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単軸ロボット(入力電源:AC単相200-230V)

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  • 電動スライダ EZSシリーズ

    オリエンタルモーター

    電動スライダ EZSシリーズ

    評価 0.0
    EZSシリーズは、小型、高剛性、簡易防塵構造の電動スライダです。モーター部にαSTEP AZシリーズ、ARシリーズを搭載。ステッピングモーターならではの、高応答、低振動、ハンチングなしの動きを電動スライダで実現。【特長】・高剛性で薄型ガイド・モーター折返しによる省スペース化・簡易防塵構造で異物の侵入を防止、発塵を抑制・クリーンルーム対応
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 50 ~ 850 5.1~10.0 / 10.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.0 7.5 ~ 60 2.1~5.0 / 5.1~10.0 / 10.1~20.0 / 20.1~50.0 3.5 ~ 30 転造ボールねじ あり
    通常価格(税別) : 48,106円~
    通常出荷日 : 13日目~
  • 電動シリンダ EACシリーズ

    オリエンタルモーター

    電動シリンダ EACシリーズ

    評価 0.0
    モーター部に、高効率で省エネルギーなαSTEP AZシリーズ/ARシリーズを搭載した電動シリンダです。アクチュエータ部はストレートタイプのほか、全長を短くし省スペース化に貢献できる折返しタイプをご用意しました。【特長】・小型で高推力、幅広い用途に対応・運転条件に左右されない性能・ベルト交換がかんたん(折返しタイプ)
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 50 ~ 300 10.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.0 15 ~ 60 5.1~10.0 / 10.1~20.0 / 20.1~50.0 7 ~ 30 転造ボールねじ なし / あり
    通常価格(税別) : 33,300円~
    通常出荷日 : 13日目~
  • 電動スライダ EASシリーズ

    オリエンタルモーター

    電動スライダ EASシリーズ

    モーター部に、高効率で省エネルギーなαSTEP AZシリーズ/ARシリーズを搭載した電動シリンダです。アクチュエータ部はストレートタイプのほか、全長を短くし省スペース化に貢献できる折返しタイプをご用意しました。【特長】・運転条件に左右されない性能・小型で高強度、幅広い用途に対応・ベルト交換がかんたん(折返しタイプ)
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 50 ~ 850 10.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.0 15 ~ 60 5.1~10.0 / 10.1~20.0 / 20.1~50.0 7 ~ 30 転造ボールねじ あり
    通常価格(税別) : 47,278円~
    通常出荷日 : 13日目~
  • ACサーボモータドライバ インクリメンタルタイプ LECSAシリーズ/アブソリュートタイプ

    SMC

    ACサーボモータドライバ インクリメンタルタイプ LECSAシリーズ/アブソリュートタイプ

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    表示設定機能付の電動アクチュエータ。【特長】・パルス入力タイプのモータドライバ・対応モータ容量:100W、200W、400W・対応エンコーダ:インクリメンタルタイプ、アブソリュートタイプ・オートゲインチューニングによるサーボ調整
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    周辺部品 - - - - - - - -
    通常価格(税別) : 52,899円~
    通常出荷日 : 6日目~
  • 単軸ロボットRSB1

    ミスミ

    単軸ロボットRSB1

    評価 0.0
    ベルト駆動タイプ(サーボモータ仕様)最大可搬質量:水平10kg、ストローク:150~2550mm、最高速度:1875mm/sec
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 150 ~ 2550 5.1~10.0 10 - - ベルト あり
    通常出荷日 : 15日目
  • 単軸ロボットRSH1

    ミスミ

    単軸ロボットRSH1

    評価 0.0
    高荷重タイプ(サーボモータ仕様)最大可搬質量:水平40kg/垂直8kg、ストローク:150~800mm、最高速度:1200mm/sec
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 150 ~ 800 10.1~20.0 / 20.1~50.0 12 ~ 40 2.1~5.0 / 5.1~10.0 4 ~ 8 転造ボールねじ -
    通常出荷日 : 15日目
  • 単軸ロボットRSH3

