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単軸ロボット(使用環境:防塵)

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  • 電動アクチュエータ ロッドタイプ モータレス仕様 LEYシリーズ

    SMC

    電動アクチュエータ ロッドタイプ モータレス仕様 LEYシリーズ

    評価 0.0
    【特長】・使い慣れたモータ・ドライバとの組合わせが可能です。
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 ロッド 30 ~ 800 10.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.0 / 150.1~ 18 ~ 200 5.1~10.0 / 10.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.0 / 100.1~ 8 ~ 115 転造ボールねじ あり
    通常価格(税別) : 35,444円~
    通常出荷日 : 6日目~
  • 電動スライドテーブル 薄形タイプ LESシリーズ

    SMC

    電動スライドテーブル 薄形タイプ LESシリーズ

    評価 0.0
    薄形タイプの電動アクチュエータ。【特長】・薄形:LESHと比較しワーク取付面高さ:最大12%減・垂直可搬質量:MAX.50%UP・軽量:最大29%減・最大押当て推力:180N・タクトタイムの短縮(最大加減速度:5,000mm/s2)
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 30 ~ 150 0~2.0 / 2.1~5.0 1 ~ 5 0~2.0 / 2.1~5.0 0.25 ~ 5 すべりねじ あり
    通常価格(税別) : 39,397円~
    通常出荷日 : 6日目~
  • 電動アクチュエータ ガイドロッドスライダ ベルト駆動 LELシリーズ ステップモータ

    SMC

    電動アクチュエータ ガイドロッドスライダ ベルト駆動 LELシリーズ ステップモータ

    評価 0.0
    【特長】・薄形低重心・高精度/高剛性・設置工数削減・質量約37%減・ワークのモータへの干渉なし・ベルト駆動
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 300 2.1~5.0 5 - - ベルト あり
    通常価格(税別) : 69,221
    通常出荷日 : 19日目
  • 電動アクチュエータ ロッドタイプ 耐塵・防滴仕様 LEYシリーズ ACサーボモータ LECS□

    SMC

    電動アクチュエータ ロッドタイプ 耐塵・防滴仕様 LEYシリーズ ACサーボモータ LECS□

    評価 0.0
    【特長】・保護構造:IP65相当(オプション選択)・最大ストローク800mmまで対応可能
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 ロッド 50 ~ 800 20.1~50.0 / 50.1~100.0 / 150.1~ 40 ~ 200 10.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.0 / 100.1~ 19 ~ 115 転造ボールねじ なし
    通常価格(税別) : 126,509円~
    通常出荷日 : 19日目
  • 電動スライドテーブル 高剛性タイプ LESHシリーズ

    SMC

    電動スライドテーブル 高剛性タイプ LESHシリーズ

    評価 0.0
    ガイドレールとテーブルを一体化循環式リニアガイド採用。【特長】・コンパクト・省スペース・体積比61%減・モータをボディに内蔵・対称形Lタイプ:テーブルおよびケーブルの位置がRタイプと反対になり設計の幅が広がります・モータストレート形Dタイプ:幅寸法を短縮、MAX.45%減
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 50 ~ 150 0~2.0 / 2.1~5.0 / 5.1~10.0 / 10.1~20.0 1 ~ 12 0~2.0 / 2.1~5.0 0.25 ~ 4 すべりねじ あり
    通常価格(税別) : 43,561円~
    通常出荷日 : 19日目
  • 電動アクチュエータ ロッドタイプ 耐塵・防滴(IP65相当)仕様 LEY-X5シリーズ

    SMC

    電動アクチュエータ ロッドタイプ 耐塵・防滴(IP65相当)仕様 LEY-X5シリーズ

    評価 0.0
    【特長】・保護構造:IP65相当・最大ストローク500mmまで対応可能
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 ロッド 30 ~ 500 5.1~10.0 / 10.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.0 7 ~ 80 0~2.0 / 2.1~5.0 / 5.1~10.0 / 10.1~20.0 / 20.1~50.0 2 ~ 42 転造ボールねじ なし
    通常価格(税別) : 56,694円~
    通常出荷日 : 19日目
  • 電動アクチュエータ ロッドタイプ 耐塵・防滴(IP65相当)仕様 LEY-X5シリーズ LECS□

