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ポート数
- 2ポート弁
- 3ポート弁
- 5ポート弁
- 2ポート弁
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ソレノイドの種類
- シングル
- ダブル
-
切換の種類
- 2位置ノーマルオープン
- 2位置ノーマルクローズ
- その他
- 2位置ノーマルオープン
-
電磁弁駆動の種類
- 直動形
- 外部パイロット形
- エアパイロット
- バキュームパイロット
-
有効断面積(mm2)
A・Bポートの接続ﾁｭｰﾌﾞ径になります
- 0.07
- 0.1
- 0.19
- 0.2
- 0.38
- 0.45
- 0.55
- 0.6
- 0.78
- 1.5
- 2.0
- 2.5
- 4
- 4.2
- 4.5
- 4.6
- 5
- 5.5
- 7.65
- 8.3
- 8.5
- 10.2
- 11
- 15
- 36
- 55
-
配管口の種類
-
配管ねじの呼び
-
接続チューブ径
-
フランジ種類
-
フランジ呼び
-
CV値
- 0.0037940379
- 0.006
- 0.010298103
- 0.011
- 0.02
- 0.020596206
- 0.025
- 0.03
- 0.0422764228
- 0.05
- 0.08
- 0.12
- 0.17
- 0.23
- 0.27
- 0.28
- 0.33
- 0.45
- 0.47
- 0.57
- 0.6
- 0.76
- 1.05
- 1.6
- 2
- 2.7
- 3
- 4
- 7
- 10
- 15
- 17
- 20
- 27
- 30
- 50
- 84.87
-
メーカー
-
CAD
- 2D
- 3D
真空バルブ（種類：空操真空弁）
遮断バルブ：ゲートバルブ、Ｌ型バルブ、ストレートバルブ、バタフライバルブ（大気と真空、もしくは異なる圧力空間を遮断する真空空間を隔離するためのバルブで、形状により何種類かのバルブがありますが、圧力領域や用途、真空装置の構造などにより使い分けられています）
コンダクタンスバルブ：ニードルバルブ、バタフライバルブ（空チャンバーに流入するガスの流量をコントロールするためのバルブです）
バルブ自体は、液体や気体の配管などで、その流れを制御するものの総称であり、制御させるものは、方向・圧力・流量となります
また、L型バルブからゲートバルブ、大気圧から超高真空まで、あらゆる領域・条件・用途向けの真空バルブをラインナップしているので、お客様の用途次第で選定頂く事が可能になっています。
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ＣＫＤ
評価 0.0CKD独自の成形べローズを採用した特殊構造で長寿命、高耐久性を実現しました。【特長】・高い信頼性と使いやすさを備えた高真空バルブです・アルミボディの採用で軽量、コンパクト・半導体業界 高真空用 エアオペレイトバルブ NC形 複動形 二段形【カタログはこちらをご参照ください】P.93 高真空用 エアオペレイトバルブ NC形 AVB※17シリーズP.97 高真空用 エアオペレイトバルブ 複動形 AVB※37シリーズP.101 高真空用エアオペレイトバルブ 二段形AVB※47シリーズ種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル / ダブル 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常価格(税別) ： 48,137円～ 通常出荷日 ： 3日目～ -
SMC
ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ
評価 0.0圧力バランス構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）・軽量・コンパクト種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常価格(税別) ： 40,255円～ 通常出荷日 ： 在庫品1日目～ - 一部当日出荷可能
-
SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ
評価 4.0 平均満足度4.0アウトガスが少ない真空レギュレータ。【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）・メンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れる種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 空操真空弁 単体使用 ダイレクト 3ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常価格(税別) ： 31,449円～ 通常出荷日 ： 在庫品1日目～ - 一部当日出荷可能
-
SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ
評価 0.0ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・エアオペレートタイプ/電磁弁付き・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む・フッ素に強い・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・軽量・コンパクト種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常価格(税別) ： 66,431円～ 通常出荷日 ： 6日目～ -
- 数量スライド割引
SMC
評価 4.0 平均満足度4.0ワークがなくても真空圧力の低下を抑制する真空バルブ。【特長】・1つの真空発生器で真空パッドを多数個使用した場合に、未吸着状態のパッドがあっても、真空圧力の低下を抑制するため、ワークを保持・ワンタッチ管継手付を追加・ワーク変更による切換作業が不要・ワーク形状が異なる場合、制御回路の簡略化が可能・固定絞り径：0.3mm、0.5mm、0.7mm、1mm種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - 0.07 ～ 0.78 M / Rc / NPT / ワンタッチ配管 通常価格(税別) ： 1,317円～ 通常出荷日 ： 在庫品1日目～ - 一部当日出荷可能
-
- SALE 2025/03/31まで
入江工研
評価 0.0ALLステンレス使用で高い耐食性をもつアングル真空バルブ。【特長】・バルブ材質の真空側は全てステンレス（SUS）で構成されている。・正圧、逆圧、どちらも0.15MPaの差圧でも漏れない。・機能設計により大きなコンダクタンスが得られる。・片側回転フランジのため、取付けが容易（コンフラットフランジ）。・取り付け姿勢が自由（特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨）。- CAD ：
- 3D
種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ / その他 直動形 - フランジ 通常価格(税別) ： 38,221円～ 特別価格 通常出荷日 ： 在庫品1日目～ - 一部当日出荷可能
-
フジ・テクノロジー