    ミスミ

    単軸ロボットRSH3

    評価 0.0
    高荷重タイプ(サーボモータ仕様)最大可搬質量:水平80kg、ストローク:150~1050mm、最高速度:1200mm/sec
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 150 ~ 1050 20.1~50.0 / 50.1~100.0 30 ~ 80 - - 転造ボールねじ -
    通常出荷日 : 15日目
  • 単軸ロボット専用ポジショナ・コントローラ -サーボモータ用-

    • 数量スライド割引

    ミスミ

    単軸ロボット専用ポジショナ・コントローラ -サーボモータ用-

    評価 0.0
    RSH1/2/3/4/5・RSF4・RSB1/2シリーズ用ポジショナ・コントローラ(サーボモータ用)
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    周辺部品 - - - - - - - -
    通常価格(税別) : 55,600円~
    通常出荷日 : 15日目
  • 単軸ロボットRSH5

    ミスミ

    単軸ロボットRSH5

    評価 0.0
    高荷重タイプ(サーボモータ仕様)最大可搬質量:水平40kg/垂直8kg、ストローク:150~800mm、最高速度:1200mm/sec
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 150 ~ 1050 10.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.0 15 ~ 80 2.1~5.0 / 5.1~10.0 / 10.1~20.0 4 ~ 20 転造ボールねじ あり
    通常出荷日 : 15日目
  • 単軸ロボットクリーン RSH1C

    ミスミ

    単軸ロボットクリーン RSH1C

    評価 0.0
    この商品は土祝含まず4日目出荷品となります大型・高荷重クリーンタイプの単軸ロボット(サーボモータ仕様)ですクリーン度:クラス10(ISO4相当)
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 150 ~ 800 10.1~20.0 / 20.1~50.0 12 ~ 40 2.1~5.0 / 5.1~10.0 4 ~ 8 転造ボールねじ -
    通常出荷日 : 15日目
  • 単軸ロボットクリーン RSH2C

    ミスミ

    単軸ロボットクリーン RSH2C

    評価 0.0
    この商品は土祝含まず4日目出荷品となります大型・高荷重クリーンタイプの単軸ロボット(サーボモータ仕様)ですクリーン度:クラス10(ISO4相当)[RSH2C仕様]最大可搬質量:水平50kg/垂直16kg、ストローク:150~1050mm、最高速度:1800mm/sec、サーボモータ仕様・RSの加速度・移動時間を調べるのに便利! RSサイクルシミュレータはこちら・RSの選定や使用方法、取扱説明書についてはこちらをご参照ください! ・「何を準備したらいいの?」、「非常停止回路の配線方法は?」などRSに関するよくあるお悩みを解決! 
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 150 ~ 1050 10.1~20.0 / 20.1~50.0 20 ~ 50 2.1~5.0 / 5.1~10.0 / 10.1~20.0 4 ~ 16 転造ボールねじ -
    通常出荷日 : 15日目
  • 単軸ロボットRSH2

    ミスミ

    単軸ロボットRSH2

    評価 0.0
    高荷重タイプ(サーボモータ仕様)最大可搬質量:水平50kg/垂直16kg、ストローク:150~1050mm、最高速度:1800mm/sec
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 150 ~ 1050 5.1~10.0 / 10.1~20.0 / 20.1~50.0 7 ~ 50 2.1~5.0 / 5.1~10.0 / 10.1~20.0 4 ~ 16 転造ボールねじ -
    通常出荷日 : 15日目
  • 単軸ロボットRSB2

    ミスミ

    単軸ロボットRSB2

    評価 0.0
    ベルト駆動タイプ(サーボモータ仕様)最大可搬質量:水平20kg、ストローク:150~3050mm、最高速度:1875mm/sec
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 150 ~ 3050 10.1~20.0 20 - - ベルト あり
    通常出荷日 : 15日目
  • 単軸ロボットRSF4

