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    解除

  • 電磁弁駆動の種類

    • 直動形
    • 外部パイロット形
    • エアパイロット
    • バキュームパイロット

    解除

  • 有効断面積(mm2)

    A・Bポートの接続ﾁｭｰﾌﾞ径になります

    • 0.07
    • 0.1
    • 0.19
    • 0.2
    • 0.38
    • 0.45
    • 0.55
    • 0.6
    • 0.78
    • 1.5
    • 2.0
    • 2.5
    • 4
    • 4.2
    • 4.5
    • 4.6
    • 5
    • 5.5
    • 7.65
    • 8.3
    • 8.5
    • 10.2
    • 11
    • 15
    • 36
    • 55

    解除

  • 配管口の種類

  • 配管ねじの呼び

  • 接続チューブ径

  • フランジ種類

  • フランジ呼び

  • CV値

    • 0.0037940379
    • 0.006
    • 0.010298103
    • 0.011
    • 0.02
    • 0.020596206
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    • 0.03
    • 0.0422764228
    • 0.05
    • 0.08
    • 0.12
    • 0.17
    • 0.23
    • 0.27
    • 0.28
    • 0.33
    • 0.45
    • 0.47
    • 0.57
    • 0.6
    • 0.76
    • 1.05
    • 1.6
    • 2
    • 2.7
    • 3
    • 4
    • 7
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    • 17
    • 20
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    • 30
    • 50
    • 84.87

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真空バルブ（ソレノイドの種類：シングル）

真空バルブは、真空チャンバーに取り付けられる真空部品でバルブの一種です。真空バルブは通常のバルブに比べ気体成分をほぼ完全に遮断したり、厳密にコントロールしなければなりません。
遮断バルブ：ゲートバルブ、Ｌ型バルブ、ストレートバルブ、バタフライバルブ（大気と真空、もしくは異なる圧力空間を遮断する真空空間を隔離するためのバルブで、形状により何種類かのバルブがありますが、圧力領域や用途、真空装置の構造などにより使い分けられています）
コンダクタンスバルブ：ニードルバルブ、バタフライバルブ（空チャンバーに流入するガスの流量をコントロールするためのバルブです）
バルブ自体は、液体や気体の配管などで、その流れを制御するものの総称であり、制御させるものは、方向・圧力・流量となります
また、L型バルブからゲートバルブ、大気圧から超高真空まで、あらゆる領域・条件・用途向けの真空バルブをラインナップしているので、お客様の用途次第で選定頂く事が可能になっています。


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  • 高真空用エアオペレイトバルブ AVBシリーズ

    • おすすめ

    ＣＫＤ

    高真空用エアオペレイトバルブ AVBシリーズ

    評価 0.0
    CKD独自の成形べローズを採用した特殊構造で長寿命、高耐久性を実現しました。【特長】・高い信頼性と使いやすさを備えた高真空バルブです・アルミボディの採用で軽量、コンパクト・半導体業界 高真空用 エアオペレイトバルブ NC形 複動形 二段形【カタログはこちらをご参照ください】P.93 高真空用 エアオペレイトバルブ NC形 AVB※17シリーズP.97 高真空用 エアオペレイトバルブ 複動形 AVB※37シリーズP.101 高真空用エアオペレイトバルブ 二段形AVB※47シリーズ
    CAD ：
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) ： 48,137円～
    通常出荷日 ： 3日目～

  • アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAVシリーズ 電磁弁付

    SMC

    アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAVシリーズ 電磁弁付

    評価 0.0
    アウトガスが少ない真空レギュレータ。【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）・メンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れる
    CAD ：
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ エアパイロット - フランジ
    通常価格(税別) ： 40,185円～
    通常出荷日 ： 19日目

  • 常時閉型高真空電磁弁 XSAシリーズ

    SMC

    常時閉型高真空電磁弁 XSAシリーズ

    評価 0.0
    発塵を低減し、シール性能が向上した常時閉型高真空電磁弁 。【特長】・難燃性がある（UL94V-0準拠）・2種の継手（フェースシール継手・コンプレッション継手）、めねじ（Rc、NPT）を用意・スプリングを鉄心摺動部からボディ部へ移動することによりスプリングの接触による発塵を低減させました・大きなスプリング力で確実にシール・消費電力※：4.5W（サイズ1）/7W（サイズ2）/10.5W（サイズ3）（※DC仕様/B種の場合です。）・使用温度範囲：5～60℃
    CAD ：
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - Rc / NPT / フェースシール継手 / コンプレッション継手
    通常価格(税別) ： 19,209円～
    通常出荷日 ： 在庫品1日目～
    • 一部当日出荷可能

  • アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFVシリーズ エアオペレートタイプ 電磁弁付

    SMC

    アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFVシリーズ エアオペレートタイプ 電磁弁付

    評価 0.0
    【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）
    CAD ：
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) ： 39,209円～
    通常出荷日 ： 19日目

  • アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ

    SMC

    アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ

    評価 0.0
    ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・エアオペレートタイプ/電磁弁付き・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む・フッ素に強い・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・軽量・コンパクト
    CAD ：
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) ： 72,929円～
    通常出荷日 ： 19日目

  • 高真空用電磁弁HVBシリーズ

    ＣＫＤ

    高真空用電磁弁HVBシリーズ

    評価 0.0
    高い真空度保持力、優れた耐久性を備えた高真空用電磁弁。【特長】・耐久性200万回（メーカー条件）・長期連続使用にも高い性能を維持でき、信頼性に優れたハイクオリティなバルブ・真空漏れ1×10の‐9乗Pa・m3/s以下。内部、外部漏れ量が安定しており、高い真空度保持力を誇る・特殊パッキン採用。FKM製、シール寿命に優れている・高耐食。ボディにステンレスを採用・高い真空度保持力。低リークで、真空度保持力が安定。背圧使用可能（逆真空）一部機種を除く・シンプルな構造でメンテナンスが容易にできる【用途】・真空回路の切り替えに
    CAD ：
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - NPT / JXR継手 / くい込み継手
    通常出荷日 ： 7日目～

  • 制御機器角形電磁真空弁200シリーズ

    • SALE 2025/03/31まで

    コガネイ

    制御機器角形電磁真空弁200シリーズ

    評価 0.0
    軽量かつコンパクトな、2・3ポート直動形電磁真空弁です。【特長】・配管ポートと流れの方向に制約されないNC（常時閉）・NO（常時開）共用の2・3ポート弁としての用途のほか、セレクタ弁（2圧切換弁）や、デバイダ弁（分配弁）としても、その真価を発揮します・正圧との併用においても高い信頼性を発揮しますから、真空破壊用や強制離脱用バルブとしても最適です・ACソレノイドにはフライホイルダイオードを標準装備（DC24V用はオプション）ソレノイドの焼損やうなりを解消します・供給圧力を弁シート部でバランスさせている圧力バランスポペット方式を採用します・操作力が小さいため、高頻度作業に適し小形で大流量が得られます【用途】・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応
    CAD ：
    3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 / 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ 直動形 8.5 Rc
    通常価格(税別) ： 9,461円～
    特別価格
    通常出荷日 ： 在庫品1日目～
    • 一部当日出荷可能

  • アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

    SMC

    アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

    評価 0.0
    駆動用エアが不要のため可搬装置への使用が可能な高真空L型バルブ。【特長】・金属摺動部がないためダスト減少・圧力バランス構造で、排気方向自由・電磁弁駆動用の制御電源回路付を標準化・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできます・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率が小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済みます・フッ素に強い・軽量・コンパクト・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減します
    CAD ：
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) ： 32,899円～
    通常出荷日 ： 在庫品1日目～
    • 一部当日出荷可能

  • スタンダード電磁弁182シリーズ（真空対応）

    • 数量スライド割引

    コガネイ

    スタンダード電磁弁182シリーズ（真空対応）

    評価 4.0 平均満足度4.0
    軽量、コンパクトな、2・3ポート直動形電磁真空弁。【特長】・強制離脱や真空破壊のできる真空・正圧併用タイプもシリーズ化・外部パイロット方式の採用により、2・3ポート弁の多様な機能を満載・コンパクトなボディながらたくみな多芸多才ぶりを発揮・配管ポート位置と流れ方向に制約を受けないNC（常時閉）・NO（常時開）共用の2・3ポート弁・真空はもちろん、正圧と併用しても使用可能で、真空破壊や強制離脱用バルブとして使用可能【用途】・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 / 多連 ダイレクト / マニホールドベース 2ポート弁 / 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 外部パイロット形 10.2 Rc
    通常価格(税別) ： 7,331円～
    通常出荷日 ： 8日目

  • 高真空用電磁弁HVB6・7-12シリーズ

    ＣＫＤ

    高真空用電磁弁HVB6・7-12シリーズ

    評価 0.0
    高真空用の電磁弁。【特長】・NC（通電時開）形・接続口径：フランジΦ48、Φ52【用途】・真空及び不活性ガスの制御に最適
    CAD ：
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ
    通常出荷日 ： 8日目～

  • 《真空仕様》制御機器小形電磁弁G010シリーズ

    コガネイ

    《真空仕様》制御機器小形電磁弁G010シリーズ

    評価 0.0
    多様な制御ニーズに応えて､新たに正圧・常時開仕様と真空仕様をラインアッフﾟ！生産ラインの機械・装置にベストな制御系が選択可能になりました｡
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 / 多連 ダイレクト / マニホールドベース 2ポート弁 / 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ 直動形 0.1 ～ 0.45 M
    通常価格(税別) ： 4,154円～
    通常出荷日 ： 3日目～