評価 0.0【特長】・新しくなった機構により100万回開閉及び2年保証の高機能タイプです。・ダブルエアーシリンダ方式を採用することにより、弁体開時にはエアー推力が倍増し、さらにエアーダンパー機構により衝撃力は緩和されました。・バイパス流路及びアシスト室をシリンダ内に設けたものがダブルシリンダ方式です。・バイパス流路は弁体開側シリンダ室からアシスト室（弁体閉側シリンダ室のピストン裏側）につながっており、その口径は空気供給口の口径より十分に小さくしてあります。・この機構によりアシスト室に十分な空気が供給（排出）される前にピストン運動が始まりますので、弁体開（閉）時には、アシスト室内の圧力は負（加）圧となり、アシスト室がエアークッションの働きをして衝撃力を緩和します。種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 空操真空弁 単体使用 ダイレクト - - その他 - - フランジ 通常価格(税別) ： 81,846円～ 通常出荷日 ： 15日目 -
フジ・テクノロジー
評価 0.0新しくなった機構により100万回開閉及び2年保証の高機能タイプです。【特長】・弁開度が0度～45度と90度（全開）の2位置で作動させることができるので、1台のバルブでスロー排気と高速排気ができます・通常の全閉（フルクローズ）と全開（フルオープン）用エアーシリンダに加えて、弁開度を0度～45度の範囲で任意に設定できるエアーシリンダを設けた2段階の構造です種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 空操真空弁 単体使用 ダイレクト - - その他 - - フランジ 通常価格(税別) ： 98,216円～ 通常出荷日 ： 15日目 -
入江工研
評価 0.0【特長】・バルブ材質の真空側は全てステンレス（SUS）で構成されています。・全体がコンパクト設計により小型、軽量化されています。・正圧、逆圧、どちらも0.15MPa の差圧でも漏れません。・取り付け姿勢が自由。（特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨しております。）・機能設計により大きなコンダクタンスが得られます。・片側回転フランジのため、取付けが容易。（ コンフラットフランジ）種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ 通常価格(税別) ： 110,810円 通常出荷日 ： 6日目 -
- SALE 2025/03/31まで
- 数量スライド割引
佐藤真空
評価 0.0佐藤真空 真空ポンプ フランジ型真空弁 NAVシリーズ（空圧作動式）。種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 空操真空弁 - - - - - - - - 通常価格(税別) ： 121,568円 特別価格 通常出荷日 ： 19日目
| メーカー |
|---|
| シリーズ名 |
| CAD |
| 通常価格 (税別) |
| 通常出荷日 |
| 種類 |
| 用途 |
| 設置方法 |
| ポート数 |
| ソレノイドの種類 |
| 切換の種類 |
| 電磁弁駆動の種類 |
| 有効断面積(mm2) |
| 配管口の種類 |
| 配管ねじの呼び |
| 接続チューブ径 |
| フランジ種類 |
| フランジ呼び |
| CV値 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| |
| メーカー | ＣＫＤ | SMC | SMC | SMC | SMC | 入江工研 | フジ・テクノロジー | フジ・テクノロジー | 入江工研 | 佐藤真空 |
| シリーズ名 | ||||||||||
| CAD |
|
|
|
|
|
| ||||
| 通常価格 (税別) | 48,137円～ | 40,255円～ | 31,449円～ | 66,431円～ | 1,317円～
| 38,221円～ 特別価格 SALE 2025/03/31まで | 81,846円～ | 98,216円～ | 110,810円 | 121,568円 特別価格 SALE 2025/03/31まで
|
| 通常出荷日 | 3日目～ |
在庫品1日目～
一部当日出荷可能 |
在庫品1日目～
一部当日出荷可能 | 6日目～ |
在庫品1日目～
一部当日出荷可能 |
在庫品1日目～
一部当日出荷可能 | 15日目 | 15日目 | 6日目 | 19日目 |
| 種類 | 空操真空弁 | 空操真空弁 | 空操真空弁 | 空操真空弁 | 空操真空弁 | 空操真空弁 | 空操真空弁 | 空操真空弁 | 空操真空弁 | 空操真空弁 |
| 用途 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | - |
| 設置方法 | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | - |
| ポート数 | 2ポート弁 | 2ポート弁 | 3ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 | - | - | 2ポート弁 | - |
| ソレノイドの種類 | シングル / ダブル | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 切換の種類 | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ / その他 | その他 | その他 | 2位置ノーマルクローズ | - |
| 電磁弁駆動の種類 | - | - | - | - | - | 直動形 | - | - | 直動形 | - |
| 有効断面積(mm2) | - | - | - | - | 0.07 ～ 0.78 | - | - | - | - | - |
| 配管口の種類 | フランジ | フランジ | フランジ | フランジ | M / Rc / NPT / ワンタッチ配管 | フランジ | フランジ | フランジ | フランジ | - |
| 配管ねじの呼び | - | - | - | - | M5 / 1/8 / M6 / M8 | - | - | - | - | - |
| 接続チューブ径 | - | - | - | - | φ4 / φ6 | - | - | - | - | - |
| フランジ種類 | NW | NW / その他 | NW / その他 | KF / K | - | NW | NW / JIS / ISO / その他 | JIS / ISO | CF | - |
| フランジ呼び | 16 / 25 / 40 / 50 | 16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 80 | 16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 80 | 25 / 40 / 50 / 63 / 80 | - | 16 / 25 / 40 / 50 | 80 / 100 / 150 / 32 / 65 / 52 | 32 | 70 | - |
| CV値 | - | - | - | - | 0.0037940379 ～ 0.0422764228 | - | - | - | - | - |
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