    SMC

    電動アクチュエータ ロッドタイプ 耐塵・防滴(IP65相当)仕様 LEY-X5シリーズ LECS□

    評価 0.0
    【特長】・保護構造:IP65相当・最大ストローク500mmまで対応可能
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 ロッド 30 ~ 500 10.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.0 18 ~ 60 5.1~10.0 / 10.1~20.0 / 20.1~50.0 8 ~ 46 転造ボールねじ なし
    通常価格(税別) : 70,931円~
    通常出荷日 : 19日目
  • 電動アクチュエータ ロッドタイプ LEYシリーズ ACサーボモータ LECY□

    SMC

    電動アクチュエータ ロッドタイプ LEYシリーズ ACサーボモータ LECY□

    評価 0.0
    【特長】・高出力モータ(100W/200W/400W)・高速搬送能力向上・高加減速度対応(5,000mm/s2)・アブソリュートエンコーダ搭載・パルス入力/CC-Link直接入力/SSCNETIIIタイプ・繰返し位置決め精度±0.01mm(高精度形)
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 ロッド 30 ~ 800 10.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.0 / 150.1~ 18 ~ 200 5.1~10.0 / 10.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.0 / 100.1~ 8 ~ 115 転造ボールねじ なし
    通常価格(税別) : 70,719円~
    通常出荷日 : 19日目
  • 単軸ロボットクリーン RSH3C

    ミスミ

    単軸ロボットクリーン RSH3C

    評価 0.0
    この商品は土祝含まず4日目出荷品となります大型・高荷重クリーンタイプの単軸ロボット(サーボモータ仕様)ですクリーン度:クラス10(ISO4相当)[RSH3C仕様]最大可搬質量:水平80kg (垂直ではご使用になれません)、ストローク:150~1050mm、最高速度:1200mm/sec、サーボモータ仕様・RSの加速度・移動時間を調べるのに便利! RSサイクルシミュレータはこちら・RSの選定や使用方法、取扱説明書についてはこちらをご参照ください! ・「何を準備したらいいの?」、「非常停止回路の配線方法は?」などRSに関するよくあるお悩みを解決! 
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 150 ~ 1050 20.1~50.0 / 50.1~100.0 30 ~ 80 - - 転造ボールねじ -
    通常出荷日 : 15日目
  • 単軸ロボットクリーン RSH2C

    ミスミ

    単軸ロボットクリーン RSH2C

    評価 0.0
    この商品は土祝含まず4日目出荷品となります大型・高荷重クリーンタイプの単軸ロボット(サーボモータ仕様)ですクリーン度:クラス10(ISO4相当)[RSH2C仕様]最大可搬質量:水平50kg/垂直16kg、ストローク:150~1050mm、最高速度:1800mm/sec、サーボモータ仕様・RSの加速度・移動時間を調べるのに便利! RSサイクルシミュレータはこちら・RSの選定や使用方法、取扱説明書についてはこちらをご参照ください! ・「何を準備したらいいの?」、「非常停止回路の配線方法は?」などRSに関するよくあるお悩みを解決! 
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 150 ~ 1050 10.1~20.0 / 20.1~50.0 20 ~ 50 2.1~5.0 / 5.1~10.0 / 10.1~20.0 4 ~ 16 転造ボールねじ -
    通常出荷日 : 15日目
  • 単軸ロボットクリーン RSH1C

    ミスミ

    単軸ロボットクリーン RSH1C

    評価 0.0
    この商品は土祝含まず4日目出荷品となります大型・高荷重クリーンタイプの単軸ロボット(サーボモータ仕様)ですクリーン度:クラス10(ISO4相当)
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 150 ~ 800 10.1~20.0 / 20.1~50.0 12 ~ 40 2.1~5.0 / 5.1~10.0 4 ~ 8 転造ボールねじ -
    通常出荷日 : 15日目
  • 単軸ロボットクリーン RS1C

    ミスミ

    単軸ロボットクリーン RS1C

    評価 0.0
    この商品は土祝含まず4日目出荷品となりますクリーンタイプの単軸ロボット(ステッピングモータ仕様)ですクリーン度:クラス10(ISO4相当)[RS1C仕様]最大可搬質量:水平6kg/垂直4kg、ストローク:50~400mm、最高速度:600mm/sec、ステッピングモータ仕様・RSの加速度・移動時間を調べるのに便利! RSサイクルシミュレータはこちら・RSの選定や使用方法、取扱説明書についてはこちらをご参照ください! ・「何を準備したらいいの?」、「非常停止回路の配線方法は?」などRSに関するよくあるお悩みを解決! 
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 50 ~ 400 0~2.0 / 2.1~5.0 / 5.1~10.0 2 ~ 6 0~2.0 / 2.1~5.0 1 ~ 4 転造ボールねじ -
    通常出荷日 : 10日目
  • 単軸ロボットクリーン RS2C