    ミスミ

    単軸ロボットRSF4

    評価 0.0
    この商品は土祝含まず7日目出荷品となります大型・高荷重タイプの単軸ロボット(サーボモータ仕様) 幅省スペースタイプです[RSF4仕様]最大可搬質量:水平80kg/垂直20kg、ストローク:150~1050mm、最高速度:1800mm/sec、サーボモータ仕様・RSの加速度・移動時間を調べるのに便利! RSサイクルシミュレータはこちら・RSの選定や使用方法、取扱説明書についてはこちらをご参照ください! ・「何を準備したらいいの?」、「非常停止回路の配線方法は?」などRSに関するよくあるお悩みを解決! 
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 150 ~ 1050 10.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.0 15 ~ 80 2.1~5.0 / 5.1~10.0 / 10.1~20.0 4 ~ 20 転造ボールねじ あり
    通常出荷日 : 15日目
  • 単軸ロボットクリーン RSH3C

    ミスミ

    単軸ロボットクリーン RSH3C

    評価 0.0
    この商品は土祝含まず4日目出荷品となります大型・高荷重クリーンタイプの単軸ロボット(サーボモータ仕様)ですクリーン度:クラス10(ISO4相当)[RSH3C仕様]最大可搬質量:水平80kg (垂直ではご使用になれません)、ストローク:150~1050mm、最高速度:1200mm/sec、サーボモータ仕様・RSの加速度・移動時間を調べるのに便利! RSサイクルシミュレータはこちら・RSの選定や使用方法、取扱説明書についてはこちらをご参照ください! ・「何を準備したらいいの?」、「非常停止回路の配線方法は?」などRSに関するよくあるお悩みを解決! 
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 150 ~ 1050 20.1~50.0 / 50.1~100.0 30 ~ 80 - - 転造ボールねじ -
    通常出荷日 : 15日目
  • 単軸ロボットRSH4

    ミスミ

    単軸ロボットRSH4

    評価 0.0
    この商品は土祝含まず7日目出荷品となります[RSH4仕様]最大可搬質量:水平60kg/垂直20kg、ストローク:150~1050mm、最高速度:1800mm/sec、サーボモータ仕様・RSの加速度・移動時間を調べるのに便利! RSサイクルシミュレータはこちら・RSの選定や使用方法、取扱説明書についてはこちらをご参照ください! ・「何を準備したらいいの?」、「非常停止回路の配線方法は?」などRSに関するよくあるお悩みを解決! 
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 150 ~ 1050 10.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.0 15 ~ 60 2.1~5.0 / 5.1~10.0 / 10.1~20.0 4 ~ 20 転造ボールねじ あり
    通常出荷日 : 15日目
  • 単軸ロボットメンテナンス品 電源コネクタ

    • 数量スライド割引

    ミスミ

    単軸ロボットメンテナンス品 電源コネクタ

    評価 0.0
    この商品は土祝含まず4日目出荷品となりますC1/C21/C22/P1コントローラ用の電源コネクタです  ・本製品はロボット本体ご注文時、コントローラに付属しています  ・本型式は補修用途等でご検討の際に選択下さい ミスミRSはモータ付き一軸アクチュエータ(電動アクチュエータ)の中でも産業用ロボットのカテゴリに属する商品となります 確実短納期のミスミRSは、他社電動シリンダ・ロボシリンダからの置換えが可能です ◆アクチュエータ総合情報サイトのご案内◆  ミスミアクチュエータの総合情報はこちら  
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    周辺部品 - - - - - - - -
    通常価格(税別) : 2,400
    通常出荷日 : 4日目
メーカー
シリーズ名
CAD
通常価格
(税別)
通常出荷日
本体/周辺部品
種類
ストローク(mm)
最大可搬質量範囲(水平)(kg)
最大可搬質量(水平)(kg)
最大可搬質量範囲(垂直)(kg)
最大可搬質量(垂直)(kg)
駆動方式
ガイド
リード(mm)
入力電源
位置検出
入出力種類
テーブル幅 W1(mm)
ブレーキ
最大推力(範囲)(N)
最大推力(N)
ノイズフィルタ
テーブル長 L1(mm)
使用環境
繰返し位置決め精度(μm)
最高速度(mm/sec)

