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真空バルブ

真空バルブは、真空チャンバーに取り付けられる真空部品でバルブの一種です。真空バルブは通常のバルブに比べ気体成分をほぼ完全に遮断したり、厳密にコントロールしなければなりません。
遮断バルブ:ゲートバルブ、L型バルブ、ストレートバルブ、バタフライバルブ(大気と真空、もしくは異なる圧力空間を遮断する真空空間を隔離するためのバルブで、形状により何種類かのバルブがありますが、圧力領域や用途、真空装置の構造などにより使い分けられています)
コンダクタンスバルブ:ニードルバルブ、バタフライバルブ(空チャンバーに流入するガスの流量をコントロールするためのバルブです)
バルブ自体は、液体や気体の配管などで、その流れを制御するものの総称であり、制御させるものは、方向・圧力・流量となります
また、L型バルブからゲートバルブ、大気圧から超高真空まで、あらゆる領域・条件・用途向けの真空バルブをラインナップしているので、お客様の用途次第で選定頂く事が可能になっています。


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「真空 シール」のおすすめ人気ランキング
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  • ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ

    SMC

    ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ

    評価 0.0
    圧力バランス構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・ボディ材質:SCS13(SUS304相当)・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)・軽量・コンパクト
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) : 49,604円~
    通常出荷日 : 6日目~
  • アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ

    SMC

    アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ

    アウトガスが少ない真空レギュレータ。【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能(ベローズシールタイプ)・メンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れる
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    空操真空弁 単体使用 ダイレクト 3ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) : 90,269円~
    通常出荷日 : 6日目~
  • アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAVシリーズ 電磁弁付

    SMC

    アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAVシリーズ 電磁弁付

    評価 0.0
    アウトガスが少ない真空レギュレータ。【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能(ベローズシールタイプ)・メンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れる
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ エアパイロット - フランジ
    通常価格(税別) : 100,327円~
    通常出荷日 : 19日目
  • 手動スロットルバタフライバルブ_AXシリーズ

    フジ・テクノロジー

    手動スロットルバタフライバルブ_AXシリーズ

    評価 0.0
    開度表示・ロック機構付。バタフライバルブはストレート配管であり、面間が超薄型であるため、同じ口径で比較した場合、バタフライバルブは、真空装置用バルブの中で配管への取り付け幅が薄いという特徴があります。この面間の薄さが開口コンダクタンスの値を大きくすることで、効率の良い排気を可能にしています。【特長】・ウォーム・ウォームホイルを採用し、手動でスロットルハンドルを回すことにより、任意にコンダクタンスが可変でき、排気流量の絞りを手動で簡単に行えます・操作は軽く、確実で再現性に優れており手動バルブとして、全開、全閉も出来る便利なバルブです・真空チャンバの圧力を一定に保つ装置では、メイン排気ラインで排気流量コントロールができれば最良であるが、小口径のバイパス配管等やメイン排気ラインへコンダクタンスバルブを入れコントロールすることが必要な場合に、手動で弁開度を任意の位置に固定しコンダクタンスを調整できるコンダクタンスバルブとしての特徴を発揮します
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    手動真空弁 単体使用 ダイレクト - - その他 - - フランジ
    通常価格(税別) : 90,032円~
    通常出荷日 : 15日目
  • UHVゲートバルブ

    VAT

    UHVゲートバルブ

    評価 0.0
    研究開発および産業のUHVアプリケーションの標準バルブ。【特長】・ベローズ軸シール、潤滑剤フリーの機構。・DN63-200 Vulcanizedシール(ゲートシール部にデッドボリュームがない)。
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    - - - - - - - - -
    通常価格(税別) : 465,066円~
    通常出荷日 : 7日目~
  • バタフライバルブ・AXOIIシリーズ

    フジ・テクノロジー

    バタフライバルブ・AXOIIシリーズ

    評価 0.0
    【特長】・新しくなった機構により100万回開閉及び2年保証の高機能タイプです。・ダブルエアーシリンダ方式を採用することにより、弁体開時にはエアー推力が倍増し、さらにエアーダンパー機構により衝撃力は緩和されました。・バイパス流路及びアシスト室をシリンダ内に設けたものがダブルシリンダ方式です。・バイパス流路は弁体開側シリンダ室からアシスト室(弁体閉側シリンダ室のピストン裏側)につながっており、その口径は空気供給口の口径より十分に小さくしてあります。・この機構によりアシスト室に十分な空気が供給(排出)される前にピストン運動が始まりますので、弁体開(閉)時には、アシスト室内の圧力は負(加)圧となり、アシスト室がエアークッションの働きをして衝撃力を緩和します。
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    空操真空弁 単体使用 ダイレクト - - その他 - - フランジ
    通常価格(税別) : 90,032円~
    通常出荷日 : 15日目
  • オールメタルアングルバルブ