    ミスミ

    単軸ロボットクリーン RS2C

    評価 0.0
    この商品は土祝含まず4日目出荷品となりますクリーンタイプの単軸ロボット(ステッピングモータ仕様)ですクリーン度:クラス10(ISO4相当)[RS2C仕様]最大可搬質量:水平10kg/垂直2kg、ストローク:50~800mm、最高速度:1000mm/sec、ステッピングモータ仕様・RSの加速度・移動時間を調べるのに便利! RSサイクルシミュレータはこちら・RSの選定や使用方法、取扱説明書についてはこちらをご参照ください! ・「何を準備したらいいの?」、「非常停止回路の配線方法は?」などRSに関するよくあるお悩みを解決! 
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 50 ~ 800 2.1~5.0 / 5.1~10.0 4 ~ 10 0~2.0 1 ~ 2 転造ボールねじ -
    通常出荷日 : 10日目
  • 単軸ロボットクリーン RS3C

    ミスミ

    単軸ロボットクリーン RS3C

    評価 0.0
    この商品は土祝含まず4日目出荷品となりますクリーンタイプの単軸ロボット(ステッピングモータ仕様)ですクリーン度:クラス10(ISO4相当)[RS3C仕様]最大可搬質量:水平12kg/垂直4kg、ストローク:50~800mm、最高速度:1000mm/sec、ステッピングモータ仕様・RSの加速度・移動時間を調べるのに便利! RSサイクルシミュレータはこちら・RSの選定や使用方法、取扱説明書についてはこちらをご参照ください! ・「何を準備したらいいの?」、「非常停止回路の配線方法は?」などRSに関するよくあるお悩みを解決! 
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 50 ~ 800 5.1~10.0 / 10.1~20.0 6 ~ 12 0~2.0 / 2.1~5.0 2 ~ 4 転造ボールねじ -
    通常出荷日 : 10日目
  • バッテリレス アブソリュートエンコーダ付 電動スライドテーブル 高剛性タイプ LESHシリーズ

    SMC

    バッテリレス アブソリュートエンコーダ付 電動スライドテーブル 高剛性タイプ LESHシリーズ

    評価 0.0
    【特長】・停止位置からの再始動が可能・電源復帰時の運転再開を容易に!・バッテリ非搭載によりメンテナンス軽減
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 100 5.1~10.0 8 0~2.0 2 すべりねじ あり
    通常価格(税別) : 128,574
    通常出荷日 : 19日目
メーカー
シリーズ名
CAD
通常価格
(税別)
通常出荷日
本体/周辺部品
種類
ストローク(mm)
最大可搬質量範囲(水平)(kg)
最大可搬質量(水平)(kg)
最大可搬質量範囲(垂直)(kg)
最大可搬質量(垂直)(kg)
駆動方式
ガイド
リード(mm)
入力電源
位置検出
入出力種類
テーブル幅 W1(mm)
ブレーキ
最大推力(範囲)(N)
最大推力(N)
ノイズフィルタ
テーブル長 L1(mm)
使用環境
繰返し位置決め精度(μm)
最高速度(mm/sec)