    電動スライダ EZSシリーズ

      電動シリンダ EACシリーズ

        電動スライダ EASシリーズ

          ACサーボモータドライバ インクリメンタルタイプ LECSAシリーズ/アブソリュートタイプ

            単軸ロボットRSB1

              単軸ロボットRSH1

                単軸ロボットRSH3

                  単軸ロボット専用ポジショナ・コントローラ -サーボモータ用-

                    単軸ロボットRSH5

                      単軸ロボットクリーン RSH1C

                        単軸ロボットクリーン RSH2C

                          単軸ロボットRSH2

                            単軸ロボットRSB2

                              単軸ロボットRSF4

                                単軸ロボットクリーン RSH3C

                                  単軸ロボットRSH4

                                    単軸ロボットメンテナンス品 電源コネクタ

                                    メーカー

                                    オリエンタルモーター

                                    オリエンタルモーター

                                    オリエンタルモーター

                                    SMC

                                    ミスミ

                                    ミスミ

                                    ミスミ

                                    ミスミ

                                    ミスミ

                                    ミスミ

                                    ミスミ

                                    ミスミ

                                    ミスミ

                                    ミスミ

                                    ミスミ

                                    ミスミ

                                    ミスミ

                                    シリーズ名

                                    電動スライダ EZSシリーズ

                                    電動シリンダ EACシリーズ

                                    電動スライダ EASシリーズ

                                    ACサーボモータドライバ インクリメンタルタイプ LECSAシリーズ/アブソリュートタイプ

                                    単軸ロボットRSB1

                                    単軸ロボットRSH1

                                    単軸ロボットRSH3

                                    単軸ロボット専用ポジショナ・コントローラ -サーボモータ用-

                                    単軸ロボットRSH5

                                    単軸ロボットクリーン RSH1C

                                    単軸ロボットクリーン RSH2C

                                    単軸ロボットRSH2

                                    単軸ロボットRSB2

                                    単軸ロボットRSF4

                                    単軸ロボットクリーン RSH3C

                                    単軸ロボットRSH4

                                    単軸ロボットメンテナンス品 電源コネクタ

                                    CAD
                                    • 2D / 3D
                                    • 2D / 3D
                                    • 2D / 3D
                                    • 2D / 3D
                                    • 2D / 3D
                                    • 2D / 3D
                                    • 2D / 3D
                                    • 2D / 3D
                                    • 2D / 3D
                                    • 2D / 3D
                                    • 2D / 3D
                                    • 2D / 3D
                                    • 2D / 3D
                                    通常価格
                                    (税別)

                                    48,106円

                                    33,300円

                                    47,278円

                                    52,899円

                                    -

                                    -

                                    -

                                    55,600円

                                    • 数量別スライド値引

                                    -

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                                    -

