ 25	10 ～ 20	5 ～ 25	3 ～ 5	10 ～ 20	1 ～ 19	10 ～ 30	10	10 ～ 30	5 ～ 25	6 ～ 11	10 ～ 19	20
最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-
最大可搬質量（垂直）(kg)	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-
駆動方式	ベルト	ベルト	ベルト	ベルト	ベルト	ベルト	ベルト	ベルト	ベルト	ベルト	ベルト	ベルト	ベルト
ガイド	あり	あり	あり	あり	あり	あり	あり	あり	あり	あり	あり	あり	あり
リード(mm)	54相当	48相当	54相当	48相当	48相当	48相当	27 ～ 42	25相当	27 ～ 42	54相当	48相当	48	25相当
入力電源	-	DC24V	-	DC24V	DC24V	DC24V	-	AC単相100-115V / AC単相200-230V	-	-	DC24V	DC24V	AC単相100-115V / AC単相200-230V
位置検出	インクリメンタル / アブソリュート	インクリメンタル	-	インクリメンタル	インクリメンタル	インクリメンタル	インクリメンタル / アブソリュート	インクリメンタル / アブソリュート	アブソリュート	アブソリュート	インクリメンタル	アブソリュート	インクリメンタル / アブソリュート
入出力種類	-	NPN / PNP / Ethernet / なし / EtherCAT / PROFINET	-	NPN / PNP / DeviceNet / Ethernet / なし / EtherCAT / IO-Link / PROFINET	NPN / PNP / Ethernet / なし / EtherCAT / IO-Link / PROFINET	NPN / PNP / DeviceNet / Ethernet / なし / EtherCAT / IO-Link / PROFINET	-	-	-	-	NPN / PNP / DeviceNet / Ethernet / なし / EtherCAT / PROFINET	NPN / CC-Link / なし / EtherCAT	-
テーブル幅 W1(mm)	50 ～ 74	72.4 ～ 108.7	50 ～ 74	56	50.4 ～ 124.7	39.4 ～ 60	105 ～ 129	100	105 ～ 129	50 ～ 74	61	50 ～ 60	146
ブレーキ	なし / あり	なし / あり	なし	なし / あり	なし / あり	なし / あり	なし / あり	なし	なし / あり	なし / あり	なし / あり	なし / あり	なし
最大推力（範囲）(N)	～100 / 101～200 / 201～300	～100 / 101～200	～100 / 101～200 / 201～300	～100	～100 / 101～200	-	～100 / 101～200 / 201～300	-	～100 / 101～200 / 201～300	～100 / 101～200 / 201～300	～100 / 101～200	～100 / 101～200	-
最大推力(N)	49 ～ 245	98 ～ 196	49 ～ 245	29.4 ～ 49	98 ～ 196	-	98 ～ 294	-	98 ～ 294	49 ～ 245	58.8 ～ 107.8	98 ～ 186.2	-
ノイズフィルタ	なし	なし	なし	なし	なし	なし	なし	-	なし	なし	なし	なし	-
テーブル長 L1(mm)	102 ～ 170	70 ～ 100	102 ～ 170	64 ～ 82	70 ～ 100	72 ～ 122	160 ～ 172	90	160 ～ 172	102 ～ 170	78	102 ～ 122	90
使用環境	標準	標準	標準	標準 / 防塵	標準	標準	標準	標準	標準	標準	標準	標準	標準
繰返し位置決め精度(μm)	±60	±80	±60	±80	±80	±80	±40	±40	±40	±60	±80	80	±40
最高速度(mm/sec)	2000	1000	2000	500 ～ 1000	2000	1100 ～ 2000	2000 ～ 3000	1875	2000 ～ 3000	2000	1000	1400 ～ 1500	1875