    電動アクチュエータ ロッドタイプ モータレス仕様 LEYシリーズ

      電動スライドテーブル 薄形タイプ LESシリーズ

        電動アクチュエータ ガイドロッドスライダ ベルト駆動 LELシリーズ ステップモータ

          電動アクチュエータ ロッドタイプ 耐塵・防滴仕様 LEYシリーズ ACサーボモータ LECS□

            電動スライドテーブル 高剛性タイプ LESHシリーズ

              電動アクチュエータ ロッドタイプ 耐塵・防滴(IP65相当)仕様 LEY-X5シリーズ

                電動アクチュエータ ロッドタイプ 耐塵・防滴(IP65相当)仕様 LEY-X5シリーズ LECS□

                  電動アクチュエータ ロッドタイプ LEYシリーズ ACサーボモータ LECY□

                    単軸ロボットクリーン RSH3C

                      単軸ロボットクリーン RSH2C

                        単軸ロボットクリーン RSH1C

                          単軸ロボットクリーン RS1C

                            単軸ロボットクリーン RS2C

                              単軸ロボットクリーン RS3C

                                バッテリレス アブソリュートエンコーダ付 電動スライドテーブル 高剛性タイプ LESHシリーズ

                                メーカー

                                SMC

                                SMC

                                SMC

                                SMC

                                SMC

                                SMC

                                SMC

                                SMC

                                ミスミ

                                ミスミ

                                ミスミ

                                ミスミ

                                ミスミ

                                ミスミ

                                SMC

                                シリーズ名

                                電動アクチュエータ ロッドタイプ モータレス仕様 LEYシリーズ

                                電動スライドテーブル 薄形タイプ LESシリーズ

                                電動アクチュエータ ガイドロッドスライダ ベルト駆動 LELシリーズ ステップモータ

                                電動アクチュエータ ロッドタイプ 耐塵・防滴仕様 LEYシリーズ ACサーボモータ LECS□

                                電動スライドテーブル 高剛性タイプ LESHシリーズ

                                電動アクチュエータ ロッドタイプ 耐塵・防滴(IP65相当)仕様 LEY-X5シリーズ

                                電動アクチュエータ ロッドタイプ 耐塵・防滴(IP65相当)仕様 LEY-X5シリーズ LECS□

                                電動アクチュエータ ロッドタイプ LEYシリーズ ACサーボモータ LECY□

                                単軸ロボットクリーン RSH3C

                                単軸ロボットクリーン RSH2C

                                単軸ロボットクリーン RSH1C

                                単軸ロボットクリーン RS1C

                                単軸ロボットクリーン RS2C

                                単軸ロボットクリーン RS3C

                                バッテリレス アブソリュートエンコーダ付 電動スライドテーブル 高剛性タイプ LESHシリーズ

                                CAD
                                • 2D / 3D
                                • 2D / 3D
                                • 2D / 3D
                                • 2D / 3D
                                • 2D / 3D
                                • 2D / 3D
                                • 2D / 3D
                                • 2D / 3D
                                • 2D / 3D
                                • 2D / 3D
                                • 2D / 3D
                                • 2D / 3D
                                • 2D / 3D
                                通常価格
                                (税別)

                                35,444円

                                39,397円

                                69,221円

                                126,509円

                                43,561円

                                56,694円

                                70,931円

                                70,719円

                                -

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                                128,574円