  • スタンダード電磁弁112シリーズ（真空対応）

    コガネイ

    スタンダード電磁弁112シリーズ（真空対応）

    評価 0.0
    軽量、コンパクトな、2・3ポート直動形電磁真空弁。【特長】・強制離脱や真空破壊のできる真空・正圧併用タイプもシリーズ化・外部パイロット方式の採用により、2・3ポート弁の多様な機能を満載・コンパクトなボディながらたくみな多芸多才ぶりを発揮・配管ポート位置と流れ方向に制約を受けないNC（常時閉）・NO（常時開）共用の2・3ポート弁・真空はもちろん、正圧と併用しても使用可能で、真空破壊や強制離脱用バルブとして使用可能【用途】・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 / 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 外部パイロット形 4.2 M
    通常価格(税別) ： 5,985円～
    通常出荷日 ： 8日目

  • 制御機器角形電磁真空弁電磁真空弁V030シリーズ

    コガネイ

    制御機器角形電磁真空弁電磁真空弁V030シリーズ

    評価 0.0
    耐久性と確実作動を実現した角形電磁真空弁。【特長】・軽量・コンパクトな、2・3ポート直動形電磁真空弁・多連のバキュームパッドに1対1で対応可能・省スペース・低電流タイプ・結線方法が選択可能【用途】・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 / 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 0.6 M
    通常価格(税別) ： 4,585円～
    通常出荷日 ： 3日目

  • 制御機器角形電磁真空弁050シリーズ

    コガネイ

    制御機器角形電磁真空弁050シリーズ

    評価 0.0
    軽量、コンパクトな、2・3ポート直動形電磁真空弁です。【特長】・真空ラインの確実作動と耐久性を約束する、信頼のメカニズムです・使いやすいと信頼性を追求した合理的な機構が、高機能と確実作動を実現させました・正圧との併用においても高い信頼性を発揮しますから、真空破壊用や強制離脱用バルブとしても最適です・ACソレノイドにはフライホイルダイオードを標準装備（DC24V用はオプション）ソレノイドの焼損やうなりを解消します【用途】・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 / 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ 直動形 1.5 M / Rc
    通常価格(税別) ： 8,042円～
    通常出荷日 ： 3日目

  • 制御機器角形電磁真空弁100シリーズ

    コガネイ

    制御機器角形電磁真空弁100シリーズ

    評価 0.0
    軽量でコンパクトな、2・3ポート直動形電磁真空弁です。【特長】・配管ポートと流れの方向に制約されないNC（常時閉）・NO（常時開）共用の2・3ポート弁としての用途のほか、セレクタ弁（2圧切換弁）や、デバイダ弁（分配弁）としても、その真価を発揮します・正圧との併用においても高い信頼性を発揮しますから、真空破壊用や強制離脱用バルブとしても最適です・ACソレノイドにはフライホイルダイオードを標準装備（DC24V用はオプション）ソレノイドの焼損やうなりを解消します・供給圧力を弁シート部で平衡させる圧力バランスポペット方式を採用します・操作力が小さいため、高頻度作業に適し小形で大流量が得られます【用途】・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 5 Rc
    通常価格(税別) ： 8,300円～
    通常出荷日 ： 3日目

  • インターロックバルブ ILV-01シリーズ

    アリオス

    インターロックバルブ ILV-01シリーズ

    評価 0.0
    停電時の真空保管・安全対策に！【特長】・通電中は手動バルブとして機能します・電源のみで動作し、圧縮空気は不要です・コンパクト設計により、取り付け場所を選びません・電源入力電圧が、AC90～260Vまで切り替えをせずにご使用いただけます・排気セットやリークディテクターのメインバルブに最適です・タイミングリークバルブ（TLV-02） と合わせてお使い頂くことにより、効果的な停電対策が可能です
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) ： 410,401円
    通常出荷日 ： 15日目～

  • タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ

    アリオス

    タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ

    評価 0.0
    停電時ポンプのオイルバック防止に最適な遅延リークバルブ。【特長】・コンパクト設計により、取り付け場所を選びません。・RP,TMP等に直接取り付けることができます。・遅延時間が 25秒の Sタイプと 45秒の Lタイプ、2種類からご指定いただけます。・大気リーク及びN2等によるガスリークができます。・電源入力電圧は AC 90～260Vと DC 24V に対応しています。・インターロックバルブ （ILV-01） と合わせてお使い頂くことにより、効果的な停電対策が可能です。
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    遅延真空電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) ： 134,357円
    通常出荷日 ： 3日目
メーカー
シリーズ名
CAD
通常価格
(税別)
通常出荷日
種類
用途
設置方法
ポート数
ソレノイドの種類
切換の種類
電磁弁駆動の種類
有効断面積(mm2)
配管口の種類
配管ねじの呼び
接続チューブ径
フランジ種類
フランジ呼び
CV値
  • おすすめ