                                    2,400円

                                    • 数量別スライド値引
                                    通常出荷日 13日目~ 13日目~ 13日目~ 6日目~ 15日目 15日目 15日目 15日目 15日目 15日目 15日目 15日目 15日目 15日目 15日目 15日目 4日目
                                    本体/周辺部品本体本体本体周辺部品本体本体本体周辺部品本体本体本体本体本体本体本体本体周辺部品
                                    種類スライダスライダスライダ-スライダスライダスライダ-スライダスライダスライダスライダスライダスライダスライダスライダ-
                                    ストローク(mm)50 ~ 85050 ~ 30050 ~ 850-150 ~ 2550150 ~ 800150 ~ 1050-150 ~ 1050150 ~ 800150 ~ 1050150 ~ 1050150 ~ 3050150 ~ 1050150 ~ 1050150 ~ 1050-
                                    最大可搬質量範囲(水平)(kg)5.1~10.0 / 10.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.010.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.010.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.0-5.1~10.010.1~20.0 / 20.1~50.020.1~50.0 / 50.1~100.0-10.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.010.1~20.0 / 20.1~50.010.1~20.0 / 20.1~50.05.1~10.0 / 10.1~20.0 / 20.1~50.010.1~20.010.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.020.1~50.0 / 50.1~100.010.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.0-
                                    最大可搬質量(水平)(kg)7.5 ~ 6015 ~ 6015 ~ 60-1012 ~ 4030 ~ 80-15 ~ 8012 ~ 4020 ~ 507 ~ 502015 ~ 8030 ~ 8015 ~ 60-
                                    最大可搬質量範囲(垂直)(kg)2.1~5.0 / 5.1~10.0 / 10.1~20.0 / 20.1~50.05.1~10.0 / 10.1~20.0 / 20.1~50.05.1~10.0 / 10.1~20.0 / 20.1~50.0--2.1~5.0 / 5.1~10.0--2.1~5.0 / 5.1~10.0 / 10.1~20.02.1~5.0 / 5.1~10.02.1~5.0 / 5.1~10.0 / 10.1~20.02.1~5.0 / 5.1~10.0 / 10.1~20.0-2.1~5.0 / 5.1~10.0 / 10.1~20.0-2.1~5.0 / 5.1~10.0 / 10.1~20.0-
                                    最大可搬質量(垂直)(kg)3.5 ~ 307 ~ 307 ~ 30--4 ~ 8--4 ~ 204 ~ 84 ~ 164 ~ 16-4 ~ 20-4 ~ 20-
                                    駆動方式転造ボールねじ転造ボールねじ転造ボールねじ-ベルト転造ボールねじ転造ボールねじ-転造ボールねじ転造ボールねじ転造ボールねじ転造ボールねじベルト転造ボールねじ転造ボールねじ転造ボールねじ-
                                    ガイドありなし / ありあり-あり---あり---ありあり-あり-
                                    リード(mm)6 ~ 126 ~ 126 ~ 12-25相当6 ~ 205 ~ 20-5 ~ 306 ~ 205 ~ 205 ~ 3025相当5 ~ 305 ~ 205 ~ 30-
                                    入力電源AC単相200-230VAC単相200-230VAC単相200-230VAC単相200-230VAC単相200-230VAC単相200-230VAC単相200-230VAC単相200-230VAC単相200-230VAC単相200-230VAC単相200-230VAC単相200-230VAC単相200-230VAC単相200-230VAC単相200-230VAC単相200-230VAC単相200-230V
                                    位置検出アブソリュートアブソリュートアブソリュートインクリメンタル / アブソリュートインクリメンタル / アブソリュートインクリメンタル / アブソリュートインクリメンタル / アブソリュートインクリメンタル / アブソリュートインクリメンタル / アブソリュートインクリメンタル / アブソリュートインクリメンタル / アブソリュートインクリメンタル / アブソリュートインクリメンタル / アブソリュートインクリメンタル / アブソリュートインクリメンタル / アブソリュートインクリメンタル / アブソリュート-
                                    入出力種類なしなしなし--NPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNet--NPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNet-
                                    テーブル幅 W1(mm)54 ~ 74-36 ~ 87-1008080-1357474801469474110-
                                    ブレーキなし / ありなし / ありなし / あり-なしなし / ありなし-なし / ありなし / ありなし / ありなし / ありなしなし / ありなしなし / あり-
                                    最大推力(範囲)(N)~100 / 101~200 / 301~500~100 / 101~200 / 301~500~100 / 101~200 / 301~500--~100 / 101~200 / 201~300~100 / 101~200 / 301~500-301~500~100 / 101~200 / 201~300~100 / 101~200 / 301~500~100 / 101~200 / 301~500-301~500~100 / 101~200 / 301~500301~500-
                                    最大推力(N)43 ~ 40070 ~ 40070 ~ 400--84 ~ 28384 ~ 339-33984 ~ 28384 ~ 33956 ~ 339-33984 ~ 339339-
                                    ノイズフィルタなしなしなし--なし / ありなし / あり--なし / ありなし / ありなし / あり--なし / あり--
                                    テーブル長 L1(mm)72 ~ 108-65 ~ 80-9078154-9016016078909019086-
                                    使用環境標準標準標準-標準標準標準-標準防塵防塵標準標準標準防塵標準-
                                    繰返し位置決め精度(μm)202020-±40±20±10-±10±20±10±10±40±10±10±10-
                                    最高速度(mm/sec)180 ~ 800300 ~ 600180 ~ 800-1875360 ~ 1200300 ~ 1200-1800360 ~ 1000300 ~ 1000300 ~ 180018751800300 ~ 10001800-
                                    1. 1

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