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真空バルブ(フランジ種類:CF)

真空バルブは、真空チャンバーに取り付けられる真空部品でバルブの一種です。真空バルブは通常のバルブに比べ気体成分をほぼ完全に遮断したり、厳密にコントロールしなければなりません。
遮断バルブ:ゲートバルブ、L型バルブ、ストレートバルブ、バタフライバルブ(大気と真空、もしくは異なる圧力空間を遮断する真空空間を隔離するためのバルブで、形状により何種類かのバルブがありますが、圧力領域や用途、真空装置の構造などにより使い分 もっと読む

真空バルブは、真空チャンバーに取り付けられる真空部品でバルブの一種です。真空バルブは通常のバルブに比べ気体成分をほぼ完全に遮断したり、厳密にコントロールしなければなりません。
遮断バルブ:ゲートバルブ、L型バルブ、ストレートバルブ、バタフライバルブ(大気と真空、もしくは異なる圧力空間を遮断する真空空間を隔離するためのバルブで、形状により何種類かのバルブがありますが、圧力領域や用途、真空装置の構造などにより使い分けられています)
コンダクタンスバルブ:ニードルバルブ、バタフライバルブ(空チャンバーに流入するガスの流量をコントロールするためのバルブです)
バルブ自体は、液体や気体の配管などで、その流れを制御するものの総称であり、制御させるものは、方向・圧力・流量となります
また、L型バルブからゲートバルブ、大気圧から超高真空まで、あらゆる領域・条件・用途向けの真空バルブをラインナップしているので、お客様の用途次第で選定頂く事が可能になっています。


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  • ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズ

    SMC

    ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズ

    評価 0.0
    ガス溜まりのない精密鋳造一体構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・圧力バランス構造・ボディ材質:SCS13(SUS304相当)・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)・軽量・コンパクト
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    パイロット真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) : 56,400円~
    通常出荷日 : 19日目
  • ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 手動/ベローズシール XMH・XYHシリーズ

    SMC

    ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 手動/ベローズシール XMH・XYHシリーズ

    評価 0.0
    圧力バランス構造で、排気方向が自由な真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・低い操作トルク(0.5N・m以下)・スプリングによる一定のシール荷重・バルブ開閉時のハンドル高さが一定・開閉確認用インジケータを標準で装備・ボディ材質:SCS13(SUS304相当)・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)・軽量・コンパクト
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    手動真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) : 53,966円~
    通常出荷日 : 6日目~
  • ステンレス製 高真空L型・ストレート型バルブ 二段制御単動 ベローズ・Oリングシール XMD・XYD

    SMC

    ステンレス製 高真空L型・ストレート型バルブ 二段制御単動 ベローズ・Oリングシール XMD・XYD

    評価 0.0
    ポンプの過負荷運転を防止する真空バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化(流量二段制御バルブ)・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバ内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・ボディ材質:SCS13(SUS304相当)・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取り付け(XMシリーズ)
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    パイロット真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) : 101,359円~
    通常出荷日 : 19日目
  • 高真空L型バルブ(自動)2FLV

    入江工研

    高真空L型バルブ(自動)2FLV

    評価 0.0
    【特長】・バルブ材質の真空側は全てステンレス(SUS)で構成されています。・全体がコンパクト設計により小型、軽量化されています。・正圧、逆圧、どちらも0.15MPa の差圧でも漏れません。・取り付け姿勢が自由。(特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨しております。)・機能設計により大きなコンダクタンスが得られます。・片側回転フランジのため、取付けが容易。( コンフラットフランジ)
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) : 110,810
    通常出荷日 : 6日目
  • 高真空L型バルブ(手動)2FLV

    入江工研

    高真空L型バルブ(手動)2FLV

    評価 0.0
    【特長】・バルブ材質の真空側は全てステンレス(SUS)で構成されています。・全体がコンパクト設計により小型、軽量化されています。・正圧、逆圧、どちらも0.15MPa の差圧でも漏れません。・取り付け姿勢が自由。(特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨しております)・機能設計により大きなコンダクタンスが得られます。・片側回転フランジのため、取付けが容易。( コンフラットフランジ)
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    手動真空弁 単体使用 ダイレクト - - - - - フランジ
    通常価格(税別) : 101,133
    通常出荷日 : 6日目
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