                                通常出荷日 6日目~ 6日目~ 19日目 19日目 19日目 19日目 19日目 19日目 15日目 15日目 15日目 10日目 10日目 10日目 19日目
                                本体/周辺部品本体本体本体本体本体本体本体本体本体本体本体本体本体本体本体
                                種類ロッドスライダスライダロッドスライダロッドロッドロッドスライダスライダスライダスライダスライダスライダスライダ
                                ストローク(mm)30 ~ 80030 ~ 15030050 ~ 80050 ~ 15030 ~ 50030 ~ 50030 ~ 800150 ~ 1050150 ~ 1050150 ~ 80050 ~ 40050 ~ 80050 ~ 800100
                                最大可搬質量範囲(水平)(kg)10.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.0 / 150.1~0~2.0 / 2.1~5.02.1~5.020.1~50.0 / 50.1~100.0 / 150.1~0~2.0 / 2.1~5.0 / 5.1~10.0 / 10.1~20.05.1~10.0 / 10.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.010.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.010.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.0 / 150.1~20.1~50.0 / 50.1~100.010.1~20.0 / 20.1~50.010.1~20.0 / 20.1~50.00~2.0 / 2.1~5.0 / 5.1~10.02.1~5.0 / 5.1~10.05.1~10.0 / 10.1~20.05.1~10.0
                                最大可搬質量(水平)(kg)18 ~ 2001 ~ 5540 ~ 2001 ~ 127 ~ 8018 ~ 6018 ~ 20030 ~ 8020 ~ 5012 ~ 402 ~ 64 ~ 106 ~ 128
                                最大可搬質量範囲(垂直)(kg)5.1~10.0 / 10.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.0 / 100.1~0~2.0 / 2.1~5.0-10.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.0 / 100.1~0~2.0 / 2.1~5.00~2.0 / 2.1~5.0 / 5.1~10.0 / 10.1~20.0 / 20.1~50.05.1~10.0 / 10.1~20.0 / 20.1~50.05.1~10.0 / 10.1~20.0 / 20.1~50.0 / 50.1~100.0 / 100.1~-2.1~5.0 / 5.1~10.0 / 10.1~20.02.1~5.0 / 5.1~10.00~2.0 / 2.1~5.00~2.00~2.0 / 2.1~5.00~2.0
                                最大可搬質量(垂直)(kg)8 ~ 1150.25 ~ 5-19 ~ 1150.25 ~ 42 ~ 428 ~ 468 ~ 115-4 ~ 164 ~ 81 ~ 41 ~ 22 ~ 42
                                駆動方式転造ボールねじすべりねじベルト転造ボールねじすべりねじ転造ボールねじ転造ボールねじ転造ボールねじ転造ボールねじ転造ボールねじ転造ボールねじ転造ボールねじ転造ボールねじ転造ボールねじすべりねじ
                                ガイドありありありなしありなしなしなし------あり
                                リード(mm)2.86 ~ 204 ~ 1648相当2.86 ~ 204 ~ 163 ~ 163 ~ 202.86 ~ 205 ~ 205 ~ 206 ~ 202 ~ 126 ~ 206 ~ 2016
                                入力電源-DC24VDC24V-DC24VDC24V--AC単相100-115V / AC単相200-230VAC単相100-115V / AC単相200-230VAC単相100-115V / AC単相200-230VDC24VDC24VDC24VDC24V
                                位置検出-インクリメンタルインクリメンタルインクリメンタル / アブソリュートインクリメンタルインクリメンタルインクリメンタル / アブソリュートアブソリュートインクリメンタル / アブソリュートインクリメンタル / アブソリュートインクリメンタル / アブソリュートインクリメンタルインクリメンタルインクリメンタルアブソリュート
                                入出力種類-NPN / PNP / DeviceNet / Ethernet / なし / EtherCAT / IO-Link / PROFINETNPN-NPN / PNP / DeviceNet / Ethernet / なし / EtherCAT / PROFINETNPN / PNP / DeviceNet / Ethernet / なし / EtherCAT / IO-Link / PROFINET--NPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetPROFINET
                                テーブル幅 W1(mm)-32.2 ~ 6056-32 ~ 61---74747441535561
                                ブレーキなしなし / ありなしなし / ありなし / ありなし / ありなし / ありなし / ありなしなし / ありなし / ありなし / ありなし / ありなし / ありなし
                                最大推力(範囲)(N)101~200 / 201~300 / 301~500 / 501~1000 / 1001~~100 / 101~200~100501~1000 / 1001~~100 / 101~200~100 / 101~200 / 201~300 / 301~500 / 501~1000101~200 / 201~300 / 301~500 / 501~1000101~200 / 201~300 / 301~500 / 501~1000 / 1001~~100 / 101~200 / 301~500~100 / 101~200 / 301~500~100 / 101~200 / 201~300~100 / 101~200~100~100 / 101~200~100
                                最大推力(N)131 ~ 33437.5 ~ 18049521 ~ 33437.5 ~ 18035 ~ 707131 ~ 736131 ~ 334384 ~ 33984 ~ 33984 ~ 28345 ~ 15027 ~ 9036 ~ 120100
                                ノイズフィルタなしなしなしなしなしなしなしなしなし / ありなし / ありなし / あり---なし
                                テーブル長 L1(mm)-88.5 ~ 316.582-111 ~ 285---190160160687090207
                                使用環境防塵防塵防塵防塵防塵防塵防塵防塵防塵防塵防塵防塵防塵防塵防塵
                                繰返し位置決め精度(μm)±10 ~ ±20±50±80±10 ~ ±20±50±20±10 ~ ±20±10 ~ ±20±10±10±20±20±20±2050
                                最高速度(mm/sec)70 ~ 1200200 ~ 400100070 ~ 1000150 ~ 400100 ~ 400150 ~ 120070 ~ 1200300 ~ 1000300 ~ 1000360 ~ 1000100 ~ 600300 ~ 1000300 ~ 1000400
                                1. 1

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