高真空用エアオペレイトバルブ AVBシリーズ

    アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAVシリーズ 電磁弁付

      常時閉型高真空電磁弁 XSAシリーズ

        アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFVシリーズ エアオペレートタイプ 電磁弁付

          アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ

            高真空用電磁弁HVBシリーズ

            • SALE 2025/03/31まで

            制御機器角形電磁真空弁200シリーズ

              アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

                スタンダード電磁弁182シリーズ（真空対応）

                  高真空用電磁弁HVB6・7-12シリーズ

                    《真空仕様》制御機器小形電磁弁G010シリーズ

                      スタンダード電磁弁112シリーズ（真空対応）

                        制御機器角形電磁真空弁電磁真空弁V030シリーズ

                          制御機器角形電磁真空弁050シリーズ

                            制御機器角形電磁真空弁100シリーズ

                              インターロックバルブ ILV-01シリーズ

                                タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ

                                メーカー

                                ＣＫＤ

                                SMC

                                SMC

                                SMC

                                SMC

                                ＣＫＤ

                                コガネイ

                                SMC

                                コガネイ

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                                アリオス

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                                シリーズ名

                                高真空用エアオペレイトバルブ AVBシリーズ

                                アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAVシリーズ 電磁弁付

                                常時閉型高真空電磁弁 XSAシリーズ

                                アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFVシリーズ エアオペレートタイプ 電磁弁付

                                アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ

                                高真空用電磁弁HVBシリーズ

                                制御機器角形電磁真空弁200シリーズ

                                アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

                                スタンダード電磁弁182シリーズ（真空対応）

                                高真空用電磁弁HVB6・7-12シリーズ

                                《真空仕様》制御機器小形電磁弁G010シリーズ

                                スタンダード電磁弁112シリーズ（真空対応）

                                制御機器角形電磁真空弁電磁真空弁V030シリーズ

                                制御機器角形電磁真空弁050シリーズ

                                制御機器角形電磁真空弁100シリーズ

                                インターロックバルブ ILV-01シリーズ

                                タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ

                                CAD
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                                134,357円

                                通常出荷日 3日目～ 19日目 在庫品1日目～
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                                一部当日出荷可能                                		 在庫品1日目～
                                一部当日出荷可能                                		 8日目 8日目～ 3日目～ 8日目 3日目 3日目 3日目 15日目～ 3日目
                                種類空操真空弁高真空用電磁弁高真空用電磁弁高真空用電磁弁高真空用電磁弁高真空用電磁弁電磁真空弁電磁真空弁電磁真空弁高真空用電磁弁電磁真空弁電磁真空弁電磁真空弁電磁真空弁電磁真空弁電磁真空弁遅延真空電磁弁
                                用途単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用 / 多連単体使用単体使用 / 多連単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用
                                設置方法ダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクト / マニホールドベースダイレクトダイレクト / マニホールドベースダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクト
                                ポート数2ポート弁3ポート弁2ポート弁2ポート弁2ポート弁2ポート弁2ポート弁 / 3ポート弁2ポート弁2ポート弁 / 3ポート弁2ポート弁2ポート弁 / 3ポート弁2ポート弁 / 3ポート弁2ポート弁 / 3ポート弁2ポート弁 / 3ポート弁3ポート弁2ポート弁2ポート弁
                                ソレノイドの種類シングルシングルシングルシングルシングルシングルシングルシングルシングルシングルシングルシングルシングルシングルシングルシングルシングル
                                切換の種類2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルオープン2位置ノーマルオープン
                                電磁弁駆動の種類-エアパイロット直動形直動形直動形直動形直動形直動形外部パイロット形直動形直動形外部パイロット形直動形直動形直動形直動形直動形
                                有効断面積(mm2)------8.5-10.2-0.1 ～ 0.454.20.61.55--
                                配管口の種類フランジフランジRc / NPT / フェースシール継手 / コンプレッション継手フランジフランジNPT / JXR継手 / くい込み継手RcフランジRcフランジMMMM / RcRcフランジフランジ
                                配管ねじの呼び--1/8 / 1/4 / 3/8--1/8 / 1/4 / 3/81/4-1/8-M5 / M3M5M5M5 / 1/81/8--
                                接続チューブ径-----------------
                                フランジ種類NWNW / その他-KF / KKF / K--KF-JIS-----NW / その他NW
                                フランジ呼び16 / 25 / 40 / 5016 / 25 / 40 / 50 / 63 / 80-16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 8025 / 40 / 50 / 63 / 80--16 / 25-10 / 48 / 52-----40 / 7025
                                CV値-----0.17 ～ 1.050.47-0.57-0.006 ～ 0.0250.230.020.080.28-0.05
                                1. 1

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