    VAT

    オールメタルアングルバルブ

    評価 0.0
    (極)UHVアプリケーションの真空プロセス用。【特長】・シールはFLEX VATRING方式。・シール面の変形は弾性変形の範囲内。・閉操作は機械的に止まるまで、トルク管理不要。・コンダクタンス大。・FLEX VATRINGは2回まで交換可能。
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    - - - - - - - - -
    通常価格(税別) : 181,447
    通常出荷日 : 7日目
  • ミニUHVゲートバルブ

    VAT

    ミニUHVゲートバルブ

    評価 0.0
    UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ。【特長】・モジュラーデザイン。・ベローズ軸シール、潤滑材不要の構造。・ゲートシール部にデッドボリュームがないVulcanizedシール。
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    - - - - - - - - -
    通常価格(税別) : 308,140
    通常出荷日 : 7日目
  • オールメタルバリアブルリークバルブ

    VAT

    オールメタルバリアブルリークバルブ

    評価 0.0
    プロセス圧力を微小流量で制御するガス導入バルブ。【特長】・激しい腐食性ガスへの耐性。・精密で再現性の高いガス流量調整。
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    - - - - - - - - -
    通常価格(税別) : 267,266
    通常出荷日 : 7日目
  • インターロックバルブ ILV-01シリーズ

    アリオス

    インターロックバルブ ILV-01シリーズ

    評価 0.0
    停電時の真空保管・安全対策に!【特長】・通電中は手動バルブとして機能します・電源のみで動作し、圧縮空気は不要です・コンパクト設計により、取り付け場所を選びません・電源入力電圧が、AC90~260Vまで切り替えをせずにご使用いただけます・排気セットやリークディテクターのメインバルブに最適です・タイミングリークバルブ(TLV-02) と合わせてお使い頂くことにより、効果的な停電対策が可能です
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) : 410,401
    通常出荷日 : 15日目
メーカー
シリーズ名
CAD
通常価格
(税別)
通常出荷日
種類
用途
設置方法
ポート数
ソレノイドの種類
切換の種類
電磁弁駆動の種類
有効断面積(mm2)
配管口の種類
配管ねじの呼び
接続チューブ径
フランジ種類
フランジ呼び
CV値

    ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ

      アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ

        アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAVシリーズ 電磁弁付

          手動スロットルバタフライバルブ_AXシリーズ

            UHVゲートバルブ

              バタフライバルブ・AXOIIシリーズ

                オールメタルアングルバルブ

                  ミニUHVゲートバルブ

                    オールメタルバリアブルリークバルブ

                      インターロックバルブ ILV-01シリーズ

                      メーカー

                      SMC

                      SMC

                      SMC

                      フジ・テクノロジー

                      VAT

                      フジ・テクノロジー

                      VAT

                      VAT

                      VAT

                      アリオス

                      シリーズ名

                      ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ

                      アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ

                      アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAVシリーズ 電磁弁付

                      手動スロットルバタフライバルブ_AXシリーズ

                      UHVゲートバルブ

                      バタフライバルブ・AXOIIシリーズ

                      オールメタルアングルバルブ

                      ミニUHVゲートバルブ

                      オールメタルバリアブルリークバルブ

                      インターロックバルブ ILV-01シリーズ

                      CAD
                      • 2D / 3D
                      • 2D / 3D
                      • 2D / 3D
                      通常価格
                      (税別)

                      49,604円

                      90,269円

                      100,327円

                      90,032円

                      465,066円

                      90,032円

                      181,447円

                      308,140円

                      267,266円

                      410,401円

                      通常出荷日 6日目~ 6日目~ 19日目 15日目 7日目~ 15日目 7日目 7日目 7日目 15日目
                      種類空操真空弁空操真空弁高真空用電磁弁手動真空弁-空操真空弁---電磁真空弁
                      用途単体使用単体使用単体使用単体使用-単体使用---単体使用
                      設置方法ダイレクトダイレクトダイレクトダイレクト-ダイレクト---ダイレクト
                      ポート数2ポート弁3ポート弁3ポート弁------2ポート弁
                      ソレノイドの種類--シングル------シングル
                      切換の種類2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズその他-その他---2位置ノーマルオープン
                      電磁弁駆動の種類--エアパイロット------直動形
                      有効断面積(mm2)----------
                      配管口の種類フランジフランジフランジフランジ-フランジ---フランジ
                      配管ねじの呼び----------
                      接続チューブ径----------
                      フランジ種類その他その他その他その他その他その他その他その他その他その他
                      フランジ呼び16 / 40 / 63 / 8063 / 8063 / 80100 / 150 / 32 / 52-100 / 150 / 32 / 52---70
                      CV値----------
                      1. 1

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