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- ダイレクト
- マニホールドベース
- サブベース
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ポート数
- 2ポート弁
- 3ポート弁
- 5ポート弁
- 2ポート弁
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ソレノイドの種類
- シングル
- ダブル
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切換の種類
- 2位置ノーマルオープン
- 2位置ノーマルクローズ
- その他
- 2位置ノーマルオープン
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電磁弁駆動の種類
- 直動形
- 外部パイロット形
- エアパイロット
- バキュームパイロット
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有効断面積(mm2)
A・Bポートの接続ﾁｭｰﾌﾞ径になります
- 0.07
- 0.1
- 0.19
- 0.2
- 0.38
- 0.45
- 0.55
- 0.6
- 0.78
- 1.5
- 2.0
- 2.5
- 4
- 4.2
- 4.5
- 4.6
- 5
- 5.5
- 7.65
- 8.3
- 8.5
- 10.2
- 11
- 15
- 36
- 55
-
配管口の種類
-
配管ねじの呼び
-
接続チューブ径
-
フランジ種類
-
フランジ呼び
-
CV値
- 0.0037940379
- 0.006
- 0.010298103
- 0.011
- 0.02
- 0.020596206
- 0.025
- 0.03
- 0.0422764228
- 0.05
- 0.08
- 0.12
- 0.17
- 0.23
- 0.27
- 0.28
- 0.33
- 0.45
- 0.47
- 0.57
- 0.6
- 0.76
- 1.05
- 1.6
- 2
- 2.7
- 3
- 4
- 7
- 10
- 15
- 17
- 20
- 27
- 30
- 50
- 84.87
-
メーカー
-
CAD
- 2D
- 3D
真空バルブ（種類：高真空用電磁弁）
遮断バルブ：ゲートバルブ、Ｌ型バルブ、ストレートバルブ、バタフライバルブ（大気と真空、もしくは異なる圧力空間を遮断する真空空間を隔離するためのバルブで、形状により何種類かのバルブがありますが、圧力領域や用途、真空装置の構造などにより使い分けられています）
コンダクタンスバルブ：ニードルバルブ、バタフライバルブ（空チャンバーに流入するガスの流量をコントロールするためのバルブです）
バルブ自体は、液体や気体の配管などで、その流れを制御するものの総称であり、制御させるものは、方向・圧力・流量となります
また、L型バルブからゲートバルブ、大気圧から超高真空まで、あらゆる領域・条件・用途向けの真空バルブをラインナップしているので、お客様の用途次第で選定頂く事が可能になっています。
【おすすめ人気ランキング】
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「真空 シール」のおすすめ人気ランキング
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SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAVシリーズ 電磁弁付
評価 0.0アウトガスが少ない真空レギュレータ。【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）・メンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れる種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ エアパイロット - フランジ 通常価格(税別) ： 40,185円～ 通常出荷日 ： 19日目 -
SMC
評価 0.0発塵を低減し、シール性能が向上した常時閉型高真空電磁弁 。【特長】・難燃性がある（UL94V-0準拠）・2種の継手（フェースシール継手・コンプレッション継手）、めねじ（Rc、NPT）を用意・スプリングを鉄心摺動部からボディ部へ移動することによりスプリングの接触による発塵を低減させました・大きなスプリング力で確実にシール・消費電力※：4.5W（サイズ1）/7W（サイズ2）/10.5W（サイズ3）（※DC仕様/B種の場合です。）・使用温度範囲：5～60℃種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - Rc / NPT / フェースシール継手 / コンプレッション継手 通常価格(税別) ： 19,209円～ 通常出荷日 ： 在庫品1日目～ - 一部当日出荷可能
-
SMC
アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFVシリーズ エアオペレートタイプ 電磁弁付
評価 0.0【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ 通常価格(税別) ： 39,209円～ 通常出荷日 ： 19日目 -
SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ
評価 0.0ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・エアオペレートタイプ/電磁弁付き・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む・フッ素に強い・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・軽量・コンパクト種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ 通常価格(税別) ： 72,929円～ 通常出荷日 ： 19日目 -
ＣＫＤ
評価 0.0高い真空度保持力、優れた耐久性を備えた高真空用電磁弁。【特長】・耐久性200万回（メーカー条件）・長期連続使用にも高い性能を維持でき、信頼性に優れたハイクオリティなバルブ・真空漏れ1×10の‐9乗Pa・m3/s以下。内部、外部漏れ量が安定しており、高い真空度保持力を誇る・特殊パッキン採用。FKM製、シール寿命に優れている・高耐食。ボディにステンレスを採用・高い真空度保持力。低リークで、真空度保持力が安定。背圧使用可能（逆真空）一部機種を除く・シンプルな構造でメンテナンスが容易にできる【用途】・真空回路の切り替えに種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - NPT / JXR継手 / くい込み継手 通常出荷日 ： 7日目～ -
ＣＫＤ
評価 0.0高真空用の電磁弁。【特長】・NC（通電時開）形・接続口径：フランジΦ48、Φ52【用途】・真空及び不活性ガスの制御に最適種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ 通常出荷日 ： 8日目～
| メーカー |
|---|
| シリーズ名 |
| CAD |
| 通常価格 (税別) |
| 通常出荷日 |
| 種類 |
| 用途 |
| 設置方法 |
| ポート数 |
| ソレノイドの種類 |
| 切換の種類 |
| 電磁弁駆動の種類 |
| 有効断面積(mm2) |
| 配管口の種類 |
| 配管ねじの呼び |
| 接続チューブ径 |
| フランジ種類 |
| フランジ呼び |
| CV値 |
|
|
|
|
|
| |
| メーカー | SMC | SMC | SMC | SMC | ＣＫＤ | ＣＫＤ |
| シリーズ名 | ||||||
| CAD |
|
|
|
|
|
|
| 通常価格 (税別) | 40,185円～ | 19,209円～ | 39,209円～ | 72,929円～ | - | - |
| 通常出荷日 | 19日目 |
在庫品1日目～
一部当日出荷可能 | 19日目 | 19日目 | 7日目～ | 8日目～ |
| 種類 | 高真空用電磁弁 | 高真空用電磁弁 | 高真空用電磁弁 | 高真空用電磁弁 | 高真空用電磁弁 | 高真空用電磁弁 |
| 用途 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 |
| 設置方法 | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト |
| ポート数 | 3ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 |
| ソレノイドの種類 | シングル | シングル | シングル | シングル | シングル | シングル |
| 切換の種類 | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ |
| 電磁弁駆動の種類 | エアパイロット | 直動形 | 直動形 | 直動形 | 直動形 | 直動形 |
| 有効断面積(mm2) | - | - | - | - | - | - |
| 配管口の種類 | フランジ | Rc / NPT / フェースシール継手 / コンプレッション継手 | フランジ | フランジ | NPT / JXR継手 / くい込み継手 | フランジ |
| 配管ねじの呼び | - | 1/8 / 1/4 / 3/8 | - | - | 1/8 / 1/4 / 3/8 | - |
| 接続チューブ径 | - | - | - | - | - | - |
| フランジ種類 | NW / その他 | - | KF / K | KF / K | - | JIS |
| フランジ呼び | 16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 80 | - | 16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 80 | 25 / 40 / 50 / 63 / 80 | - | 10 / 48 / 52 |
| CV値 | - | - | - | - | 0.17 ～ 1.05 | - |
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