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自動ステージ用制御機器・関連部品(2ページ目)

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  • ウェハホルダ

    中央精機

    ウェハホルダ

    評価 0.0
    【特長】・3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。・3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能。・MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。
    CAD :
    2D
    種類
    自動ステージ関連部品
    通常価格(税別) : 37,000円~
    通常出荷日 : 18日目~
  • 3軸コントローラドライバ QTシリーズ

    中央精機

    3軸コントローラドライバ QTシリーズ

    評価 0.0
    【特長】・電源電圧AC90~240V、50/60Hzの3軸コントローラドライバです・モータ駆動電流自動設定機能により中央精機社自動ステージでは駆動電流が自動的に設定されます。これにより、軸ごとに駆動電流値の異なるステージを混在接続できます・低振動マイクロステップドライバを搭載。従来のマイクロステップドライバより低振動駆動を実現しました・マイクロステップ駆動により低速時の振動を抑制し、ステップ角を1/250まで分割することが可能です・操作ボックスQT-AK3によるジョグ移動、ステップ移動、ティーチング動作、ワンタッチスピード切替などが可能です・標準添付の専用アプリケーションソフト(QT-EDIT)で作成したプログラムを記憶し、コントローラ単体での自動運転が可能です・操作ボックスの液晶に単位表示(mm、μm、デシマル度、度分秒を記号等で簡易表示)が可能です・パソコン用インターフェースとして、RS-232C、USB(Type-B)を標準搭載しています・QT-AT(別売り)を併用することで、汎用入出力端子、駆動パルス出力、移動/停止出力、任意ステップパルス出力、内蔵プログラムCH選択入力、駆動パルス入力、移動開始入力、など各種信号入出力により他の機器との接続が可能です・各軸独立制御、2軸間直線補間移動(AB軸間のみ)・2軸間円弧補間移動(AB軸間のみ)が可能です・台形駆動により滑らかな加速・減速が可能なS字駆動機能を標準搭載しています・電磁ブレーキ制御機能を装備しています。QT-BK(別売り)の併用により電磁ブレーキ制御が可能です
    種類
    コントローラ・ドライバ
    通常価格(税別) : 370,000円~
    通常出荷日 : 4日目
  • オートマイクロ(ステッピングモータ仕様)

    中央精機

    オートマイクロ(ステッピングモータ仕様)

    評価 0.0
    【特長】・5相ステッピングモータを採用したアクチュエータです・原点としても利用可能なリミットセンサを標準で装備しています・減速比1:50の減速機を搭載しているため、非常に高分解能です・推力が10kgfと非常にパワフルです
    種類
    自動ステージ関連部品
    通常価格(税別) : 146,710円~
    通常出荷日 : 19日目
メーカー
シリーズ名
CAD
通常価格
(税別)
通常出荷日
種類

    ウェハホルダ

      3軸コントローラドライバ QTシリーズ

        オートマイクロ(ステッピングモータ仕様)

        メーカー

        中央精機

        中央精機

        中央精機

        シリーズ名

        ウェハホルダ

        3軸コントローラドライバ QTシリーズ

        オートマイクロ(ステッピングモータ仕様)

        CAD
        • 2D
        通常価格
        (税別)

        37,000円

        370,000円

        146,710円

        通常出荷日 18日目~ 4日目 19日目
        種類自動ステージ関連部品コントローラ・ドライバ自動ステージ関連部品

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